专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种电子元件表面防水材料激光去除方法-CN202011014224.X在审
  • 刘万满;陈建军;闵杰 - 夏禹纳米科技(深圳)有限公司;深圳清华大学研究院
  • 2020-09-23 - 2020-12-08 - B08B7/00
  • 本发明公开了一种电子元件表面防水材料激光去除方法,包括以下步骤:将需要进行处理的电子元件产品放入夹具中;对需要进行处理的电子元件产品进行识别处理,同时对需要去除膜层的区域进行规划;设定红外激光参数;进行除膜操作,同时单独设计抽气装置,使其跟随激光除膜路线移动,将激光气化的材料及时抽走,本发明通过烧蚀原理对电子元件产品表面的有机物防水膜层进行去除,采用红外激光除膜法可以精确的控制激光光斑大小以及激光的能量输出,整个过程精确可控,可控制在微米级精度,可高精度去除防水材料,且去除速度快,同时在去除的过程中,通过激光机自带的负压抽气装置将激光气化的材料抽走,保证除膜过程无污染。
  • 一种电子元件表面防水材料激光去除方法
  • [发明专利]半导体装置结构和其处理方法与系统-CN201810906681.6有效
  • A·M·贝利斯;J·M·布兰德 - 美光科技公司
  • 2018-08-10 - 2023-08-08 - H01L21/78
  • 从载体结构拆卸半导体装置结构的方法可涉及引导激光通过包括半导体材料的载体结构到阻隔材料,所述阻隔材料位于所述载体结构与粘附到所述阻隔材料的相对侧的半导体装置结构之间。可响应于由所述激光束对所述阻隔材料的加热释放在所述载体结构与将所述载体结构临时紧固到所述半导体装置结构的粘合材料之间的结合。可从所述半导体装置结构去除所述载体结构,可去除所述阻隔材料,且可去除将所述半导体装置结构结合到所述阻隔材料的粘合剂。
  • 半导体装置结构处理方法系统
  • [发明专利]半导体器件的平坦化方法-CN201410352940.7在审
  • 纪登峰;李儒兴 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2014-07-23 - 2014-10-01 - H01L21/304
  • 本发明提供一种半导体器件的平坦化方法,包括在衬底内形成沟槽,并在所述沟槽内形成半导体材料层,使所述半导体材料层填充所述沟槽且覆盖于所述衬底上;在所述沟槽内的半导体材料层表面形成第一阻挡层,之后以所述第一阻挡层作为停止层,通过第一平坦化工艺去除衬底上的半导体材料层,去除所述第一阻挡层。在所述沟槽内形成半导体材料层后,在所述沟槽内半导体材料层的表面形成第一阻挡层,在以第一平坦化工艺去除半导体衬底上的半导体材料层时,所述第一阻挡层可有效保护位于所述沟槽内的半导体材料层,避免位于所述沟槽内的半导体材料层受到损伤,从而确保去除所述第一阻挡层后,露出的位于所述沟槽内的半导体材料层表面的平整度。
  • 半导体器件平坦方法
  • [发明专利]复合材料的截断方法及复合材料-CN202180054575.X在审
  • 菅野敏广;平田聪;仲井宏太;村重毅;稻垣淳一 - 日东电工株式会社
  • 2021-04-19 - 2023-04-25 - C03B33/033
  • 本发明提供能够在不引发截断后的脆性材料层端面的裂纹、及截断后的树脂层端面的严重热劣化的情况下将复合材料截断、并且截断后的复合材料可得到充分的弯曲强度的方法等。本发明涉及将由脆性材料层(1)和树脂层(2)层叠而成的复合材料(10)截断的方法,该方法包括:沿着复合材料的截断预定线(DL)对树脂层照射由CO2激光光源(20)振荡出的激光(L1)从而形成沿着截断预定线的加工槽(24)的树脂去除工序;和在树脂去除工序之后沿着截断预定线对脆性材料层照射由超短脉冲激光光源(30)振荡出的激光(L2)从而形成沿着截断预定线的加工痕(11)的脆性材料去除工序。在脆性材料去除工序中形成的加工痕在树脂层侧开口,并且不贯穿脆性材料层。
  • 复合材料截断方法
  • [发明专利]一种刻蚀方法-CN201610162056.6在审
  • 张俊;王一军;许徐飞;宋洁 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
  • 2016-03-21 - 2016-06-08 - H01L21/311
  • 本发明公开了一种刻蚀方法,包括:在需要图案化的膜层上涂覆光刻胶层;在光刻胶层上形成光刻胶去除区域和光刻胶保留区域;在光刻胶去除区域形成交联材料,在预定条件下使交联材料与光刻胶保留区域发生反应,形成反应区域;去除交联材料,保留光刻胶保留区域和反应区域,对去除交联材料区域的膜层进行刻蚀;去除光刻胶保留区域和反应区域的遮挡层,形成图案化膜层。本发明通过控制交联材料和光刻胶反应的条件,可以调整反应区域的宽度,并可以调整至小于曝光机分辨率极限的关键尺寸,而不会发生残留remain。
  • 一种刻蚀方法

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