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[发明专利]负型感光性树脂组合物-CN201310729421.3有效
发明人：植松照博;盐田大 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2013-12-26 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明提供能够形成分辨率优异的厚膜的感光性树脂层的、厚膜用负型感光性树脂组合物；具有包含该厚膜用负型感光性树脂组合物的厚膜的感光性树脂层的厚膜感光性干燥膜；以及使用该厚膜用负型感光性树脂组合物的厚膜抗蚀剂图案的形成方法在含有（A）碱可溶性树脂和（B）光聚合性单体的厚膜用负型感光性树脂组合物中，配合（C）下述式（1）所示的化合物。
感光性树脂组合

[发明专利]一种应用于负型厚膜光刻浆料的玻璃粉及其制备方法-CN202310498969.5在审
发明人：伍佩铭;许迪;董鹏程;高辉 -专利权人：乾宇微纳技术（深圳）有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C03C12/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于负型厚膜光刻浆料的玻璃粉及其制备方法，电子材料技术领域，所述的应用于负型厚膜光刻浆料的玻璃粉，包括以下质量百分比的组分：30～40％二氧化硅、25～35％氧化铋、15～25％硼酸、本发明所述的应用于负型厚膜光刻浆料的玻璃粉不含有碱性氧化物，与基体有良好的粘结力，且不会与厚膜光刻浆料中的酸性基团发生反应，具有良好的耐酸性，在厚膜光刻浆料中能够稳定存在，不会影响到显影性能。
一种应用于负型厚膜光刻浆料玻璃粉及其制备方法

[发明专利]一种环氧型负性厚膜光刻胶及其制备与使用方法-CN201911170357.3有效
发明人：刘平;刘永生;孙友松;冉瑞成;毛国平;傅志伟 -专利权人：江苏汉拓光学材料有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种环氧型负性厚膜光刻胶，其包括以下质量百分比的组成：环氧树脂10～80％；光致产酸剂3～6％；聚合型缩水甘油醚添加剂1～5％；流平剂100～3000ppm；溶剂余量。本申请还涉及上述环氧型负性厚膜光刻胶的制备与使用方法。本发明显著改善了该厚膜光刻胶的胶膜开裂缺陷，扩大了应用范围。本发明涉及的光刻胶涂膜厚度大约10‑200um，适合制备具有高深宽比的微结构的电路或器件。
一种环氧型负性厚膜光刻及其制备使用方法

[发明专利]一种负型厚膜光刻浆料及其制备方法-CN202310498742.0在审
发明人：伍佩铭;董鹏程;许迪;孙胜延;丁德锐 -专利权人：乾宇微纳技术（深圳）有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明公开了一种负型厚膜光刻浆料及其制备方法，属于电子浆料技术领域，所述的负型厚膜光刻浆料，包括以下质量百分比的组合：75~80%导电金属相、15~25%感光性有机载体、0.5~2%粘结相；所述粘结相包括玻璃粉及无机添加剂所述的负型厚膜光刻浆料具有优异的导电性能、粘结力以及耐酸性。
一种负型厚膜光刻浆料及其制备方法

[发明专利]负型感光性硅氧烷组合物、以及使用了其的固化膜和电子器件的制造方法-CN201880076350.2在审
发明人：林昌伸 -专利权人：默克专利有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G03F7/075 文献下载
摘要：[目的]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其可形成耐热性以及开裂极限膜厚优异的固化膜。[手段]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含：含特定量硅烷醇的聚硅氧烷、特定的光碱产生剂颗粒、以及溶剂。硅烷醇的含有率利用FT‑IR测定。
感光性硅氧烷组合以及使用固化电子器件制造方法

[发明专利]一种厚膜电阻自动焊锡机-CN201910503565.4在审
发明人：顾宝华 -专利权人：浙江优联智能科技有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及公开了一种厚膜电阻自动焊锡机，包括机箱、多工位转盘、振动上料盘、上料轨道、负压上料装置、预热装置、铜带放卷装置、铜带上料装置、锡焊装置、下料轨道、负压下料装置。本发明具有以下效果：厚膜电阻先在振动上料盘的振动下进入到上料轨道；再通过负压上料装置将厚膜电阻运输到多工位转盘上；然后通过预热装置对厚膜电阻进行预热，减少产生焊接时产生冷爆的现象；继而通过铜带放卷装置放卷铜带，且通过铜带上料装置拉动铜带、裁剪铜带并将裁剪后的铜带运输到厚膜电阻上；最终通过锡焊装置焊接铜带，并通过负压下料装置将多工位转盘上的厚膜电阻运输到下料轨道上；因此具有提高成品率、加工效率，减少安全隐患等效果
铜带厚膜电阻多工位转盘负压上料装置振动上料盘自动焊锡机放卷装置上料轨道上料装置锡焊装置下料轨道下料装置预热装置负压裁剪焊接运输安全隐患加工效率成品率预热放卷机箱冷爆

[实用新型]一种厚膜电阻自动焊锡机-CN201920882088.2有效
发明人：顾宝华 -专利权人：浙江优联智能科技有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及公开了一种厚膜电阻自动焊锡机，包括机箱、多工位转盘、振动上料盘、上料轨道、负压上料装置、预热装置、铜带放卷装置、铜带上料装置、锡焊装置、下料轨道、负压下料装置。本实用新型具有以下效果：厚膜电阻先在振动上料盘的振动下进入到上料轨道；再通过负压上料装置将厚膜电阻运输到多工位转盘上；然后通过预热装置对厚膜电阻进行预热，减少产生焊接时产生冷爆的现象；继而通过铜带放卷装置放卷铜带，且通过铜带上料装置拉动铜带、裁剪铜带并将裁剪后的铜带运输到厚膜电阻上；最终通过锡焊装置焊接铜带，并通过负压下料装置将多工位转盘上的厚膜电阻运输到下料轨道上；因此具有提高成品率、加工效率，减少安全隐患等效果
一种电阻自动焊锡

[发明专利]一种窄带负滤光片的制作方法及装置-CN201710356180.0有效
发明人：王孝东;陈波;王海峰;郑鑫 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明提供的窄带负滤光片的制作方法及装置，先获取所需窄带负滤光片对应的中心波长，根据所述中心波长在基底上进行膜厚调制得到第一窄带负滤光片，对完成膜厚调制的第一窄带负滤光片进行振幅裁剪得到所需窄带负滤光片进一步地，通过膜厚调制，初步得到一个二阶121.6nm窄带负滤光片，带宽7nm，在121.6nm处反射率达到55％；分别通过正旋波、线性和五次振幅包络函数对膜厚调制作进一步剪裁，实现对带外波纹的抑制，同时带宽减小至该制作方法简单，设计的膜系包括交替叠加的氟化镁和氟化镧膜层，膜系层数少于30层，选用的材料为常用的材料，且层数少，易于制备。
一种窄带滤光制作方法装置

[发明专利]一种电磁驱动往复双缸负压泵-CN201910557689.0在审
发明人：伍本国 -专利权人：伍本国
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： F04B39/10 文献下载
摘要：一种电磁驱动往复双缸负压泵，由气泵气腔(1)气泵盖(2)出气嘴(3)进气嘴(4)出气腔O型密封圈(5)进气腔O型密封圈(6)出气压缩腔(7)出气伞形气门(8)出气孔(9)进气孔(10)进气伞形气门(11)进气压缩腔(12)进气出气混合腔(13)可塑厚膜硅胶(14)螺丝(15)T形栓锁(16)电磁驱动气泵外壳(17)矽钢铁芯(18)线圈(19)线圈(20)条形强磁铁(21)矽钢铁芯(22)条形强磁铁(23)往复杆(24)螺丝孔(25)螺丝孔(26)可塑厚膜硅胶定位缺口(27)定位柱(28)T形栓锁孔(29)组成。双缸负压泵设计为单缸进气单缸吸气，可同时使两个容器快速形成负压。
电磁驱动负压泵进气双缸气门条形强磁铁出气螺丝孔硅胶厚膜可塑伞形铁芯出气混合腔进气压缩腔吸气定位缺口气泵外壳出气孔出气腔出气嘴定位柱进气孔进气腔进气嘴气泵盖往复杆压缩腔负压螺丝气泵气腔锁孔

[发明专利]负型超厚膜光刻胶-CN201980017900.8在审
发明人：菱田有高;本林央志;卢蕾;陈春伟;卢炳宏;刘卫宏 -专利权人：默克专利股份有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明涉及一种负型水性碱可显影光敏光刻胶组合物，其包含：a)聚合物，其含有结构(1)、(2)、(3)及(4)的四种重复单元，但无其他类型的重复单元；其中v、x、y及z分别表示结构(1)、(2)、(3)及本发明还涉及使用此负型光刻胶产生光刻图像的方法。
负型超厚膜光刻

[发明专利]负型感光性树脂组合物、感光性抗蚀剂薄膜、图案形成方法、固化膜及制造方法及辊体-CN202080069169.6在审
发明人：中村亮辅;近藤崇弘;武内弘明;今井洋文 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2020-10-05 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明采用含有含环氧基树脂与金属氧化物与阳离子聚合引发剂、利用使用了含有有机溶剂的显影液的显影形成负型图案的负型感光性树脂组合物或者感光性抗蚀剂薄膜作为用于形成中空结构的感光性材料。使用上述负型感光性树脂组合物而在硅晶圆上形成的膜厚20μm的感光性树脂膜的马氏硬度小于235[N/mm2]，并且将该感光性树脂膜固化而得的固化膜在以频率1.0Hz
感光性树脂组合抗蚀剂薄膜图案形成方法固化制造

[发明专利]负型感光性树脂组合物、分隔壁以及光学元件-CN201280042624.9在审
发明人：川岛正行;高桥秀幸;古川丰;山田光太郎 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2012-08-27 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： G03F7/075 文献下载
摘要：提供一种负型感光性树脂组合物、使用其得到的分隔壁、光学元件，所述负型感光性树脂组合物的拒墨性良好，能够制造即使经过紫外线/臭氧照射处理也保持该拒墨性的分隔壁，进而在制造分隔壁时，对于使用其形成涂膜并干燥得到的膜而言，还兼具膜厚均匀而无不均、在膜表面不产生凝集物的良好涂覆性。一种负型感光性树脂组合物以及由其固化膜形成的分隔壁，所述负型感光性树脂组合物特征在于，其包含碱可溶性树脂（A）、光聚合引发剂（B）、拒墨剂（C）以及溶剂（D），拒墨剂（C）包含含氟硅烷化合物，溶剂（D）
感光性树脂组合隔壁以及光学元件

[发明专利]负型感放射线性树脂组合物-CN200580009059.6无效
发明人：西川耕二;木村徹;岩永伸一郎 -专利权人：捷时雅株式会社
申请日： 2005-03-24 - 公布日： 2007-03-21 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明的课题是提供可以精度良好地形成凸缘或布线等厚膜的镀制成形物的制造方法，适用于该制造方法的感度、析像度等良好的负型感放射线性树脂组合物，以及使用该组合物的转印膜。制造了含有(A)具有下述通式(1)及/或(2)所示结构单元的聚合物、(B)具有至少1个乙烯性不饱和双键的化合物以及(C)感放射线性自由基聚合引发剂的负型感放射线性树脂组合物，以及使用该组合物的负型感放射线性树脂组合物
负型感放射线性树脂组合

[发明专利]基于原位应力控制的III族氮化物厚膜自分离方法-CN201210256655.6有效
发明人：马志芳;杨志坚;张国义;李丁;吴洁君;贾传宇;陈志忠;于彤军;康香宁;胡晓东;秦志新;龙浩 -专利权人：北京燕园中镓半导体工程研发中心有限公司
申请日： 2012-07-23 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于原位应力控制的III族氮化物厚膜自分离方法，在适当的退火条件下，对生长于衬底上的III族氮化物厚膜逐渐升高温度，同时利用在位应力监测系统监测其应力，当应力状态由负应力转变为正应力后，在高温下保持一段时间，然后逐渐降低温度，应力由正应力转变为负应力，循环重复该升温至降温的过程，直至III族氮化物厚膜与衬底分离。本发明通过热循环条件的调节，实现厚膜材料在特定位置的应力集中，在不断的应力正负切换过程中，使厚膜的特定位置发生形变，降低了特定位置界面结合强度，从而实现了厚膜自分离，可运用于GaN厚膜的分离，工艺简单可控
基于原位应力控制 iii 氮化物分离方法

[实用新型]一种固定长度可调厚膜加热器-CN201720211970.5有效
发明人：吴鹿生;董志超;钱建伟;谢江西 -专利权人：浙江安扬新能源科技有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： H05B3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种固定长度可调厚膜加热器，包括厚膜加热器与下U型盖板，厚膜加热器包括上厚膜加热板与下厚膜加热板，上厚膜加热板设置在下厚膜加热板上，下U型盖板上设有上U型盖板，上厚膜加热板与下厚膜加热板的一端为自由端，上厚膜加热板与下厚膜加热板的另一端设置在下U型盖板与上U型盖板的端部之间，下U型盖板与上U型盖板的端部设有侧盖板；上U型盖板与下U型盖板之间设有引线板；引线板的端部与上厚膜加热板连接，上厚膜加热板与下厚膜加热板通过导线串联；上厚膜加热板与下厚膜加热板之间设有绝缘片。
一种固定长度可调加热器

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