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[发明专利]用于玻璃层压基材的卡盘组件和包括该卡盘组件的切割设备-CN202180092077.4在审
发明人：李宇镇 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C03B35/20 文献下载
摘要：一种卡盘组件，其包括具有上表面、下表面和下表面中的卡盘凹部的卡盘板，卡盘板的表面上的杠杆，活塞，卡盘垫和弹性构件，所述弹性构件连接至卡盘板的卡盘凹部中的活塞并被构造成向卡盘垫提供基于活塞运动的弹性力。
用于玻璃层压基材卡盘组件包括切割设备

[发明专利]静电卡盘表面处理方法-CN202010602239.1在审
发明人：杨冬野;袁蕾 -专利权人：苏州芯慧联半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明揭示了静电卡盘表面处理方法，静电卡盘由氧化铝基材和其内部的金属电极组成；包括以下步骤：1)静电卡盘成型，氧化铝粉末采用冷等静压处理，得到成型体；2)成型体采用热等静压进行烧结，制成静电卡盘为圆盘状结构；3)喷砂处理，喷砂机由基材中心旋绕周向打圈向外喷砂，粗喷；4)细喷；5)精喷；6)检测，对基材表面进行粗造度检测，选取基材表面任意一2.5mm的直径范围，检测该范围内的最高凸缘和最低凸缘的高低差，当高低差大于
静电卡盘表面处理方法

[发明专利]高温静电卡盘和使用方法-CN200980128987.2有效
发明人：罗纳德·纳斯曼;罗德尼·李·罗宾森;藤里敏章 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-07-13 - 公布日： 2011-06-22 - 主分类号： B23B31/28 文献下载
摘要：本发明描述了一种为高温减压处理所构造的静电卡盘。静电卡盘包括具有静电夹紧电极和可选加热元件的卡盘主体，和具有传热表面的散热器主体，所述传热表面被布置为与卡盘主体的内表面呈密切关系，其中静电夹紧电极被构造为将衬底夹紧在卡盘主体的外表面上，并且其中由于内表面和传热表面的密切关系，散热器主体被构造为从卡盘主体移除热量。静电卡盘还包括构造为支撑卡盘主体和散热器主体的平台组件，和膨胀接头，所述膨胀接头设置在卡盘主体和平台组件之间，并且被构造为在适应卡盘主体和平台组件的差异热膨胀的同时将卡盘主体密封连接到平台组件。
高温静电卡盘使用方法

[发明专利]基底结合设备和利用其结合基底的方法-CN201811465732.2在审
发明人：金俊亨;金圣协;任京彬;金石镐;金兑泳 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：一种基底结合设备和一种结合基底的方法，该设备包括：上卡盘，将第一基底固定到上卡盘的下表面上，使得第一基底向下变形为凹表面轮廓；下卡盘，布置在上卡盘下方并且将第二基底固定到下卡盘的上表面上，使得第二基底向上变形为凸表面轮廓；以及卡盘控制器，控制上卡盘和下卡盘以分别固定第一基底和第二基底，并且生成将第二基底的形状从平坦表面轮廓改变为凸表面轮廓的形状参数。
基底上卡盘下卡盘基底固定基底结合结合基凸表面变形平坦表面形状参数控制器凹表面上表面下表面卡盘

[发明专利]一种晶圆减薄设备及方法-CN202111267838.3在审
发明人：高翔;张界选 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：公开了一种晶圆减薄设备及方法，所述晶圆减薄设备包括：卡盘，用于在表面承载晶圆；研磨垫，与所述卡盘相对设置，在减薄步骤中接触所述晶圆的表面以进行研磨减薄；清洗喷头，设置于所述卡盘的表面上方，在清洗步骤中向所述卡盘的表面喷出清洗液以清洗表面；以及研磨块，设置在所述卡盘的表面上方，在清洗步骤中接触所述卡盘的边缘表面以去除沉积物。本发明提供的晶圆减薄设备在清洗喷头上附加研磨块，对卡盘清洗的过程中，卡盘相对于清洗喷头和研磨块旋转，所述研磨块对所述卡盘上的沉积物进行研磨，同时清洗喷头向卡盘表面喷洒清洗液，研磨块研磨下来的沉积物被清洗喷头喷洒的清洗液冲洗干净
一种晶圆减薄设备方法

[实用新型]一种用于顶针固定的三爪卡盘-CN202320989871.5有效
发明人：徐海琪 -专利权人：昆山奥玛泰机电设备有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B23B31/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及三爪卡盘技术领域，且公开了一种用于顶针固定的三爪卡盘，包括三爪卡盘主体，所述三爪卡盘主体的表面开设有凹槽，所述三爪卡盘主体的表面预留有凹槽，所述三爪卡盘主体的表面开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的表面设置有顶针防护组件，所述滑块的表面设置有防脱落结构，所述防脱落结构与三爪卡盘主体相互连接，所述凹槽的表面设置有拆装工具，本实用新型通过三爪卡盘主体、凹槽、滑槽、滑块和顶针防护组件等零件的相互配合，使得三爪卡盘主体在对顶针进行夹紧固定的时候，顶针防护组件可以对顶针表面进行保护，从而避免三爪卡盘主体与顶针之间刚性贴合，造成顶针表面形变损毁。
一种用于顶针固定卡盘

[发明专利]卡盘爪平面轮廓-CN200810098398.1无效
发明人：里基·J·托马斯;托马斯·贾伊·博丁 -专利权人：百得有限公司
申请日： 2008-06-02 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： B23B31/02 文献下载
摘要：本发明描述了一种卡盘。所述卡盘可包括多个卡盘爪。每个卡盘爪能够朝卡盘轴线径向移动并远离卡盘轴线径向移动，并且每个卡盘爪包括：与卡盘爪轴线垂直并与卡盘轴线基本平行的两个基本共面的表面；脊部，该脊部位于所述两个基本共面的表面之间；和两个槽，其中一个槽位于脊部和所述两个基本共面的表面中的一个之间，而另一个槽位于脊部和所述两个基本共面的表面中的另一个之间。本发明还描述了一种卡盘爪以及一种构造卡盘的方法。
卡盘平面轮廓

[发明专利]卡盘组件及具有该组件的高密度等离子设备-CN200810127761.8无效
发明人：李相根;崔敏镐;朴成旭;金镇成;朴钟硕;金大玄 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2008-02-05 - 公布日： 2008-11-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种用于高密度等离子设备的卡盘组件，包括：具有上表面和形成在外围部分中的多个销孔的卡盘，其中该卡盘的上表面配置成在其上接收一半导体衬底；衬底导引器设置在该卡盘外表面上，其中该衬底导引器被配置成防止定位在该卡盘上表面上的半导体衬底离开该卡盘；设置在该卡盘的下部的固定板；固定在该固定板上并且沿从该固定板向上的方向中延伸的多个升降销，以便每一个升降销分别插入多个销孔中的一个，其中每一个升降销具有延伸到邻近该卡盘上表面的位置的上表面；和穿过该固定板并且与卡盘的下部啮合的卡盘升降机，其中该卡盘升降机被配置为向上和向下移动该卡盘。
卡盘组件具有高密度等离子设备

[发明专利]一种夹力可控电动三爪卡盘-CN201810691730.9在审
发明人：程恭正 -专利权人：芜湖新尚捷智能信息科技有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： B23B31/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种夹力可控电动三爪卡盘，涉及机械设备技术领域。包括卡盘主体，卡盘主体内表面转动配合有齿盘，卡盘主体内表面滑动配合有夹爪，齿盘齿牙与夹爪齿牙啮合，卡盘主体内表面固定有电机，电机输出轴固定有锥形齿轮，锥形齿轮齿牙与齿盘齿牙啮合，卡盘主体内表面固定有PLC控制器，卡盘主体一表面固定有旋钮开关，卡盘主体一表面固定有按钮开关，卡盘主体内表面固定有电源盒。本发明通过在夹爪上安装压力传感器，配合旋钮开关和按钮开关进行档位控制的PLC控制器，使三爪卡盘具备了夹力感知和控制功能，提高了三爪卡盘的灵敏度和实用性，使用方便，具备更高的安全形，降低了零件的损伤概率。
卡盘主体内表面三爪卡盘夹力啮合按钮开关表面固定旋钮开关锥形齿轮齿盘齿夹爪可控电机输出轴压力传感器档位控制滑动配合机械设备控制功能转动配合电源盒夹爪齿灵敏度齿盘齿牙感知电机损伤概率配合安全

[实用新型]一种两卡盘零尾料切割装置-CN202220408164.8有效
发明人：赵世辉;郭宇哲 -专利权人：河南力锋科技有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种两卡盘零尾料切割装置，包括床身和激光切割头，所述床身呈梯形机构，床身由第一床身和第二床身组成，所述第二床身的上表面设有龙门架，所述第一导轨通过电动滑块与后卡盘安装座连接，所述后卡盘安装座的上表面设有后卡盘旋转电机，所述后卡盘旋转电机的输出端设有后卡盘，所述第二床身上表面两侧设有第二导轨，所述第二导轨的上表面通过滑块与前卡盘安装座连接，所述前卡盘安装座的上表面通过前卡盘固定架连接有前卡盘，所述前卡盘的后侧面通过连接件与前卡盘旋转电机连接，本装置采用两卡盘设计，降低了设备造价，保障了设备的稳定性和刚性，同时可以实现零尾料，避免了原材料的浪费，提高了工作效率。
一种卡盘零尾料切割装置

[发明专利]一种适用于双面埋弧直缝焊管焊缝的打磨装置-CN201810159557.8在审
发明人：姜慧;杨美坤 -专利权人：姜慧;杨美坤
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于双面埋弧直缝焊管焊缝的打磨装置，包括底座，所述底座表面设置滑槽，所述底座表面的滑槽内部配合安装滑块，所述滑块上端固定安装卡盘安装座，所述卡盘安装座为环形结构，且卡盘安装座内表面配合安装卡盘，所述卡盘表面均匀设置滑槽，所述卡盘表面的滑槽内配合安装卡爪，所述卡爪通过电动伸缩杆三与卡盘连接，本适用于双面埋弧直缝焊管焊缝的打磨装置采用卡盘作为夹具，适合不同直径的管道加工，且卡盘之间的距离可调，适合不同长度的管道加工
卡盘滑槽打磨装置配合安装直缝焊管焊缝安装座埋弧打磨底座表面管道加工卡盘表面滑块卡爪夹具电动伸缩杆安装卡盘环形结构距离可调均匀设置上端固定内表面底座保证

[实用新型]一种新型气动四爪卡盘-CN202320617672.1有效
发明人：孙召坤;隋永强;赵新宇;李锦;宫成 -专利权人：烟台成锦机械制造有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B23B31/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型气动四爪卡盘，包括：卡盘主体和卡爪，所述卡盘主体的表面安装有四组卡爪，所述卡爪的端部内壁设置有辊轴，所述卡盘主体的底侧设置有安装座，所述卡盘主体的侧表面安装有电机；所述安装座的上表面连接有加强板，所述加强板的侧表面开设有滑槽，靠近滑槽的所述卡盘主体的表面连接有滑块，所述卡盘主体的表面开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部贯穿有螺纹杆。该新型气动四爪卡盘，螺纹杆在螺纹槽内部转动的同时可以向下运动，螺纹杆向下运动至确定的位置时，此时安装座可以通过加强板带动滑槽在滑块表面向下滑动，这样可以调节安装座的高度进行安装，防止卡盘安装时底部车床的空间不够导致安装座无法安装在车床表面
一种新型气动卡盘

[实用新型]一种轮廓仪用测量夹具-CN201721347178.9有效
发明人：陈永欢;陈龙飞 -专利权人：鹰潭市永威光电仪器有限公司
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轮廓仪用测量夹具，包括底座，所述底座的上表面固定连接有主卡盘，且主卡盘的上表面为圆形，所述主卡盘的侧面曲面开设有固定孔，所述固定孔的内腔套接有固定杆，所述主卡盘的侧面曲面开设有螺杆孔，所述螺杆孔的内腔套接有螺杆，所述主卡盘的上表面开设有限位孔，所述限位孔的内腔套接有限位杆，所述底座的上表面设有滑块，所述底座的上表面分别滑动连接有卡盘一、卡盘二和卡盘三，通过给卡盘加装限位孔和限位杆，实现了能卡住多种形状的工件，达到了操作简单的效果，通过给各卡盘加装滑槽、滑块、固定杆和螺杆，实现了使卡盘更稳定，达到了轮廓仪测量更精准的效果。
一种轮廓仪测量夹具

[发明专利]用于薄基板搬运的静电载体-CN201910019606.2有效
发明人：迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-07-24 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本文所提供的实施方式大体涉及静电卡盘(ESC)。静电卡盘可包括减少数目的应力起始点，诸如穿过静电卡盘的孔，此举可改良静电卡盘的机械完整性。设置在静电卡盘中的电极可经由导电导线连接至电触点及电源，这些导电导线可被耦接成或形成为沿着静电卡盘的外围边缘。由此，可减少或消除对形成于静电卡盘中的孔的需求。此外，气体通道可形成于顶表面、底表面或顶表面与底表面两者上。气体通道可减少或消除对形成为穿过静电卡盘的气体通道的需求，及可有助于基板支撑件、静电卡盘与耦接至静电卡盘的基板之间的热传递。
用于薄基板搬运静电载体

[发明专利]用于薄基板搬运的静电载体-CN201480038575.0有效
发明人：迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-07-24 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本文所提供的实施方式大体涉及静电卡盘(ESC)。静电卡盘可包括减少数目的应力起始点，诸如穿过静电卡盘的孔，此举可改良静电卡盘的机械完整性。设置在静电卡盘中的电极可经由导电导线连接至电触点及电源，这些导电导线可被耦接成或形成为沿着静电卡盘的外围边缘。由此，可减少或消除对形成于静电卡盘中的孔的需求。此外，气体通道可形成于顶表面、底表面或顶表面与底表面两者上。气体通道可减少或消除对形成为穿过静电卡盘的气体通道的需求，及可有助于基板支撑件、静电卡盘与耦接至静电卡盘的基板之间的热传递。
用于薄基板搬运静电载体

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