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- [发明专利]一种晶圆键合机-CN201911302743.3在审
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谢永宁
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泉州圆创机械技术开发有限公司
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2019-12-17
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2020-04-21
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆键合机,其结构包括键合压力装置、立柱、操作台、液泵、液箱、键合定位装置、集尘箱、气泵,本发明具有的效果:通过键合压力装置形成的晶圆夹合定向输送结构下,能够使上晶圆稳定垂直向下输送,利用左晶圆限位架和右晶圆限位架形成的收缩扩张结构,能够对不同直径的晶圆达到平稳的固定推送效果,通过键合定位装置形成的晶圆清洁限位结构下,能够使上晶圆在键合压力装置的输送下准确达到下晶圆上方,在形成的清洁结构作用下,能够对上晶圆和下晶圆的键合面进行环绕清洁,并在清洁完毕后向下晶圆的键合面输出粘合剂,利用键合压力装置形成的外力作用,使上晶圆和下晶圆键合,能够避免晶圆在键合后表面出现杂质和多孔层结构。
- 一种晶圆键合机
- [发明专利]热超声倒装芯片键合机-CN200610031493.0无效
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易幼平;李军辉;隆志力;王福亮;谢敬华;韩雷;钟掘
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中南大学
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2006-04-12
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2007-10-17
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H01L21/607
- 热超声倒装芯片键合机,主要包括承载倒装芯片的运动平台、对倒装芯片与基板实施精确定位的视觉系统、对倒装芯片进行键合的超声换能系统、在键合过程中完成芯片的自动拾取的真空吸附系统及加热键合工作台、使工作台保持恒定的温度的温控系统本发明采用超声键合技术,键合温度为150~200℃,可减小键合过程温度对芯片的影响,提高焊接可靠性;超声能使金属软化的效果是热软化的100倍,降低了焊接的功率,提高了焊接效率,节约了能源;热超声倒装键合无需添加助焊剂,无铅焊接,绿色环保;热超声倒装键合效率高,键合时间少于300毫秒,适应于自动化生产。本发明适用于1×1~5×5mm微电子及LED芯片的倒装键合。
- 超声倒装芯片键合机
- [实用新型]半导体分立器件键合机-CN202122601295.6有效
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李健
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江苏东海半导体股份有限公司
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2021-10-27
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2022-03-11
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H01L21/677
- 本实用新型是半导体分立器件键合机,其结构包括输送半导体分立器件铜框架的铜框架料道,铜框架料道两端分别为进料端和出料端,铜框架料道中部侧上方相邻设有2套键合限位机构,对应每套键合限位机构上方分别设一套键合机构,对应每套键合限位机构的铜框架料道另一侧分别设一套带动半导体分立器件铜框架由进料端向出料端方向输送的铜框架输送机构。本实用新型的优点:结构设计合理,两侧键合机构和键合限位机构分别键合对应位置芯片单侧管脚,每次键合完成后两侧铜框架输送机构同时动作向前输送,可有效提高键合效率,提高一倍左右生产速度,有效满足生产需要。
- 半导体分立器件键合机
- [实用新型]双色模具滑块先定后动机构-CN201920979336.5有效
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陈昆;余通
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佛山市三水进发模塑科技有限公司
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2019-06-26
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2020-03-24
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B29C45/06
- 本实用新型公开了一种双色模具滑块先定后动机构,包括第一注塑滑块、第二注塑滑块、第一合模铲机、第二合模铲机和弹性装置,第一合模铲机与第一注塑滑块相对应,第二合模铲机与第二注塑滑块相对应,弹性装置为两个,分别设于第一注塑滑块和第二注塑滑块上,弹性装置包括相对设置的拨键,第一合模铲机的宽度小于相对设置的两个拨键的距离,第二合模铲机宽度大于相对设置的两个拨键的距离。在双色模注塑时注塑第一射产品,在开模时第一注塑滑块不动;随后进行注塑第二射产品包胶,开模时第二合模铲机通过拨键把第二注塑滑块往外滑动,从而实现滑块先定后动,无需采用油缸进行控制,简化了模具的结构,降低了模具的生产成本
- 模具滑块先定后动机构
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