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- [发明专利]晶圆载台-CN202210348696.1在审
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王沧毅
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辛耘企业股份有限公司
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2022-04-01
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2023-10-24
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H01L21/687
- 本发明提供一种晶圆载台,其包含一夹具、一旋转机构及一致动机构。夹具包含一座体以及呈环状排列在该座体的复数夹爪组,每一夹爪组分别包含复数夹爪,夹具的各夹爪分别具有枢接该座体的一旋转轴以及相对于旋转轴偏心配置的一爪部。旋转机构连接该座体以旋转夹具。致动机构包含一致动器、一被动件、对应各夹爪组设置在被动件上的复数致动螺母、对应各夹爪组的复数螺杆。每一该夹爪组的该些夹爪以一连杆组件相互连动,各螺杆分别螺接相对应的各致动螺母且各该螺杆同轴连接相对应的夹爪组的其中一夹爪的旋转轴,致动器能够沿螺杆的轴向推移被动件使各致动螺母线性位移,各致动螺母线性位移时驱动对应的各致动螺杆旋转而带动各夹爪旋转。
- 晶圆载台
- [发明专利]晶圆制程装置-CN202210206611.6在审
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刘茂林
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辛耘企业股份有限公司
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2022-03-02
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2023-09-12
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H01L21/677
- 本发明提供一种晶圆制程装置,其包含一转换机构、一制程槽、一夹具及一制程箱。转换机构包含一平移轨道以及设置在平移轨道上的一翻转台,翻转台具有一翻转轴。制程槽借由翻转轴枢设在翻转台上,制程槽具有一开口。夹具可移动地设置在制程槽内且能够移动凸出开口。制程箱的一侧具有一侧通口且侧通口对应平移轨道的一端配置,制程箱内设置有一喷嘴组件,且喷嘴组件朝向侧通口配置。翻转台能够翻转夹具使夹具朝向侧通口,且翻转台能够沿平移轨道移向制程箱而将凸出开口的夹具通过侧通口移入制程箱至对应喷嘴组件的位置。因此本发明的晶圆制程装置能够适用卧式及立式晶圆制程。
- 晶圆制程装置
- [实用新型]基板对位装置-CN202223183618.5有效
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林益安
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辛耘企业股份有限公司
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2022-11-30
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2023-03-17
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H01L21/68
- 一种基板对位装置,包含承载单元、第一对位单元及第二对位单元。该承载单元包括载台,于该载台设定方形区域,并定义通过该方形区域的中心的中心线,及通过该方形区域的两个对角的对角线。该第一对位单元设于该载台且包括两个第一抵靠模块。所述第一抵靠模块沿该中心线间隔设置,并可受驱动沿该中心线相对靠近以将圆形基板对位或相对远离。该第二对位单元设于该载台且包括两个第二抵靠模块。所述第二抵靠模块沿该对角线间隔设置,并可受驱动沿该对角线相对靠近以将方形基板对位或相对远离。用户能够依据使用需求选择使用该第一对位单元或该第二对位单元,以将该圆形基板或该方形基板对位。不仅能增加操作的弹性,也能降低设备成本。
- 对位装置
- [实用新型]基板载具-CN202222082087.4有效
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林益安
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辛耘企业股份有限公司
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2022-08-09
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2022-11-22
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H01L21/683
- 一种基板载具,包含主体及定位单元。该主体具有本体部、自该本体部延伸的连接部,及彼此相间隔地自该本体部延伸的两个承载臂。该定位单元包括两个第一承靠面、两个第二承靠面及真空吸盘。所述第一承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供圆形基板的边缘抵靠。所述第二承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供方形基板的一侧边抵靠。该真空吸盘设于该本体部,用以吸附该圆形基板或该方形基板。通过所述第一承靠面及所述第二承靠面与该真空吸盘相配合,能够在需要承载该圆形基板或需要承载该方形基板时皆可使用,以使该基板载具能满足在有圆形基板及方形基板共用的制程中的使用需求。
- 基板载具
- [实用新型]化学清洗槽-CN202221722849.6有效
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曾明月
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辛耘企业股份有限公司
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2022-07-06
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2022-10-11
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B01D29/03
- 一种化学清洗槽,包含槽单元、排液过滤单元及进液过滤单元。该槽单元包括主槽体及进液槽体。该主槽体具有底壁及主围壁,该底壁与该主围壁共同形成容置空间。该底壁具有排放孔。该主围壁具有顶缘。该进液槽体连接该主围壁外侧靠近该顶缘处,并与该主围壁共同形成进液空间。该排液过滤单元设于该排放孔处,并包括层状上下间隔设置的多个过滤板片。上层的过滤板片的孔径大于下层的过滤板片的孔径,且上、下层的过滤板片的孔洞位置错位排列。该进液过滤单元直立设置于该主围壁且高出该顶缘并具有过滤网,用以过滤进入该容置空间的化学液。通过该排液过滤单元与该进液过滤单元过滤杂质以减少杂质对于循环管路系统及制程质量的影响。
- 化学清洗
- [发明专利]基板处理装置-CN201811542542.6有效
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童瑞发;宋香怡
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辛耘企业股份有限公司
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2018-12-17
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2022-09-16
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H01L21/67
- 一种基板处理装置,包含基板承载单元、流体供应单元及控制单元。该基板承载单元包括旋转台以供设置基板。该流体供应单元包括至少一喷嘴,对应该旋转台设置且可受控地在通过该旋转台中心的路径范围内移动以供应处理液。该控制单元与该流体供应单元耦接并包括人机界面且存储控制程序。该人机界面具有喷嘴控制区块以供操作者输入控制指令,且该控制单元接收该控制指令并由该控制程序对应该控制指令控制该喷嘴。该控制单元可供该操作者设定变更控制该喷嘴的参数,可大幅提高该基板处理装置运作的弹性。
- 处理装置
- [发明专利]输送装置-CN201911146548.6有效
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蔡文平;李威震
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辛耘企业股份有限公司
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2019-11-21
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2022-08-26
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H01L21/677
- 一种输送装置,包含驱转机构、主动臂、从动臂、载物模块及连动机构。主动臂具有直立设置并受驱转机构驱动旋转的第一转轴,及水平设置并与第一转轴连动旋转的第一臂体。从动臂具有与第一臂体可转动地连接的第二转轴,及与第二转轴连动旋转的第二臂体。载物模块具有与第二臂体可转动地连接的第三转轴,及与第三转轴连动旋转的托盘。连动机构包括第一连动模块及第二连动模块。第一连动模块设于第一臂体以连动第二转轴与第一转轴反向旋转。第二连动模块设于第二臂体以连动第三转轴与第二转轴反向旋转。通过驱转机构驱动主动臂转动可带动从动臂及载物模块转动,且载物模块能通过同一动力源同时移动位置并改变传送方向,借此减少机构动作和运送时间。
- 输送装置
- [实用新型]快排冲洗槽-CN202220371814.6有效
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曾明月
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辛耘企业股份有限公司
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2022-02-23
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2022-08-26
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B08B3/02
- 一种快排冲洗槽,包含槽体及调整模块。该槽体具有底壁及连接该底壁的围绕壁,以共同形成容置空间,该底壁具有排放孔。该调整模块对应该排放孔位置设于该底壁,且包括固定于该底壁的固定件及设于该固定件的控制件。该固定件具有连通该排放孔的至少一第一开口。该控制件具有可相对该固定件活动的遮盖部,该遮盖部用以调整遮盖该至少一第一开口的面积,以控制可通过该排放孔的液体流量。通过该调整模块可供用户依据待冲洗的晶圆厚薄程度,调整液体的排放速度,以降低破片的风险,并优化该槽体的通用性。
- 冲洗
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