专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]高端微型薄膜电容器及制备方法-CN201610790115.4有效
  • 刁克明 - 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
  • 2016-08-31 - 2017-09-19 - H01G4/33
  • 本发明涉及一种高端微型薄膜电容器及制备方法,其中制备方法包括以下步骤提供衬底;通过离子束溅射沉积工艺在衬底上沉积绝缘打底膜;在所述绝缘打底膜上制作图形化的光刻胶,以所述图形化的光刻胶为掩模,通过离子束溅射沉积工艺在所述绝缘打底膜上沉积金属薄膜;去除图形化的光刻胶,通过离子束溅射沉积工艺在所述金属薄膜上沉积保护膜,得到高端微型薄膜电容器。本发明采用离子束溅射沉积工艺制作高端微型薄膜电容器,加工精度高,尤其可加工出金属手指宽度和指间间距宽度为11比值的叉指电容器,克服了现有叉指电容器加工中出现的手指之间剥离残留形成的短路,并且提高了叉指电容器的容量
  • 高端微型薄膜电容器制备方法
  • [发明专利]一种碱金属电池用复合隔膜及其制备和应用-CN201810751753.4有效
  • 王崇;陈剑 - 中国科学院大连化学物理研究所
  • 2018-07-10 - 2022-03-29 - H01M50/457
  • 本发明涉及一种碱金属电池用复合隔膜及其制备方法,其中复合隔膜包括涂覆陶瓷涂层的有机隔膜基体层和非晶态的碱金属离子导体无机固体层组成;所述的制备方法为真空物理沉积方法,包括如下步骤:将有机隔膜基体通过卷对卷的方式通过真空沉积腔体,真空箱体真空度0.5‑5Pa,反应气体为氮气,沉积电源功率30‑180W,沉积时间5‑30分钟,沉积制得复合隔膜。沉积的无机固体层致密无孔,使隔膜具有很强的机械性能和耐高温性能,能够有效防止电池杂质和金属枝晶造成的内短路发生,以及电池隔膜的热形变,同时无机固体层具有碱金属离子高速传导性能、空气中稳定和杂离子阻隔功能
  • 一种碱金属电池复合隔膜及其制备应用
  • [发明专利]金属薄膜沉积方法-CN201910846918.0有效
  • 周烽;万先进;熊少游;左明光;李远;宋锐;李远博 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-09-09 - 2022-11-22 - C23C16/18
  • 本发明提供了一种金属薄膜沉积方法,包括如下步骤:1)提供需要沉积目标金属的薄膜的衬底;2)在所述衬底上通过目标金属的化合物的化学气相沉积过程形成由所述目标金属构成的薄膜,所述薄膜附着有在化学气相沉积过程中产生的副产物;3)采用等离子体处理所述薄膜以去除所述副产物;4)重复步骤2)至步骤3),直至所述薄膜的厚度达到设定值。本发明通过采用目标金属的化合物的化学气相沉积过程在衬底表面形成目标金属薄膜,并采用等离子体处理副产物,从而减少了金属薄膜的氟含量,降低了金属层的电阻率,提高了半导体器件性能以及产品良率。
  • 金属薄膜沉积方法
  • [发明专利]金刚石的合成方法-CN201180013947.0无效
  • A·M·斯托纳姆;P·H·泰勒 - 设计材料有限公司
  • 2011-03-16 - 2012-11-21 - C01B31/06
  • 一种金刚石合成方法,所述方法包括:(i)在原子氢等离子体存在下和/或在原子氢自由基存在下,在溶解区中提供含有相对于石墨沉淀饱和的碳的液态金属;(ii)将至少一部分液态金属由溶解区转移至沉积区,(vi)将沉积区中的液态金属暴露于原子氢等离子体和/或原子氢自由基,沉积区中液态金属的温度低于溶解区中液态金属的温度,以使沉积区中液态金属含有相对于金刚石沉淀饱和、优选过饱和的碳;(vii)使沉积区中液态金属中的碳沉淀以合成金刚石;和(viii)可选地由金属中取出所合成的金刚石
  • 金刚石合成方法
  • [发明专利]一种电沉积合金薄膜的成分控制方法及装置-CN202110313720.3在审
  • 王群;韩利元;唐章宏;李永卿 - 北京工业大学
  • 2021-03-24 - 2021-07-20 - C25D21/12
  • 本发明提供一种电沉积合金薄膜的成分控制方法及装置,其方法包括:电沉积过程中基于特定的间隔时间从电镀槽中抽取镀液至分析装置,得到当前间隔时间的镀液中金属离子浓度;判断所述镀液中金属离子浓度是否符合电镀生产的浓度范围:若是,则无需通过沉积模型输出控制信号;否则,将电镀槽的若干参数及所述镀液中金属离子浓度输入沉积模型输出控制信号,使得电源在当前间隔时间输出电流以控制薄膜成分的生产;同时公开了与上述方法构成同一发明构思的装置本发明实施例有效解决了电沉积薄膜成分随电沉积时间变化而变化的问题,实现获得的薄膜保持成分性能均匀一致的效果。
  • 一种沉积合金薄膜成分控制方法装置

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