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- [发明专利]基板处理装置-CN202010124216.4在审
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伊东哲生;菊本宪幸;井上一树;山田邦夫
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株式会社斯库林集团
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2020-02-27
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2020-10-09
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H01L21/677
- 在基板处理装置(100)中,在基板搬送部(120),设置在索引部(110)与基板处理部(130)之间搬送基板(W)的搬送机器人(122)。搬送风扇过滤单元(126)设置在基板搬送部(120)的上部。排气口(124p)设置在基板搬送部(120)。循环配管(142)将基板搬送部(120)的排气口(124p)与搬送风扇过滤单元(126)连结。排气管(146)与循环配管(142)连接。惰性气体供给部(148)朝循环配管(142)供给惰性气体。循环风扇过滤单元(144)在循环配管(142)中的与排气管(146)的连接部分的下游,相对于循环配管(142)的流路平行地配置。
- 处理装置
- [发明专利]电动阀-CN201980040456.1在审
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菱谷康平
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株式会社不二工机
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2019-07-19
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2021-02-26
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F16K27/00
- 在多个端口(4,5)分别固定有将电动阀与外部设备连接的多个配管(6,7)。第二配管(7)具有大径部(7a)、小径部(7b)以及台阶部(7c)。在第二配管(7)的轴向的移动被台阶部(7c)限制的状态下,整流部件(9)插入到第二配管(7)的大径部(7a)内。作为定位单元的紧固部(10)将插入到第二配管(7)和大径部(7a)内的整流部件(9)固定。
- 电动
- [发明专利]电力转换装置-CN201980022084.X在审
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田岛豊
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日本电产株式会社
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2019-03-27
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2020-11-06
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H02M1/00
- 在电力转换装置中,第1电子部件具有第1发热部和第2发热部。第1冷却器的第1表面与第1发热部接触。第2冷却器的第2表面与第2发热部接触。第2表面隔着第1电子部件而与第1表面对置。第1配管和凹形嵌入部从第1表面延伸。第2配管和凸形嵌入部从第2表面延伸。凹形嵌入部和凸形嵌入部由树脂构成。凸形嵌入部嵌入于凹形嵌入部。凸形嵌入部与凹形嵌入部一同包围第1电子部件。第1配管流路与第1冷却器流路相连。第2配管流路与第1配管流路和第2冷却器流路相连。
- 电力转换装置
- [发明专利]带增压器的内燃机的进气装置-CN201580002689.4有效
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藤阪圣人
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铃木株式会社
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2015-04-02
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2018-10-16
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F02M35/10
- 中间冷却器出口配管(16)包括:中间冷却器出口配管(16)的内径尺寸大的大径部(16A)和内径尺寸小于大径部(16A)的小径部(16B),大径部(16A)形成于中间冷却器出口配管(16)的从长度方向中央部(C)到与进气导入管连接的下游端(16b)之间。另外,进气导入管从缓冲罐延伸到车辆(1)的下方,并且在车辆(1)的高度方向上延伸到交流发电机(21)的下部,中间冷却器出口配管(16)从空气出口管部(19a)经过安装装置(7)的下方和交流发电机(21)的下方而与进气导入管连接。
- 增压内燃机装置
- [其他]配管的接头部试验评价装置-CN201490001508.7有效
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山边雅之;中出贤志郎
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日本华尔卡工业株式会社
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2014-06-27
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2017-08-18
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G01M13/00
- 一种配管的接头部的试验评价装置,在对配管的接头部的性能进行试验或评价时使用,该配管的接头部试验评价装置的特征在于,具有水平方向移动用工作台(5)和长度/水平方向移动用工作台(11)中的至少一个工作台,该水平方向移动用工作台(5)具有固定部(4)和水平方向移动构件(6),该固定部(4)用于将经由接头部(3)而连接的两根配管(1、2)中的一根配管(1)的端部(1a)固定为旋转自如,该水平方向移动构件(6)用于使该配管(1)以该固定部(4)为轴在水平方向上移动,该长度/水平方向移动用工作台(11)具有长度/水平方向移动构件(10),该长度/水平方向移动构件(10)使该两根配管(1、2)中的另一根配管(2)在该配管(2)的长度方向和/
- 接头试验评价装置
- [发明专利]成膜装置及成膜方法-CN202180027330.8在审
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坂爪崇宽
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信越化学工业株式会社
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2021-03-22
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2022-12-02
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H01L21/365
- 本发明是一种成膜装置,其至少具备:雾化部,其雾化原料溶液而产生雾;连接于所述雾化部、并输送含有所述雾的载气的配管;输送向含有所述雾的载气中混合、并以1种以上的气体为主成分的添加用流体的至少一根以上的配管;与成膜部连接、并输送将含有所述雾的载气和所述添加用流体混合后的混合雾流体的配管;连接部件,其连接输送含有所述雾的载气的配管、输送所述添加用流体的配管、以及输送所述混合雾流体的配管;以及成膜部,其对所述雾进行热处理而在基体上进行成膜,通过所述连接部件连接的、输送所述添加用流体的配管与输送所述混合雾流体的配管所成的角是120度以上。
- 装置方法
- [实用新型]高压分配器-CN202023331035.3有效
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李锡春
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无锡宏申油泵油嘴设备有限公司
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2020-12-30
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2021-10-01
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F16L41/03
- 本实用新型公开了高压分配器,包括连接块,所述连接块的顶部固定连接有第一分配管,所述第一分配管的端部固定连接有挤压管,所述挤压管的端部固定连接有固定管,所述固定管的外表面固定连接有限位块,所述限位块的外表面设置有连接管,所述连接管的内部开设有限位槽,所述连接管的端部滑动连接有第二分配管,所述挤压管的端部设置有伸缩弹簧,所述伸缩弹簧的一端固定连接有缓冲管,所述缓冲管的端部固定连接有伸缩管,所述第一分配管的数量为若干个,若干个所述第一分配管均匀排列在连接块的外表面,所述限位槽与限位块之间设置有密封条,减少高压液体对管道之间的冲击力。
- 高压分配器
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