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- [发明专利]金刚石膜的固态稀土金属高速抛光方法-CN200810010281.3无效
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黄树涛;许立福;周丽;焦可如
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沈阳理工大学
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2008-01-30
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2008-07-23
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B24B1/00
- 金刚石膜的固态稀土金属高速抛光方法,抛光工具为固态稀土金属抛光盘(或抛光研具),由抛光盘(或抛光研具)与金刚石膜的相对运动而产生的摩擦热,在金刚石膜和固态稀土金属抛光盘接触界面形成热化学反应环境,从而溶蚀金刚石膜抛光表面凸点碳原子,实现对金刚石膜的抛光目的。抛光过程在一般大气环境下进行。可实现平面金刚石膜和任意曲面金刚石膜的抛光,其中曲面金刚石膜的抛光可采用包络法和成型法两种方法,包络法采用球头固态稀土金属抛光棒为抛光工具,成型法采用固态稀土金属成型抛光头为抛光工具。提供了一种不需在真空抛光反应室进行,结构简单、抛光质量好、效率高、成本低,既可用于平面金刚石膜抛光,又可用于曲面金刚石膜抛光的抛光方法。
- 金刚石固态稀土金属高速抛光方法
- [发明专利]一种自适应法向气动补偿抛光装置-CN202111019926.1在审
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丁建盛;刘钊辉;宋亚洲
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佛山市爱陶机电设备有限公司
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2021-09-01
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2021-11-30
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B24B29/02
- 本发明涉及抛光设备领域,具体公开了一种自适应法向气动补偿抛光装置,所述的一种自适应法向气动补偿抛光装置,包括机架、驱动装置以及抛光机架,所述机架上设置有驱动装置,所述抛光机架与所述驱动装置连接,所述抛光机架内部设置有抛光组件以及伸缩组件,所述抛光组件滑动设置在所述抛光机架上,所述伸缩组件的一端与所述抛光机架连接,所述伸缩组件的另外一端与所述抛光组件连接,其中所述伸缩组件用于给予抛光组件一道垂直于运动轨迹的力。本发明具有通过在抛光机架内设置有伸缩组件,能够为抛光装置在进行抛光动作时始终给予抛光刀头一道垂直于运动轨迹的力,从而实现当抛光刀头磨损时实现自动补偿而不影响产品尺寸要求优点。
- 一种自适应气动补偿抛光装置
- [发明专利]超薄晶片的抛光方法-CN201610040761.9在审
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夏秋良
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苏州新美光纳米科技有限公司
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2016-01-21
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2017-07-28
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H01L21/02
- 本发明公开了一种适用于超薄晶片的抛光方法,所述的抛光方法利用胶带和/或胶体对超薄晶片进行贴膜,然后再用模板法进行抛光。所述胶带包含两层胶膜和提供机械力的表层膜,表层膜通过胶膜跟晶片结合在一起。所述胶体用旋转涂布法涂布,或者用贴膜法涂布,或者用喷胶法涂布;涂布后的胶体直接进行固化,或者先通过烘烤表面流平后固化。其优点在于1)新增的膜可以作为晶片的一部分嵌入到真空吸附垫模板里面,使晶片在模板中不易滑出,且可以通过调节膜的厚度来对晶片的抛光后的厚度进行控制;2)新增的膜有较高的机械强度,可以给晶片提供机械支撑作用,使晶片在抛光过程中不易碎片。
- 超薄晶片抛光方法
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