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[实用新型]基板校准装置-CN201821044541.4有效
发明人：王沧毅;蔡子玮;杨浩渝 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种基板校准装置，其适于校准一基板的位置。其中，该基板具有一圆边以及一非非圆边。该基板校准装置包括一基座以及多个第一定位模块。这些第一定位模块分别沿一校准方向滑设于该基座。此外，该第一定位件与该第二定位件其中至少一与该基板的该圆边接触。
定位件基板校准装置定位模块基板校准圆边非圆滑设

[发明专利]阵列基板的修补方法、修补系统-CN201911192532.9有效
发明人：曹婷婷;施文峰;胡婷平 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G09F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列基板的修补方法、修补系统。阵列基板的修补方法包括：通过检测装置获取阵列基板的待测区域的第一图像；通过修补装置获取阵列基板的待测区域的第二图像；根据第二图像，对第一图像校准，得到校准图像；通过检测装置在校准图像上标注缺陷位置；以及根据包含缺陷位置的校准图像，通过修补装置对阵列基板进行修补。根据本发明实施例的阵列基板的修补方法，根据修补装置获取的第二图像，对检测装置获取的第一图像校准，得到校准图像，使得该校准图像能够被修补装置直接识别，进一步地，修补装置能够直接根据包含缺陷位置的校准图像对阵列基板进行修补，提升对阵列基板修补的效率。
阵列修补方法系统

[发明专利]基板校准方法与装置-CN201410629052.5有效
发明人：徐升东 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2014-11-10 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的基板校准装置用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。本发明的基板校准机构可移动的对失准基板不同的方向同时驱使基板至预定基准位置，压力小，基板不易损坏。
校准方法装置

[发明专利]一种红外测温探头校准装置-CN202310775400.9有效
发明人：张受业;何金群 -专利权人：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种红外测温探头校准装置，其属于半导体技术领域，红外测温探头安装于半导体晶圆处理设备的反应腔室内的反射板上，红外测温探头校准装置包括校准基板、设置于校准基板上的校准通孔以及标准热源，校准时，校准基板与反射板间隔地设置，且校准基板位于反射板的上方，红外测温探头位于校准通孔的下方，标准热源的镜头插入校准通孔且正对红外测温探头。本发明通过在半导体晶圆处理设备的反应腔室内设置校准基板，并通过校准基板上的校准通孔使标准热源对准红外测温探头，从而能够实现在半导体晶圆处理设备的反应腔室内对红外测温探头进行校准，通过采用标准热源，不仅能够确保红外测温探头校准的准确性
一种红外测温探头校准装置

[实用新型]一种用于客车通道引道测量装置校准的设备-CN202221822451.X有效
发明人：张洪宝;马明;屠海文;郑晓晓;林夕腾;施嘉炜 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本实用新型属于测量校准的技术领域，公开了一种用于客车通道引道测量装置校准的设备。一种用于客车通道引道测量装置校准的设备包括：第一基板、第二基板、滑轨、安装杆以及测量组件。第一基板用于承载待测量装置；第二基板设置在第一基板上，且第二基板的侧面与待测量装置抵接；滑轨设置在第一基板侧壁上；安装杆滑动连接在滑轨上；测量组件设置在安装杆上并部分地位于第一基板上方以与待测量装置抵接，测量组件用于分别测量其与第一基板和第二基板之间的距离，以确定待测量装置的高度和长度。通过上述校准方式，即可快速完成一次校准，再移动待测量装置，重复上述步骤，即可快速完成对待测量装置的多次校准作业，相较于传统测量方式可提高校准效率和精度。
一种用于客车通道测量装置校准设备

[发明专利]校准方法及校准装置-CN201780029842.1在审
发明人：山岸裕幸;桂豪;中川研治 -专利权人：株式会社藤仓
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B32B37/12 文献下载
摘要：本发明提供校准方法及校准装置。校准方法具备：准备工序(S1)，准备第1基板(110)及第2基板(120)经由未固化的状态的树脂材料(130)重叠形成的校准对象物(100)；校准工序(S4)，在使未固化的状态的树脂材料介于第1基板(110)与第2基板(120)之间的状态下，检测第1基板(110)与第2基板(120)的相对位置关系，基于该检测结果，使第1基板与第2基板相互校准；和固化工序(S5)，在校准工序已开始后，使未固化的状态的树脂材料固化，校准工序包括使第1基板及第2基板中的至少一方在平面方向上移动的第1校准工序(S41)。
校准第1基板树脂材料第2基板未固化校准装置基板相对位置关系固化工序检测结果平面方向对象物上移动固化检测

[发明专利]水平点胶位置校准方法-CN202310574290.X有效
发明人：夏俊生;曲东升;李长峰;查进;裴侨解;李刚 -专利权人：常州铭赛机器人科技股份有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种水平点胶位置校准方法，包括：S1、提供一校准基板11；S2、将校准基板11竖直设置，点胶阀朝向校准基板11进行水平点胶；S3、校准基板11接收标准点胶位置的胶水，记为校准点a；S4、校准基板11接收待校准点胶位置的胶水，记为待校准点b；S5、将校准基板11翻转至水平位置，通过视觉装置识别出校准点a和待校准点b；S6、根据待校准点b相对于校准点a的位置偏移，自动调整点胶阀的点胶位置。本发明具有自动校准水平方向点胶位置，以提高点胶精度的优点。
水平位置校准方法

[发明专利]一种射频滤波器高精度测试装置和测试补偿方法-CN202210315521.0在审
发明人：黄号章 -专利权人：全讯射频科技(无锡)有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供的一种射频滤波器高精度测试装置和试补偿方法，通过产品托盘上设置校准基板，再结合在产品托盘上建立坐标系，找到校准基板和薄膜探针卡，使薄膜探针卡能够与校准基板进行接触；通过在校准基板上建立的坐标系，和预存了每个校准触点地址信息的校准基板配置文件，找到校准基板上的每个校准触点，确保薄膜探针卡上的薄膜探针能够准确的与指定的校准触点进行接触，完成校准测试；本发明中测试方法中通过不同功能的校准基板涵盖了测试环境中发生的各种情况，确保能够做到完整和全面的校准和补偿，进而确保测试结果的准确性。
一种射频滤波器高精度测试装置补偿方法

[实用新型]曝光机基板对位装置-CN201720492503.4有效
发明人：余燕青 -专利权人：东莞市友辉光电科技有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示面板的制作技术领域，尤其是涉及曝光机基板对位装置，该装置具有上料部、初整列部、对位校准部以及连接上料部、初整列部和对位校准部的机械手；初整列部基于靠边整列基板；对位校准部是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部上具有围绕校准部中心分布且分区控制的顶针及真空吸气槽。本实用新型通过机械手搬运基板到初整列部，实现对基板四边纠偏调整，以便机械手将基板移到对位校准部上时，基板的中心与对位校准部上的中心基本一致，使基板对角边缘落在对位校准部视野内，控制对位校准部中的X/Y/θ方向电机，实现两个靶标的精准对位，这种对位方法适合多种尺寸的基板对位使用；结构简单，使用及维护简便，符合产业利用。
曝光机基板对位装置

[发明专利]振镜校准板及装置和振镜校准方法-CN202111277275.6在审
发明人：王松;杨东辉;王石开;贺宏武 -专利权人：西安铂力特增材技术股份有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B23K26/042 文献下载
摘要：本发明涉及3D打印领域，尤其涉及一种振镜校准板及装置和振镜校准方法，该振镜校准板包括校准单元，校准单元包括基板，基板上设置有贯穿孔；基板的上表面设置有激光反射区，激光反射区环绕设置在贯穿孔周围。本发明提供了一种校准时间短以及动化程度高的振镜校准板及装置和振镜校准方法。
校准装置方法

[实用新型]激光测距仪校准装置-CN201821296798.9有效
发明人：冯社雄;廖平;高军 -专利权人：东莞市世通仪器检测服务有限公司
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本实用新型涉及量具技术领域，尤其涉及一种激光测距仪校准装置。其包括：基板；固定机构，其用于固定激光测距仪，所述固定机构设置于所述基板的一端；校准机构，其位于所述基板的另一端，所述校准机构包括活动校准部和固定校准部，所述活动校准部与所述固定校准部平行设置。本实用新型中固定机构和校准机构设置在基板上，能够防止校准机构和固定机构移动产生校准误差大的问题发生，同时校准机构中固定校准部和活动校准部同时存在，能够使该激光测距仪校准装置校准更多不同型号的激光测距仪，通用性更强，并能够使激光测距仪校准精度更高。
校准部激光测距仪校准机构固定机构基板校准装置本实用新型校准固定激光平行设置校准误差测距仪量具移动

[实用新型]一种蜂窝板堆叠校准挤压装置-CN202223583731.2有效
发明人：王雪强 -专利权人：太仓市博易达蜂窝复合材料有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B25H3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蜂窝板堆叠校准挤压装置，包括堆叠基板，所堆叠基板上表面的两端连接有挡块，堆叠基板内侧贯穿设置有通孔，堆叠基板的外壁连接有第一校准夹块，第一校准夹块的一侧设置有第二校准夹块，第二校准夹块与第一校准夹块内侧贯穿设置有对接孔，对接孔的内壁连接有紧固栓，第一校准夹块与第二校准夹块四端内侧贯穿设置有固定螺栓，本实用新型通过对一种蜂窝板堆叠校准挤压装置的改进，具有结构设计合理，通过其堆叠基板相连结构的共同作用，利用其两组校准夹块可活动的增加设定，以对其不同大小蜂窝板进行夹持校准，从而起到有效堆叠的效果，从而达到其校准挤压装置更加实用的优点，从而有效的解决了现有装置出现的问题和不足。
一种蜂窝堆叠校准挤压装置

[发明专利]COG芯片倒装键合装置-CN200910190790.3有效
发明人：区大公;张志能;孔繁松;李克天;陈新度;欧阳祥波 -专利权人：日东电子科技(深圳)有限公司;广东工业大学
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种COG芯片倒装键合装置，该COG芯片倒装键合装置包括对芯片的位置进行校正的预校准夹持装置、对与所述芯片进行键合的玻璃基板定位的基板定位装置和输送所述芯片及玻璃基板的输送装置，其中，所述预校准夹持装置和基板定位装置按顺序固定在基座上，所述输送装置分别与所述预校准夹持装置和基板定位装置上的驱动部件连接。由现有输送装置芯片放置于所述预校准夹持装置位置，由该预校准夹持装置芯片进行预校正；再由所述基板定位装置对其上的玻璃基板的位置进行校正；最后由所述控制装置控制所述夹持装置将所述芯片键合到所述玻璃基板上。由于在芯片键合前分别对芯片和玻璃基板的位置进行校正，因而能提高芯片键合的精度。
cog 芯片倒装装置

[实用新型]COG芯片倒装键合装置-CN200920205391.5无效
发明人：区大公;张志能;孔繁松;李克天;陈新度;欧阳祥波 -专利权人：日东电子科技(深圳)有限公司;广东工业大学
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：本实用新型公开一种COG芯片倒装键合装置，该COG芯片倒装键合装置包括对芯片的位置进行校正的预校准夹持装置、对与所述芯片进行键合的玻璃基板定位的基板定位装置和输送所述芯片及玻璃基板的输送装置，其中，所述预校准夹持装置和基板定位装置按顺序固定在基座上，所述输送装置分别与所述预校准夹持装置和基板定位装置上的驱动部件连接。由现有输送装置芯片放置于所述预校准夹持装置位置，由该预校准夹持装置芯片进行预校正；再由所述基板定位装置对其上的玻璃基板的位置进行校正；最后由所述控制装置控制所述夹持装置将所述芯片键合到所述玻璃基板上。由于在芯片键合前分别对芯片和玻璃基板的位置进行校正，因而能提高芯片键合的精度。
cog 芯片倒装装置

[实用新型]一种检查曝光图案基准点的装置-CN202320450581.3有效
发明人：张杰;何秀凯;曾一鑫 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种检查曝光图案基准点的装置，其应用于曝光机，其包括放置板，所述放置板上卡合设有基板组件，所述基板组件的上方设有摄像设备；所述基板组件包括基板，所述基板上设有显影，所述基板的一侧卡合设有一号校准套，所述基板的另一侧卡合设有二号校准套。本实用新型在基板组件的基板一角上卡合一号校准套与二号校准套，一号校准套上设有一号校准板，一号校准板上开设有一号误差槽与一号标准槽，二号校准套上设有二号校准板，二号校准板上开设有二号误差槽与二号标准槽，在首道制程基板上进行显影时，通过观察显影一角与一号校准板、二号校准板的相对距离，从而便于操作人员直观的观察到显影是否偏移。
一种检查曝光图案基准点装置

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