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[发明专利]一种半导体设备综合效率的监测装置及监测方法-CN202310504951.1有效
发明人：王洪鹏 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备综合效率的监测装置及监测方法，该装置包括机台加工周期计算模块，用于在一批晶圆中，收集每一片晶圆在机台各个单元的传入时间和传出时间，并根据每一片晶圆对应的传入时间和传出时间，计算机台加工一片晶圆的机台加工周期；理论加工周期计算模块，用于根据预设离群阈值对机台加工周期进行分选，以获取理论加工周期；设备综合效率计算模块，用于在达到预设负荷时间后，获取多个相同机台上晶圆经加工后的合格品数量；以及设备综合效率数据监测模块，用于根据理论加工周期、负荷时间和合格品数量，计算多个相同机台的设备综合效率。本发明可提高芯片制造业中设备生产的加工效率。
一种半导体设备综合效率监测装置方法

[发明专利]一种设备机台生产程序管理方法、装置及系统-CN202110318876.0在审
发明人：彭加贝;闫红庆;陈友桂;邓宗然;许伟涛;张斌 -专利权人：格力电器（南京）有限公司;珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G06F16/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种设备机台生产程序管理方法、装置及系统，属于生产程序管理领域；首先将所有的设备机台用同一个网络连接，然后将每台设备机台内存储的生产程序和CAD文档都统一命名，并存放到程序池和CAD图档池内本申请方案统一命名，方便查找管理，设备机台和服务器同时存储，不易丢失，程序统一存储，查找方便，不易遗漏，方便管理设备机台上的生产程序。
一种设备机台生产程序管理方法装置系统

[发明专利]设备前端装置及其操作方法-CN201910814179.7有效
发明人：邱志强;刘定一;吕育颖 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种设备前端装置及其操作方法。具有前开式通用容器底座和机台接取端口的设备前端模组包括机器人晶圆搬运系统。机器人晶圆搬运系统配置以在耦接前开式通用容器底座的前开式通用容器与定位以经由机台接取端口来接取的处理机台之间转移硅晶圆。设备前端模组内部的空气幕系统定位以在端口开启时产生经过机台接取端口的空气幕，用于将设备前端模组内部与机台环境隔离，并防止气载污染物经由接取端口进入设备前端模组。
设备前端装置及其操作方法

[发明专利]半导体生产设备及晶圆背面清洁方法-CN201910213176.8在审
发明人：宋祖坤;顾婷婷 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体生产设备及晶圆背面清洁方法，半导体生产设备包括第一处理机台、第二处理机台、第一机械手臂及风刀；第二处理机台位于第一处理机台一侧，且与第一处理机台相邻接，第二处理机台与第一处理机台的邻接处设有密封门，第一机械手臂位于第一处理机台内，风刀位于第一处理机台内，且位于密封门外侧下方及第一机械手臂的下方。本发明的半导体生产设备通过在第二处理机台的外侧设置风刀，可以在晶圆传送至第二处理机台内之前对晶圆的背面使用干燥气体进行吹扫清洁，以去除晶圆背面的微粒，从而减少甚至避免缺陷的产生，提高产品的良率。
半导体生产设备背面清洁方法

[实用新型]撕膜设备-CN202223052926.4有效
发明人：叶庆凯;张超;叶航航;杨鑫 -专利权人：甬矽半导体（宁波）有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种撕膜设备，涉及半导体加工设备技术领域。该撕膜设备包括机台、设于机台工作面的限位机构以及真空泵；机台的工作面开设有多个真空孔；待撕膜产品的片环通过限位机构固定于机台的工作面上，且待撕膜产品的产品主体背离UV膜的一面朝向真空孔，真空泵用于对真空孔抽真空以使待撕膜产品的产品主体吸附于机台的工作面上该撕膜设备减少了人为按压产品的动作，能够降低产品开裂的风险。
设备

[实用新型]一种具有扩张式机台的冲压设备-CN201921207064.3有效
发明人：刘根金 -专利权人：江西精英厨房工程有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B21D43/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有扩张式机台的冲压设备，属于金属件加工技术领域，具有扩张式机台的冲压设备包括冲压机和设置于所述冲压机上的机台，所述机台的两侧分别铰接有左扩张板和右扩张板，所述左扩张板通过左支撑架支撑于所述冲压机的一侧本实用新型公开的具有扩张式机台的冲压设备，可实现可根据需要扩张机台工作面积。
一种具有扩张机台冲压设备

[发明专利]异常机台的检测方法和检测设备-CN201510087644.3有效
发明人：刘颖奇 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-02-25 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种异常机台的检测方法和检测设备。其中，该方法包括：接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，该至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；在该晶圆按照该抽取顺序信息依次通过该至少两台机台的腔体后，根据该抽取顺序信息获取该至少两个机台的腔体对应的晶圆在该FOUP中的第一编号；在该晶圆通过全部机台后，获取缺陷晶圆在该FOUP中对应的第二编号；根据该第二编号与第一编号的对应关系确定该至少两个机台中异常的机台的腔体。通过本发明，解决了无法精确确认异常机台的问题，实现了精确确认发生异常的机台的腔体的效果。
异常机台检测方法设备

[发明专利]一种无人机停放设备-CN202110886174.2有效
发明人：郭锦超;刘高;饶成成;郭圣;吴慧锋;廖承就;姚隽雯 -专利权人：广东电网有限责任公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B64F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种无人机停放设备，包括停机箱，所述停机箱设置有供无人机升降的升降区；所述停机箱内部设置有第一停机台以及第二停机台，所述停机箱内还设置有联动第一停机台和第二停机台交替进入所述升降区的联动机构；所述联动机构包括限定所述第一停机台和所述第二停机台移动路线的导向部，以及驱动所述第一停机台和所述第二停机台于所述导向部上移动的驱动部。与现有技术相对比，通过两组第一停机台与第二停机台的活动配合设置，本设备具有能够供给至少两台无人机进行停放的优点。
一种无人机停放设备

[发明专利]一种共用型无人机停放设备-CN202110886158.3有效
发明人：林俊省;饶成成;郭锦超;车濡均;杨睿;缪钟灵;陈赟 -专利权人：广东电网有限责任公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B64F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种共用型无人机停放设备，包括停机箱，所述停机箱设置有供无人机升降的升降区；所述停机箱内部设置有第一停机台以及第二停机台，所述停机箱内还设置有联动第一停机台和第二停机台交替进入所述升降区的联动机构；所述联动机构包括限定所述第一停机台和所述第二停机台移动路线的导向部，以及驱动所述第一停机台和所述第二停机台于所述导向部上移动的驱动部。与现有技术相对比，通过两组第一停机台与第二停机台的活动配合设置，本设备具有能够供给至少两台无人机进行停放的优点。
一种共用无人机停放设备

[实用新型]一种自动化测试线体-CN202022627534.0有效
发明人：刘丽红 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B07C5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动化测试线体，包括：多个机台，其沿线体自左向右间隔布置；上料传输机构，其位于最左侧机台的上料侧，用于上料；多个中间传输机构，其各自用于在相邻机台之间传输待测产品；多个测试机构，其设置在成行布置的机台的一侧或两侧；多个NG下料机构，其数量最多等于所述机台的数量，且设置在机台上；多个搬运机构，其各自设置在对应机台上，用于将待测产品在与对应机台对应的各机构之间进行搬运；下料传输机构，其位于最右侧机台的下料侧。本实用新型能够在机台上搭载多种机构，自动完成产品性能测试，且通用性强，能够最大化利用设备，减少设备重复投资。
一种自动化测试

[发明专利]一种方便排屑的数控车床-CN201410525137.9在审
发明人：何绍伟 -专利权人：莆田市标盛贸易有限公司
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： B23B3/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种方便排屑的数控车床，包括机台和加工设备。机台上装设有两台所述加工设备，该两台加工设备的主轴的加工端相对立地设置。两台加工设备的刀架的中部分别设有铁屑收集槽，每个铁屑收集槽的下方连接有铁屑传输轨道，每个铁屑传输轨道的出口端朝向机台的外侧。本发明的数控车床可将零件加工后落在夹紧装置下方的大部分铁屑通过铁屑收集槽排出机台，从而避免铁屑大量堆积在机台的台面上，造成刀架轨道被铁屑覆盖，刀架难以行走的情况发生。本发明的数控车床充分利用一个机台的空间，在一个机台上同时装设有两台加工设备，一个工人即可同时照看、操作两台加工设备的运行，大大节约了企业的人工成本。
一种方便数控车床

[发明专利]一种电力工程用压接机-CN202111219131.5在审
发明人：马栋;白国岩;张雷;董博;张蒙蒙;焦晓兵;曾忠良 -专利权人：中铁十六局集团电气化工程有限公司;中铁十六局集团有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01R43/048 文献下载
摘要：本发明涉及电力工程技术领域，具体是一种电力工程用压接机，包括设备机框，以及安装在设备机框内的承载机台；所述承载机台包括：引导台，分别设置于承载机台的两侧并且朝向设备机框的外口位置安装有导线载板；调节机台，设置于承载机台的中线位置并且与两侧的引导台相衔接；压接载板，呈可调节式安装于调节机台的作业面上，压接载板的两端分别与相应的导线载板相对接；调节组件，设置于调节机台两侧，用以支撑并且调节压接载板的倾斜角度；所述设备机框设置有：定位组件；安装于设备机框的两侧并且与相应的导线载板相匹配，所述定位组件呈升降式结构，用以夹持导线；压合机件，安装于设备机框上并且位于压接载板的正上方，用以压合导线。
一种电力工程接机

[实用新型]一种方便排屑的数控车床-CN201420579692.5有效
发明人：何绍伟 -专利权人：莆田市标盛贸易有限公司
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： B23B3/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种方便排屑的数控车床，包括机台和加工设备。机台上装设有两台所述加工设备，该两台加工设备的主轴的加工端相对立地设置。两台加工设备的刀架的中部分别设有铁屑收集槽，每个铁屑收集槽的下方连接有铁屑传输轨道，每个铁屑传输轨道的出口端朝向机台的外侧。本实用新型的数控车床可将零件加工后落在夹紧装置下方的大部分铁屑通过铁屑收集槽排出机台，从而避免铁屑大量堆积在机台的台面上，造成刀架轨道被铁屑覆盖，刀架难以行走的情况发生。本实用新型的数控车床充分利用一个机台的空间，在一个机台上同时装设有两台加工设备,一个工人即可同时照看、操作两台加工设备的运行，大大节约了企业的人工成本。
一种方便数控车床

[实用新型]一种化工填料储能自动焊接设备-CN202320384640.1有效
发明人：张体;田伟;许蒙 -专利权人：上海骏腾发智能设备有限公司
申请日： 2023-03-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B23K11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化工填料储能自动焊接设备，包括设备机台，所述设备机台的顶端固定连接有机台罩壳，所述设备机台的左侧安装有电容器控制柜，所述电容器控制柜的一侧安装有电控柜，所述电容器控制柜的内部安装有电容器主体，所述机台罩壳内部的一侧安装有安全光幕，所述设备机台的顶端设置有填料块，所述机台罩壳的顶端固定安装有焊烟预留管。该化工填料储能自动焊接设备通过采用电容器来储存焊接能量，取消放电变压器的形式焊接，以达到一个更高的次级电压作用在焊接的填料块上，生产效率提高数倍，省去了耗材，产品质量性能也得到进一步提升，克服常规电阻焊难以焊接的问题
一种化工填料自动焊接设备

[发明专利]一种生产线管理方法及系统-CN201910496648.5在审
发明人：罗志军;李锦平;陈晓彬;李勇;张元朝;朱政韫;谢先铭 -专利权人：广州南沙珠江啤酒有限公司
申请日： 2019-06-10 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：该方法包括如下步骤：从ERP系统中获取生产任务信息及其物料信息；根据生产任务信息确定生产流程信息；在各机台设备的设备状态正常时，且判定WMS系统中的物料库存信息满足物料信息中的数量需求时，则向WMS系统发送领料请求，使得WMS系统根据领料请求对物料库存信息进行分配处理；当监测到所述WMS系统执行完所述分配处理时，则向各机台设备发送收料请求，以使各机台设备根据所述收料请求接收物料；当接收到各机台设备发送的物料接收成功指令时，则向各机台设备发送运行指令，以使各机台设备按照所述生产流程进行生产。
机台设备生产线管理发送物料库存信息分配处理任务信息生产流程物料信息收料成功指令请求接收设备状态生产效率数量需求物料接收运行指令生产判定自动化监测