专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆载台-CN202210348696.1在审
  • 王沧毅 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-04-01 - 2023-10-24 - H01L21/687
  • 本发明提供一种晶圆载台,其包含一夹具、一旋转机构及一致动机构。夹具包含一座体以及呈环状排列在该座体的复数夹爪组,每一夹爪组分别包含复数夹爪,夹具的各夹爪分别具有枢接该座体的一旋转轴以及相对于旋转轴偏心配置的一爪部。旋转机构连接该座体以旋转夹具。致动机构包含一致动器、一被动件、对应各夹爪组设置在被动件上的复数致动螺母、对应各夹爪组的复数螺杆。每一该夹爪组的该些夹爪以一连杆组件相互连动,各螺杆分别螺接相对应的各致动螺母且各该螺杆同轴连接相对应的夹爪组的其中一夹爪的旋转轴,致动器能够沿螺杆的轴向推移被动件使各致动螺母线性位移,各致动螺母线性位移时驱动对应的各致动螺杆旋转而带动各夹爪旋转。
  • 晶圆载台
  • [发明专利]具有防止掉落功能的升降设备与第一制动装置-CN202210285364.3在审
  • 曾亭瑜;侯志坤 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-03-23 - 2023-10-03 - B66B5/12
  • 一种具有防止掉落功能的升降设备与第一制动装置,升降设备包含一传动带、一第一线轨与一第一制动装置。传动带用于根据一垂直方向移动。第一制动装置具有一设置于第一物件与所述第一线轨间的第一制动器滑块,与一电连接导电线且用于控制所述第一制动器滑块的第一锁定装置。所述第一制动器滑块用于与所述第一物件进行同步垂直方向移动,所述第一锁定装置根据一电流信号,切换于一锁定状态与一非锁定状态间,当所述传动带发生断裂,使得所述导电线处于所述开路无法传输所述电流信号时,所述第一锁定装置根据所述电流信号的值是0,而处于所述锁定状态,有效防止第一物件掉落,避免产生危险与器材毁损。
  • 具有防止掉落功能升降设备第一制动装置
  • [发明专利]晶圆制程装置-CN202210206611.6在审
  • 刘茂林 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-03-02 - 2023-09-12 - H01L21/677
  • 本发明提供一种晶圆制程装置,其包含一转换机构、一制程槽、一夹具及一制程箱。转换机构包含一平移轨道以及设置在平移轨道上的一翻转台,翻转台具有一翻转轴。制程槽借由翻转轴枢设在翻转台上,制程槽具有一开口。夹具可移动地设置在制程槽内且能够移动凸出开口。制程箱的一侧具有一侧通口且侧通口对应平移轨道的一端配置,制程箱内设置有一喷嘴组件,且喷嘴组件朝向侧通口配置。翻转台能够翻转夹具使夹具朝向侧通口,且翻转台能够沿平移轨道移向制程箱而将凸出开口的夹具通过侧通口移入制程箱至对应喷嘴组件的位置。因此本发明的晶圆制程装置能够适用卧式及立式晶圆制程。
  • 晶圆制程装置
  • [发明专利]晶圆载台-CN202210106419.X在审
  • 王沧毅;刘茂林 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-01-28 - 2023-08-08 - H01L21/687
  • 本发明提供一种晶圆载台,其包含一座体、一夹具及一背压喷嘴组件。夹具设置在座体,夹具具有背向座体延伸的复数夹持元件,且夹持元件环列配置。背压喷嘴组件设置在座体且被夹持元件围绕且背压喷嘴组件配置位置不超出各夹持元件的末端。背压喷嘴组件而能够在进行制程时向夹具上的晶圆的背面喷射压力流体以平衡制程流体施于晶圆的压力而能够避免晶圆弯曲变形而破裂。
  • 晶圆载台
  • [发明专利]工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法-CN202110980853.6在审
  • 童瑞发;林世佳 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2021-08-25 - 2023-04-04 - H01L21/67
  • 一种由工件处理系统对工件实施的工件放置路径设定方法,所述工件处理系统包含承载座及机械手臂,且所述工件放置路径设定方法包含:获得对应所述承载座的第一位置,以及在所述工件被放置于所述承载座的情况下获得对应所述工件的第二位置;根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生校正放置路径。其中,所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座,而使得所述待处理工件的中心与所述承载座的中心之间的距离小于所述第一位置与所述第二位置之间的距离。所述校正放置路径能使所述机械手臂将待处理工件放置地与所述承载座更加对齐,所以能避免因所述待处理工件的放置位置偏差而对所述待处理工件的处理造成负面影响。
  • 工件处理系统距离测量装置放置路径设定方法
  • [发明专利]晶圆加工方法及载台-CN202111088388.1在审
  • 冯傳彰;刘茂林 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2021-09-16 - 2023-03-21 - H01L21/67
  • 本发明提供一种晶圆加工方法,其步骤包含:提供一晶圆、一浸泡装置、一载台及一喷洒装置;将平放的晶圆翻转为直立;将晶圆直立置入浸泡装置浸泡;将晶圆自浸泡装置取出并平放于载台;以喷洒装置对载台上的晶圆喷洒药液;冲洗晶圆;旋转载台使晶圆干燥。其晶圆能够在同一个载台上进行多道步骤而加速制程。
  • 加工方法
  • [实用新型]基板对位装置-CN202223183618.5有效
  • 林益安 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-11-30 - 2023-03-17 - H01L21/68
  • 一种基板对位装置,包含承载单元、第一对位单元及第二对位单元。该承载单元包括载台,于该载台设定方形区域,并定义通过该方形区域的中心的中心线,及通过该方形区域的两个对角的对角线。该第一对位单元设于该载台且包括两个第一抵靠模块。所述第一抵靠模块沿该中心线间隔设置,并可受驱动沿该中心线相对靠近以将圆形基板对位或相对远离。该第二对位单元设于该载台且包括两个第二抵靠模块。所述第二抵靠模块沿该对角线间隔设置,并可受驱动沿该对角线相对靠近以将方形基板对位或相对远离。用户能够依据使用需求选择使用该第一对位单元或该第二对位单元,以将该圆形基板或该方形基板对位。不仅能增加操作的弹性,也能降低设备成本。
  • 对位装置
  • [发明专利]基板传送设备及基板定位方法-CN202110860718.8在审
  • 侯志坤 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2021-07-29 - 2023-02-03 - H01L21/68
  • 本发明提供一种基板传送设备包括一传送装置及一定位装置。定位装置与传送装置对应设置,并具有一定位范围。传送装置承载第一基板,并将第一基板的第一区域移至定位装置的定位范围。定位装置辨识位于定位范围中的第一区域的第一外缘,并基于第一外缘取得第一基板的第一定位点。传送装置承载第二基板,并将第二基板的第二区域移至定位装置的定位范围。定位装置辨识位于定位范围中的第二区域的第二外缘,并基于第二外缘取得第二基板的第二定位点,且判断第一定位点与第二定位点的间距。
  • 传送设备定位方法
  • [实用新型]基板载具-CN202222082087.4有效
  • 林益安 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-08-09 - 2022-11-22 - H01L21/683
  • 一种基板载具,包含主体及定位单元。该主体具有本体部、自该本体部延伸的连接部,及彼此相间隔地自该本体部延伸的两个承载臂。该定位单元包括两个第一承靠面、两个第二承靠面及真空吸盘。所述第一承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供圆形基板的边缘抵靠。所述第二承靠面分别位于所述承载臂靠近自由端处且用以供方形基板的一侧边抵靠。该真空吸盘设于该本体部,用以吸附该圆形基板或该方形基板。通过所述第一承靠面及所述第二承靠面与该真空吸盘相配合,能够在需要承载该圆形基板或需要承载该方形基板时皆可使用,以使该基板载具能满足在有圆形基板及方形基板共用的制程中的使用需求。
  • 基板载具
  • [实用新型]化学清洗槽-CN202221722849.6有效
  • 曾明月 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-07-06 - 2022-10-11 - B01D29/03
  • 一种化学清洗槽,包含槽单元、排液过滤单元及进液过滤单元。该槽单元包括主槽体及进液槽体。该主槽体具有底壁及主围壁,该底壁与该主围壁共同形成容置空间。该底壁具有排放孔。该主围壁具有顶缘。该进液槽体连接该主围壁外侧靠近该顶缘处,并与该主围壁共同形成进液空间。该排液过滤单元设于该排放孔处,并包括层状上下间隔设置的多个过滤板片。上层的过滤板片的孔径大于下层的过滤板片的孔径,且上、下层的过滤板片的孔洞位置错位排列。该进液过滤单元直立设置于该主围壁且高出该顶缘并具有过滤网,用以过滤进入该容置空间的化学液。通过该排液过滤单元与该进液过滤单元过滤杂质以减少杂质对于循环管路系统及制程质量的影响。
  • 化学清洗
  • [发明专利]基板处理装置-CN201811542542.6有效
  • 童瑞发;宋香怡 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2018-12-17 - 2022-09-16 - H01L21/67
  • 一种基板处理装置,包含基板承载单元、流体供应单元及控制单元。该基板承载单元包括旋转台以供设置基板。该流体供应单元包括至少一喷嘴,对应该旋转台设置且可受控地在通过该旋转台中心的路径范围内移动以供应处理液。该控制单元与该流体供应单元耦接并包括人机界面且存储控制程序。该人机界面具有喷嘴控制区块以供操作者输入控制指令,且该控制单元接收该控制指令并由该控制程序对应该控制指令控制该喷嘴。该控制单元可供该操作者设定变更控制该喷嘴的参数,可大幅提高该基板处理装置运作的弹性。
  • 处理装置
  • [发明专利]基板处理设备及方法-CN201811543948.6有效
  • 陈赞吉;林志杰;林世佳;赖仁斌 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2018-12-17 - 2022-09-16 - H01L21/67
  • 一种基板处理设备,包含处理装置、供应装置、清洁装置与控制装置。所述控制装置受组配为可在第一参数达到第一条件时,指示所述供应装置的一切换元件从第一组态切换成第二组态以变更用于供应处理液的储槽。所述控制装置进一步受组配为可在第二参数达到第二条件时,指示所述清洁装置将清洗液提供至所述处理装置内以供用于清洁所述处理装置。本发明还提供一种基板处理方法。利用本发明的基板处理设备及方法能够节省相关人力资源,提高作业效率。
  • 处理设备方法
  • [发明专利]流体收集装置-CN201811396658.3有效
  • 刘茂林 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2018-11-22 - 2022-09-02 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种流体收集装置,包括基板载台、收集单元以及驱动组件。基板载台用于固定及旋转基板,收集单元则围绕基板载台以收集来自基板的流体。驱动组件连接且用于升降收集单元,其中驱动组件包括传动轴、连接传动轴的动力件以及第一升降支撑件连接传动轴与收集单元,其中传动轴具有长轴,而动力件用以驱动传动轴绕着长轴旋转,其中传动轴绕着长轴的旋转驱动第一升降支撑件升降收集单元。
  • 流体收集装置
  • [发明专利]输送装置-CN201911146548.6有效
  • 蔡文平;李威震 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2019-11-21 - 2022-08-26 - H01L21/677
  • 一种输送装置,包含驱转机构、主动臂、从动臂、载物模块及连动机构。主动臂具有直立设置并受驱转机构驱动旋转的第一转轴,及水平设置并与第一转轴连动旋转的第一臂体。从动臂具有与第一臂体可转动地连接的第二转轴,及与第二转轴连动旋转的第二臂体。载物模块具有与第二臂体可转动地连接的第三转轴,及与第三转轴连动旋转的托盘。连动机构包括第一连动模块及第二连动模块。第一连动模块设于第一臂体以连动第二转轴与第一转轴反向旋转。第二连动模块设于第二臂体以连动第三转轴与第二转轴反向旋转。通过驱转机构驱动主动臂转动可带动从动臂及载物模块转动,且载物模块能通过同一动力源同时移动位置并改变传送方向,借此减少机构动作和运送时间。
  • 输送装置
  • [实用新型]快排冲洗槽-CN202220371814.6有效
  • 曾明月 - 辛耘企业股份有限公司
  • 2022-02-23 - 2022-08-26 - B08B3/02
  • 一种快排冲洗槽,包含槽体及调整模块。该槽体具有底壁及连接该底壁的围绕壁,以共同形成容置空间,该底壁具有排放孔。该调整模块对应该排放孔位置设于该底壁,且包括固定于该底壁的固定件及设于该固定件的控制件。该固定件具有连通该排放孔的至少一第一开口。该控制件具有可相对该固定件活动的遮盖部,该遮盖部用以调整遮盖该至少一第一开口的面积,以控制可通过该排放孔的液体流量。通过该调整模块可供用户依据待冲洗的晶圆厚薄程度,调整液体的排放速度,以降低破片的风险,并优化该槽体的通用性。
  • 冲洗

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