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[实用新型]一种作用于人体的顶推机构-CN201921945043.1有效
发明人：周勇;陈学坤;钟惠波;李杰;赵江波 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： A61F5/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种作用于人体的顶推机构，包括直线电机、压力检测组件和作用头；压力检测组件设置在作用头与直线电机之间，用于检测作用头施加于人体的作用力；压力检测组件包括薄膜压力传感器压头、薄膜压力传感器和薄膜压力传感器压座；薄膜压力传感器压头一端面伸入薄膜压力传感器压座提供的导向槽形成活塞式连接，薄膜压力传感器压头与薄膜压力传感器压座的导向槽内壁面之间间隙配合；薄膜压力传感器压座导向槽内底面安装薄膜压力传感器。本方案通过集成压力传感器能够及时检测出顶推压力，能够实现可控刺激，且避免对被顶推人体的伤害。而且采用薄膜压力传感器压头+薄膜压力传感器压座的设计，保证传感器的测量一致性，减小测量误差。
一种用于人体机构

[发明专利]传感器、传感器组件及对流换热系数测试方法-CN202110255781.9在审
发明人：冯雪;彭祖军;闫宇 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种传感器、传感器组件及对流换热系数测试方法，传感器包括加热薄膜、第一导热薄膜、第二导热薄膜、第三导热薄膜、第四导热薄膜、第一温度传感器以及第二温度传感器，第一导热薄膜、第二导热薄膜、第三导热薄膜以及第四导热薄膜从下至上依次层叠在加热薄膜的表面，第一导热薄膜的导热系数小于第二导热薄膜的导热系数，第三导热薄膜的导热系数小于第四导热薄膜的导热系数，第一温度传感器设于第二导热薄膜与第三导热薄膜之间并用于测量第二导热薄膜的温度，第二温度传感器设于第四导热薄膜远离加热薄膜的一侧并用于测量第四导热薄膜的温度通过传感器测量的温度可以同时计算出界面热导和对流换热系数，还可对测试的准确性进行验证。
传感器组件对流系数测试方法

[发明专利]微机械的压力传感器-CN201380019457.0有效
发明人： C.舍林;R.哈斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-03-05 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有高动态的测量区域的微机械的压力传感器。该压力传感器具有两个压力敏感的、闭合的传感器薄膜，其中，两个传感器薄膜中的每一个传感器薄膜可以耦接到一自身的压力贮存器上；还具有一布置在传感器薄膜之间的止挡装置，该止挡装置具有下列元件：一锚固元件，用于将止挡装置锚固在传感器薄膜中的至少一个传感器薄膜上；至少一个将两个传感器薄膜基本上刚性连接的耦接元件；多个支撑元件，传感器薄膜中的一个传感器薄膜在定义的几何上的偏移的情况下能与支撑元件接触；以及一密封元件，用于密封止挡装置。通过两个传感器薄膜的基本上刚性的耦接，有利地取消了单个的绝对压力值的相减。
传感器薄膜止挡装置压力传感器支撑元件微机械压力贮存器刚性连接绝对压力锚固元件密封元件压力敏感耦接元件闭合高动态偏移锚固相减耦接密封测量

[实用新型]高速公路入口发卡机专用自动车型识别系统-CN201020663494.9有效
发明人：赵梦杰;王宏实;刘艳丽;沈美龙;李毓麟 -专利权人：北京市中山新技术设备研究所
申请日： 2010-12-16 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： G07B15/00 文献下载
摘要：一种高速公路入口发卡机专用自动车型识别系统，包括车型识别控制器、两个红外测高光幕和五条压电薄膜传感器，该两个红外测高光幕相对的设置在检测区的车道两侧，该五条压电薄膜传感器沿行车方向依次铺设在检测区的车道内，彼此无交叉重叠，其中，第一压电薄膜传感器和第二压电薄膜传感器相互平行，第三压电薄膜传感器和第四压电薄膜传感器相互平行，并与第一、第二压电薄膜传感器的夹角为30～60度，第五压电薄膜传感器与第一、第二压电薄膜传感器平行本实用新型采用的压电薄膜传感器和红外测高光幕相结合的方式来识别车型，通过调整压电薄膜传感器的数量、安装的角度以及相互之间的距离使得自动车型识别系统的识别正确率达到95％以上。
高速公路入口发卡专用自动车型识别系统

[发明专利]柔性薄膜压力传感器封装结构-CN201910752116.3在审
发明人：张劭龙;张以涛;张俊;张海英 -专利权人：北京中科芯健医疗科技有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性薄膜压力传感器封装结构，包括柔性薄膜压力传感器、力学传递件以及封装保护件，所述封装保护件封装在所述柔性薄膜压力传感器上，所述力学传递件的第一端与所述柔性薄膜压力传感器接触，所述力学传递件的第二端穿出所述封装保护件，以接收并传递压力至所述柔性薄膜压力传感器。本发明的柔性薄膜压力传感器封装结构可以有效提高压力传感器的灵敏度，并且，在测量过程中，借助封装保护件，可以有效保护柔性薄膜压力传感器，防止外力直接作用于柔性薄膜压力传感器上，可以有效提高柔性薄膜压力传感器的使用寿命
压力传感器柔性薄膜封装保护传递件力学封装结构测量过程使用寿命第一端灵敏度穿出封装传递

[发明专利]通过降低噪声的差分通道的用于大型传感器阵列的电压读取技术-CN200980153621.0有效
发明人：马蒂亚斯·N·特罗科利 -专利权人：奈克斯特生物测定学公司
申请日： 2009-11-03 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G09G3/20 文献下载
摘要：一种有源传感器装置包括排列成多列传感器元件和多行传感器元件的传感器元件阵列。该传感器装置包括多列薄膜晶体管开关和多行薄膜晶体管开关，用于选择性启动传感器元件；以及多列薄膜二极管和多行薄膜二极管，用于选择性寻址传感器元件，以从这些传感器元件获得信息。所述薄膜晶体管开关和薄膜二极管形成在一公共衬底上。
通过降低噪声通道用于大型传感器阵列电压读取技术

[发明专利]一种原位有线晶圆薄膜温度传感器-CN202210786821.7在审
发明人：夏子奂 -专利权人：上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种原位晶圆薄膜温度传感器，用于测量晶圆片(1)的温度，其特征在于，至少包括薄膜温度传感器(2)、薄膜引线(3)以及引线，所述薄膜温度传感器(2)连接所述薄膜引线(3)，所述薄膜引线(3)连接所述引线，至少所述薄膜温度传感器(2)、薄膜引线(3)被设置在所述晶圆片(1)上。本发明提供的传感器整体贴合在晶圆上，固定牢靠，不会有现有晶圆测温传感器的引线晃动现象。
一种原位有线薄膜温度传感器

[发明专利]一种睡眠监测装置及其控制方法-CN202011052834.9在审
发明人：李树志 -专利权人：李树志
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： A61B5/0205 文献下载
摘要：包括两压力传感器、压电薄膜传感器及控制器。两压力传感器与压电薄膜传感器水平间隔设置，压电薄膜传感器设于两压力传感器之间，压力传感器检测外界对其产生的压力，压电薄膜传感器用于捕获用户的生理信号，控制器与两压力传感器及压电薄膜传感器电性连接。当用户侧卧时，无论是偏向睡眠监测装置的左侧还是偏向睡眠监测装置的右侧，至少有一条压力传感器能检测到用户产生的压力，控制器根据压力传感器检测到的压力，控制压电薄膜传感器工作。
一种睡眠监测装置及其控制方法

[实用新型]薄膜触控传感器组件及电容触摸屏-CN201520189618.7有效
发明人：关有为;唐彬 -专利权人：南昌欧菲光学技术有限公司;南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司
申请日： 2015-03-31 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： G06F3/044 文献下载
摘要：本实用新型公开了薄膜触控传感器组件及电容触摸屏。所述薄膜触控传感器组件，自下至上依次包括：薄膜触控传感器、液态光学胶预固化物和离型膜；所述薄膜触控传感器包括薄膜基底和绑定连接于所述薄膜基底上的银浆引脚；所述液态光学胶预固化物覆布于所述薄膜触控传感器之银浆引脚绑定区所在表面并空出所述银浆引脚绑定区，是液态光学胶涂布于所述薄膜触控传感器上经预固化而成；所述离型膜贴覆于所述液态光学胶预固化物之远离所述薄膜触控传感器的上表面并空出所述银浆引脚绑定区。薄膜电容触摸屏包括前述薄膜触控传感器组件。所述触控传感器组件及电容触摸屏减少了贴合过程中的气泡并能防止薄膜触控传感器变形，克服外观的缺陷并获得更好的性能。
薄膜传感器组件电容触摸屏

[发明专利]一种薄膜传感器引线连接方法-CN202110962178.4在审
发明人：刘宝瑞;贾洲侠;侯传涛;李尧;任方;李艳芬;许玉珍;朱仪凡;李志强;吴建国;程昊;陈志军;武小峰;赵洁;闫兴;冯国林;徐静 -专利权人：北京强度环境研究所
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种薄膜传感器引线连接方法，属于基本电气元件技术领域，包括如下步骤：确定引线类型及规格；根据传感器引脚的数量和位置打引线孔；安装引线；填充导电银浆/铂浆并固化；去除多余引线；传感器薄膜表面打磨抛光；清洗打磨抛光后的传感器薄膜表面；在试验件表面制备薄膜传感器；完成引线连接；至此，完成薄膜传感器的引线连接。本发明提出的技术方案操作简单易行，制成的薄膜传感器引线连接点处没有凸起，有效解决了现有薄膜传感器引线焊接困难、连接点凸起引起测量误差的问题。
一种薄膜传感器引线连接方法

[实用新型]乐器用压电薄膜传感器-CN201320594286.1有效
发明人：张又文 -专利权人：惠州市天音乐器有限公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： G01D3/036 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种乐器用压电薄膜传感器，包括传感器本体以及输出导线，传感器本体包括压电薄膜传感器、屏蔽壳体以及保护电路，压电薄膜传感器与保护电路紧密贴合在一起，压电薄膜传感器上设有的压电驻极体薄膜器件的输出端与保护电路的输入端连接，且压电薄膜传感器和保护电路封装在封装屏蔽壳体内，保护电路的输出端外接输出导线。本实用新型用层压方法将压电驻极体薄膜进行串联和并联的保护电路叠层，成倍提高压电驻极体薄膜传感器电荷和电压输出量，以提高其灵敏度。同时，产品表面用丝网印刷方法的将压电驻极体薄膜传感器增加柔性屏蔽层，以提高其抗干扰能力。提高其灵敏度和抗干扰能力。
乐器压电薄膜传感器

[发明专利]一种微机电系统阵列式铂薄膜温度传感器及其制备方法-CN201811134462.7在审
发明人：侯晓伟;王飞;郑良广;杨玉钊 -专利权人：宁波中车时代传感技术有限公司
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统阵列式铂薄膜温度传感器，包括绝缘基底、铂薄膜电阻温度传感器、聚酰亚胺薄膜，绝缘基底为硅基底或氧化铝陶瓷基底上沉积氧化硅绝缘层制成，绝缘基底之上沉积有铂薄膜电阻温度传感器，铂薄膜电阻温度传感器呈阵列分布，铂薄膜电阻温度传感器上由聚酰亚胺薄膜保护层覆盖，铂薄膜电阻温度传感器与基底绝缘层之间有一层钛金属层，钛金属层的厚度为10nm~20nm。还公开了所述微机电系统阵列式铂薄膜温度传感器的制备方法。
温度传感器铂薄膜电阻微机电系统铂薄膜阵列式基底绝缘聚酰亚胺薄膜钛金属层沉积制备氧化硅绝缘层氧化铝陶瓷基基底绝缘层阵列分布保护层硅基覆盖

[实用新型]一种屏蔽层及薄膜传感器结构-CN202222262848.4有效
发明人：姚华林;何大伟 -专利权人：上海凸申科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L23/552 文献下载
摘要：本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种屏蔽层及薄膜传感器结构；屏蔽层，包括，屏蔽层基材；第一导电层，设于所述屏蔽层基材的下方；用于连接一薄膜传感器本体的导电胶，设于所述第一导电层的下方；薄膜传感器包括，所述薄膜传感器本体；所述的屏蔽层，设于所述薄膜传感器本体上，所述薄膜传感器本体的第二导电层通过所述导电胶连接所述第一导电层；本实用新型通过将屏蔽层的导电层朝向传感器设置，使得可直接与传感器连接，提高产品的可靠性和稳定性
一种屏蔽薄膜传感器结构

[发明专利]用于薄膜压力传感器的应变薄膜及其制备方法、薄膜压力传感器芯体-CN201510912733.7有效
发明人：周国方;景涛;何峰;龚星 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：发明公开了一种用于薄膜压力传感器的应变薄膜及其制备方法、薄膜压力传感器芯体。该应变薄膜为氮化钽薄膜；该制备方法包括：（1）采用离子束溅射沉积方法轰击氮化钽靶，在薄膜传感器所需弹性基底上沉积氮化钽薄膜预备层；（2）进行退火处理，得到用于薄膜压力传感器的应变薄膜。薄膜压力传感器芯体包括依次设于弹性基底之上的缓冲层、绝缘层和氮化钽薄膜电阻层。本发明的用于薄膜压力传感器的应变薄膜及制备方法所制备的应变薄膜具有高应变因子、低电阻温度系数、良好电导率的优点，薄膜压力传感器芯体具有高灵敏度、在恶劣环境下具有高可靠性的优点。
用于薄膜压力传感器应变及其制备方法

[实用新型]一种基于片状传感器的监测垫-CN202121819867.1有效
发明人：张其飞;刘毅;蒙俊甫;邓韩彬;夏林 -专利权人：成都乐享智家科技有限责任公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： A61F13/15 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于片状传感器的监测垫，包括布套和设置在布套内部的控制盒和多个片状传感器；所述布套采用缝纫线分隔出多个感应区；每个感应区内均装有片状传感器，在片状传感器外部包有一层柔性材料；所述片状传感器包括压阻薄膜传感器和压电薄膜传感器；所述控制盒通过信号线分别与压阻薄膜传感器和压电薄膜传感器连接。本实用新型采用的是集成压电薄膜传感器和压阻薄膜传感器的片状传感器的监测垫，可监测人体的在离床状态，与之前设计的监测床垫相比较，整体更轻薄，更便携。
一种基于片状传感器监测