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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]卡盘及具有该卡盘的条带测试机-CN201020638091.9无效
发明人：张巍巍 -专利权人：江阴格朗瑞科技有限公司
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2011-06-22 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卡盘及具有该卡盘的条带测试机，该卡盘为四方体结构且表面设置有多孔，该卡盘外围还设置有卡盘框架，在将设有卡盘框架的卡盘定位于条带测试机之后，在条带测试机进行测试的过程中，本实用新型通过使真空气流从所述卡盘表面上的多个孔通过，使整个卡盘形成一个稳定的表面，最大限度的吸住整个引线框基板，能够避免引线框基板在测试的过程中出现移位、滑动等问题，从而保证在整个测试的环节中使整个引线框处于平稳的状态。
卡盘具有条带测试

[实用新型]超大行程液压卡盘-CN202022758487.3有效
发明人：孙小龙;赵豪 -专利权人：重庆市巨吉机电设备有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： F16D65/092 文献下载
摘要：本实用新型涉及液压卡盘技术领域，具体为超大行程液压卡盘，所述前端卡盘的外表面后端安装有后密封盖，所述后密封盖的内部转动安装有前密封盖，所述前端卡盘的后端设置有后端卡盘，所述前端卡盘的前表面开设有通孔，所述前端卡盘的前表面一端开设有滑座滑槽，所述滑座滑槽的内部滑动安装有滑座，所述滑座的前表面开设有气块滑槽，所述气块滑槽的内部滑动安装有气块，所述滑座的前表面对应气块的位置处安装有卡杆，所述后密封盖的内表面设置有内螺纹，所述前密封盖的外表面设置有外螺纹本实用新型液压卡盘设置有防尘罩，能调节限定行程，设置有散热快，能更换夹持头的形状大小。
超大行程液压卡盘

[发明专利]橙子削皮机卡盘制造工艺-CN201010270869.X无效
发明人：温永林 -专利权人：温永林
申请日： 2010-08-30 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：橙子削皮机卡盘制造工艺，锌合金压铸成型-外表面清理锐边、毛刺-钻卡盘轴孔-钻卡盘轴固定孔、攻螺纹-外表面抛光-去油、除锈、磷化、清洗、烘干-表面镀铬，该橙子削皮机卡盘制造工艺能够保证部件的制造质量和产品要求
橙子削皮卡盘制造工艺

[实用新型]镜片研磨设备的卡盘部件-CN201220414043.0有效
发明人：陆琦 -专利权人：宁波日虹压铸制品有限公司
申请日： 2012-08-21 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镜片研磨设备的卡盘部件，旨在解决现有的镜片研磨设备的卡盘部件与其它部件的连接和限位的可靠性差的不足。该实用新型包括卡盘本体，卡盘本体上设有卡盘定位孔和工件安装孔，卡盘本体前表面上卡盘定位孔的两侧设有一对连接支座，卡盘本体后表面上卡盘定位孔和工件安装孔位置分别设有定位插环和定位插板，卡盘本体后表面上工件安装孔的两侧均设有一个凸起的凸柱镜片研磨设备的卡盘部件和镜片研磨设备上的其它部件进行连接时，连接和限位的可靠性好，连接不易失效。
镜片研磨设备卡盘部件

[发明专利]带密封表面的静电卡盘-CN201980024665.7在审
发明人：帕特里克·G·布莱琳;迈克尔·菲利普·罗伯茨;克洛伊·巴尔达赛罗尼;伊时塔克·卡里姆;阿德里安·拉沃伊;拉梅什·钱德拉塞卡拉 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：示例性的基座可以具有主体，所述主体具有上环形密封表面，所述密封表面是平坦的、垂直于所述主体的竖直中心轴并且具有径向厚度；下凹部表面，其从所述上环形密封表面偏移；以及从所述下凹部表面突出的多个微接触区域(MCA)，每个MCA具有顶表面，该顶表面从所述下凹部表面偏移第二距离；和在所述主体内的一个或多个电极。所述上环形密封表面可以被配置成当半导体衬底被所述基座支撑时支撑所述半导体衬底的外边缘，并且所述上环形密封表面和所述MCA的所述顶部可以被配置为在所述基座支撑所述半导体衬底时支撑所述半导体衬底。
密封表面静电卡盘

[发明专利]晶圆检查装置和使用晶圆检查装置制造半导体装置的方法-CN202110061490.6在审
发明人：南基学;柳成润;金光恩;尹多英;崔明奎 -专利权人：三星电子株式会社;先进技术有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：该晶圆检查装置包括：多孔隙卡盘，其包括在整个多孔隙卡盘上形成的多个孔隙，以允许将用于固定晶圆的压力施加到该多孔隙卡盘；卡盘驱动装置；背面检查光学系统，其被构造为检查晶圆的背表面的一部分；以及位置识别光学系统，其中，多孔隙卡盘包括：多个孔，其均匀地形成在整个多孔隙卡盘上以部分地暴露晶圆的背表面；以及狭缝，其暴露晶圆的背表面并在与多孔隙卡盘的顶表面平行的一个方向上延伸。
检查装置使用制造半导体方法

[实用新型]一种滤清器外壳加工用拆卸机构-CN201921007001.3有效
发明人：马成庆;马训江;朱敏 -专利权人：泗县腾马汽车配件有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B25B13/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滤清器外壳加工用拆卸机构，包括中心杆、第一卡盘与第二卡盘，所述第一卡盘固定安装在中心杆的下端外表面，所述第二卡盘活动安装在第一卡盘的下部，所述第二卡盘与第一卡盘之间通过对接转杆对接固定，所述对接转杆的下端与第二卡盘通过转轴活动连接，所述对接转杆的上端与第一卡盘通过弹簧销对接固定，所述第一卡盘的底部外表面设有第一卡齿，所述第二卡盘的上部外表面设有第二卡齿，所述第二卡盘的底部内侧开设有对接卡槽；本实用新型通过第一卡盘和第二卡盘的设置，使得本实用新型中的滤清器外壳加工用拆卸机构具有旋转辅助结构，提升其灵活度，令其使用更加便捷，较为实用。
一种滤清外壳工用拆卸机构

[实用新型]四工位数控卧式镗铣钻床-CN202021784231.3有效
发明人：徐飞 -专利权人：桐庐群策机械制造有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B23P23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了四工位数控卧式镗铣钻床，包括主轴箱和刀架，所述主轴箱一侧表面安装有卡盘，且卡盘设置有四个，位于中间位置的两个所述卡盘安装于主轴箱一侧表面中间偏上的位置。有益效果：本实用新型采用了四个卡盘，位于中间的两个卡盘安装在主轴箱一侧表面中间偏上的位置，而位于外侧的两个卡盘安装在主轴箱一侧表面中间偏下的位置，当其中一个卡盘表面夹紧的工件加工完毕或者出现故障时，工作人员只需关闭对应卡盘的驱动电机即可进行卸料，四个卡盘在位置关系上不相互遮挡，相对于传统四工位机床，位置错开布置的卡盘更加便于工作人员拿取工件，避免全部停车取件而引起的加工工作暂停，提高了加工效率。
四工位数控卧式钻床

[发明专利]用于静电卡盘表面的垫设计-CN201611012176.4有效
发明人：戈文达·瑞泽;蔡振雄;罗伯特·T·海拉哈拉;凯瑟拉·拉马亚·纳伦德纳斯;曼朱纳塔·科普帕;罗斯·马歇尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：具体实施方式涉及静电卡盘表面，所述静电卡盘表面具有最小接触面积特征。更具体地，本发明的具体实施方式提供用于提供颗粒生成减少和基板和卡紧设备的磨损减少的静电卡盘组件，所述静电卡盘组件具有凸起伸长的表面特征图案。
用于静电卡盘表面设计

[发明专利]用于静电卡盘表面的垫设计-CN201480061349.4有效
发明人：戈文达·瑞泽;蔡振雄;罗伯特·T·海拉哈拉;凯瑟拉·拉马亚·纳伦德纳斯;曼朱纳塔·科普帕;罗斯·马歇尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：具体实施方式涉及静电卡盘表面，所述静电卡盘表面具有最小接触面积特征。更具体地，本发明的具体实施方式提供用于提供颗粒生成减少和基板和卡紧设备的磨损减少的静电卡盘组件，所述静电卡盘组件具有凸起伸长的表面特征图案。
用于静电卡盘表面设计

[发明专利]陶瓷加热器和具有增强的晶片边缘性能的ESC-CN201610625498.X有效
发明人：林兴;周建华;Z·J·叶;陈建;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本公开的实施方式提供一种用于支撑基板的改进的静电卡盘。所述静电卡盘包括：卡盘主体，所述卡盘主体耦合到支撑杆，所述卡盘主体具有基板支撑表面；多个突片，所述多个突片远离所述卡盘主体的所述基板支撑表面突出，其中所述突片绕所述卡盘主体圆周设置；电极，所述电极嵌入在所述卡盘主体内，所述电极从所述卡盘主体的中心径向地延伸到超出所述多个突片的区域；以及RF电源，所述RF电源通过第一电连接耦合到所述电极。
陶瓷加热器具有增强晶片边缘性能 esc

[实用新型]用于支撑基板的静电卡盘-CN201620829812.1有效
发明人：林兴;周建华;Z·J·叶;陈建;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本公开的实施方式提供一种用于支撑基板的改进的静电卡盘。所述静电卡盘包括卡盘主体，所述卡盘主体耦合到支撑杆，所述卡盘主体具有基板支撑表面；多个突片，所述多个突片远离所述卡盘主体的所述基板支撑表面突出，其中所述突片绕所述卡盘主体圆周设置；电极，所述电极嵌入在所述卡盘主体内，所述电极从所述卡盘主体的中心径向地延伸到超出所述多个突片的区域；以及RF电源，所述RF电源通过第一电连接耦合到所述电极。
用于支撑静电卡盘

[发明专利]一种异物检测方法、半导体晶圆检测方法及系统-CN202111472852.7在审
发明人：吴小虎;梁君丽;王柏翔;李芃葳 -专利权人：晶芯成（北京）科技有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G01N21/94 文献下载
摘要：本发明探针台的卡盘的异物检测方法，其包括：提供参照卡盘，参照卡盘的表面洁净；扫描参照卡盘，获取洁净参照图像；使用若干个过滤颜色不同的镜头，分别扫描目标卡盘，用以生成若干副待测图像；将待测图像与洁净参照图像进行比对，若一致则判断目标卡盘的表面洁净，若不一致则判断目标卡盘的表面不洁净。本发明改善了由于卡盘不清洁导致的晶圆损坏问题。
一种异物检测方法半导体系统

[发明专利]一种新型三爪卡盘-CN201110168505.5无效
发明人：雷蕾 -专利权人：苏州麦德尔机械有限公司
申请日： 2011-06-22 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： B23B31/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型三爪卡盘，包含卡盘体、卡爪轨道、卡爪和内齿盘；所述卡爪安装在卡盘体上均匀分布的卡爪轨道上；所述内齿盘安装在卡盘体内；所述内齿盘的上表面与卡盘体的内表面间设有间隙；所述卡盘体上设有气嘴，与间隙相通；所述气嘴为一至三个；本发明的新型三爪卡盘，由于内齿盘的上表面与卡盘体的内表面间设有间隙，卡盘体上又设有与间隙相通的气嘴，当车床停止工作时，只要将气缸接在气嘴上，开启气缸，就能及时排除卡爪轨道内的切削，减少卡爪与卡爪轨道间的磨损程度，延长了使用寿命；同时保证了三爪卡盘的装卡精度，提高了机床的加工精度。
一种新型卡盘

[实用新型]一种新型三爪卡盘-CN201120211302.5有效
发明人：雷蕾 -专利权人：苏州麦德尔机械有限公司
申请日： 2011-06-22 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： B23B31/103 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型三爪卡盘，包含卡盘体、卡爪轨道、卡爪和内齿盘；所述卡爪安装在卡盘体上均匀分布的卡爪轨道上；所述内齿盘安装在卡盘体内；所述内齿盘的上表面与卡盘体的内表面间设有间隙；所述卡盘体上设有气嘴，与间隙相通；所述气嘴为一至三个；本实用新型的新型三爪卡盘，由于内齿盘的上表面与卡盘体的内表面间设有间隙，卡盘体上又设有与间隙相通的气嘴，当车床停止工作时，只要将气缸接在气嘴上，开启气缸，就能及时排除卡爪轨道内的切削，减少卡爪与卡爪轨道间的磨损程度，延长了使用寿命；同时保证了三爪卡盘的装卡精度，提高了机床的加工精度。
一种新型卡盘

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