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[发明专利]一种荧光薄膜传感器的制备方法-CN202211501594.5在审
发明人：付艳艳;苑明帅;程建功 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种荧光薄膜传感器的制备方法，包括：获取基底；通过制膜方法在基底上生长金属氧化物薄膜；通过旋涂、提拉或蒸馏的方法在所述金属氧化物薄膜上制备荧光传感薄膜，得到荧光薄膜传感器。本发明与未经处理的传感器相比，能够显著增强薄膜基荧光气体传感器荧光信号变化率，提升传感速率，缩短传感器的响应时间，进而能够提高传感器的传感性能，并且操作简单、成本低廉、具有普适性。
一种荧光薄膜传感器制备方法

[发明专利]一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器-CN201710989603.2有效
发明人：董维杰;赵昕;白凤仙 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：本发明属于传感器技术领域，提供一种椭圆柔性基底的压电薄膜传感器。包括压电薄膜、柔性基底、绝缘保护层；压电薄膜传感器的柔性基底为半椭圆柱弧面结构，压电薄膜覆盖在柔性基底，并通过绝缘保护层将薄膜固定；根据柔性基底结构分为等弧长椭圆柔性基底传感器和等弦长椭圆柔性基底传感器两类该压电薄膜传感器通过仿真计算不同尺寸参数的半椭圆柔性基底的压电薄膜传感器在受到同样的力作用下的输出电压来确定最优的柔性基底尺寸，即以输出电压的高低作为确定传感器柔性基底尺寸的依据。本发明具有更高的灵敏度，便于传感器的微型化和阵列化。
一种椭圆柔性基底压电薄膜传感器

[实用新型]拾音器-CN03225350.8无效
发明人：邓辉松 -专利权人：邓辉松
申请日： 2003-04-17 - 公布日： 2004-07-21 - 主分类号： G10H3/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种拾音器，包括传感器和导电线，导电线与传感器输出级相连，传感器为薄膜传感器，薄膜传感器的两表面分别作为第一输出级和第二输出级，由于传感器为薄膜传感器，其厚度非常薄，拾音器的结构更加紧凑，结构更小，而安装拾音器的位置空间有限，这样就使安装更加方便；另外，薄膜传感器的传感效果更好，价格更低廉。
拾音器

[实用新型]拾音器-CN03225351.6无效
发明人：邓辉松 -专利权人：邓辉松
申请日： 2003-04-17 - 公布日： 2004-07-21 - 主分类号： G10H3/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种拾音器，包括传感器和导电线，导电线与传感器输出级相连，传感器为薄膜传感器，薄膜传感器的两表面分别作为第一输出级和第二输出级，由于传感器为薄膜传感器，其厚度非常薄，拾音器的结构更加紧凑，结构更小，而安装拾音器的位置空间有限，这样就使安装更加方便；另外，薄膜传感器的传感效果更好，价格更低廉。
拾音器

[发明专利]降低杂信比和提高信噪比的阵列式压电薄膜传感器及方法-CN201910243096.7有效
发明人：王剑平;孙莹;曹蕊;聂鑫 -专利权人：浙江大学
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种降低杂信比和提高信噪比的阵列式压电薄膜传感器及方法。阵列式压电薄膜传感器包括从上到下依次布置的PVDF压电薄膜层、缓冲层和基底，PVDF压电薄膜层是由多片PVDF压电薄膜在同一平面阵列排布而成，阵列式压电薄膜传感器中的缓冲层沿垂直于PVDF压电薄膜的阵列排布方向将缓冲层分为多条缓冲条，每条缓冲条平行于PVDF压电薄膜布置，每条缓冲条尺寸为与PVDF压电薄膜等宽。本发明改善阵列式压电薄膜传感器特性的方法，应用于颗粒碰撞传感器，可有效降低阵列式颗粒碰撞传感器杂信比，同时也提高了传感器的信噪比，为开发性能更优良的颗粒碰撞传感器提供了新的设计思路。
降低提高阵列压电薄膜传感器方法

[实用新型]一种医疗用温度和化学传感器结构-CN202020613949.X有效
发明人：黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;白羽 -专利权人：罕王微电子（辽宁）有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： A61B5/01 文献下载
摘要：一种医疗用温度和化学传感器结构，其特征在于：所述的医疗用温度和化学传感器结构，包括温度传感器和湿度传感器；温度传感器和湿度传感器均包括由金属薄膜，玻璃衬底，钝化层组成；其中：在金属薄膜和玻璃衬底之间，带有一层金属粘附层，温度传感器外部带有金属薄膜，湿度传感器外面带有金属薄膜，玻璃衬底设置在温度传感器和湿度传感器下面，钝化层设置在金属薄膜侧面。本实用新型的优点：本实用新型所述的医疗用温度和化学传感器结构，将传感器安装在医院的病床和轮椅上可以监测病人的体温，判断是否发烧；监测病床上的湿度，以更换床单或床垫。传感器器件可以将温度和湿度集成起来，传感器的测量可以无线或是远程的，使用更加方便。
一种医疗温度化学传感器结构

[发明专利]一种基于压电薄膜的可穿戴式血液流速传感器-CN202010042423.5在审
发明人：任豪;李志浩 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： A61B5/026 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于压电薄膜的可穿戴式血液流速传感器，其特征在于，包括至少两个压电薄膜传感器，所有压电薄膜传感器均放置在人体不同位置的皮肤上，各压电薄膜传感器对应于同一血管的不同部位，通过压电薄膜传感器检测通过肌肉和皮肤组织传导到皮肤表面的心脏的搏动，在压电效应作用下在压电薄膜传感器上下表面的电极间产生一个脉冲电压，在血管的两个不同部位获取两个不同压电薄膜传感器产生的脉冲电压，通过判断两个脉冲电压的时间间隔，推出血液在两个不同压电薄膜传感器间的平均流动速度
一种基于压电薄膜穿戴血液流速传感器

[发明专利]一种快响应且耐高温的薄膜型温度传感器及其制备方法-CN202210842917.0在审
发明人：王勇;焦瑞娜;王昆仑;宫建红;孙珲;邹文韬;刘昱赫 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：本发明涉及温度传感器技术领域，公开了一种快响应且耐高温的薄膜型温度传感器及其制备方法，其中快响应且耐高温的薄膜型温度传感器，包括绝缘基底、带缓冲层的铂薄膜电阻温度传感器，绝缘基底为石英基底，绝缘基底上沉积有缓冲层和耐高温保护层的铂薄膜电阻温度传感器，缓冲层、耐高温保护层以及铂薄膜电阻温度传感器呈S形分布，与传统退火工艺不同本薄膜电阻温度传感器经过快速退火工艺制备而成。该快响应且耐高温的薄膜型温度传感器采用磁控溅射工艺，薄膜厚度在纳米尺度，热容量小，金属附着力强，器件整体电阻低，响应时间快。
一种响应耐高温薄膜温度传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于云计算平台的柔性传感器系统-CN202110397264.5在审
发明人：仇志军;杨强强;贺瑞坡 -专利权人：有云信息科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明属于传感器技术领域，具体为一种基于云计算平台的柔性传感器系统。本发明系统包括：柔性基底、温度传感器、湿度传感器、压力传感器、光传感器、声传感器、太阳能薄膜电池、信号处理器、无线通讯器；各种传感器为薄膜传感器；各种薄膜传感器、太阳能电池、信号处理器和无线通讯器通过粘贴或者打印的方式集成在柔性基底上，通过互连线将其联结；本发明利用柔性基底轻便、灵巧、贴合性强的优势，将具有不同功能的薄膜传感器集成于一体，并利用具有自供电特点的薄膜太阳能电池，实现人体检测、环境监控等不同领域内自动采集、获取和处理大数据能力
一种基于计算平台柔性传感器系统

[实用新型]一种矿山井下运输车辆铅酸电池包温度传感器设置结构-CN202223274740.3有效
发明人：杨冰;方光胜;杨利康;张小勇;孙亚飞;李艳阳;李艳萍;彭玉锋;刘政 -专利权人：河南发恩德矿业有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01K1/16 文献下载
摘要：一种矿山井下运输车辆铅酸电池包温度传感器设置结构，包括导热铜带、薄膜温度传感器，薄膜温度传感器粘结设置在导热铜带一端；导热铜带未设置薄膜温度传感器一端固定粘结在铅酸电池包中间位置的铅酸电池侧面，设置薄膜温度传感器的另一端固定粘结在相应铅酸电池的上面；当铅酸电池充电发热时，铅酸电池包中间位置铅酸电池侧面的温度通过导热铜带传递至铅酸电池上面的薄膜温度传感器，既解决了铅酸电池顶面温度偏低测温不准的问题，又解决了侧面安装薄膜温度传感器长期受压的问题；另外在薄膜温度传感器上覆盖设置有隔热膜，隔热膜将薄膜温度传感器与电池包上部空间周围空气隔离开，解决了温度传感器易受电池包上部空间周围空气温度影响的问题。
一种矿山井下运输车辆电池温度传感器设置结构

[发明专利]带有薄膜传感器的构件及制备方法-CN201310213395.9有效
发明人：刘兴钊;蒋洪川;蒋书文;张万里;李言荣 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：带有薄膜传感器的构件，属于材料及传感技术领域。本发明的所述薄膜传感器以沉积或涂覆的形式设置在构件表面。本发明的有益效果是，能够适应各种复杂曲面构件表面薄膜传感器的制造，传感器器件具有良好的附着力，并对传感器有可靠的防护，所制造薄膜传感器的长时间工作稳定性好。
带有薄膜传感器构件制备方法

[实用新型]薄膜压力传感器标定装置-CN201921051786.4有效
发明人：孟超 -专利权人：孟超
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种薄膜压力传感器标定装置，涉及传感器标定的技术领域，包括作动器、力传导组件，以及用于放置薄膜压力传感器的支座；力传导组件包括顺次叠置的第一薄膜、保护膜和导力板，导力板用于承受作动器施加的力，第一薄膜用于与薄膜压力传感器的一侧表面接触。本申请通过作动器施加的力模拟实际碎石道床‑土质路基界面对薄膜压力传感器产生的接触应力，进而提供标定过程中所需要对薄膜压力传感器施加的力，力传导组件将作动器施加的力传递给薄膜压力传感器，薄膜压力传感器放置在支座上，进而实现受力均匀；本申请提供的标定装置模拟了实际量测碎石道床‑土质路基界面接触应力的试验工况，能够对薄膜压力传感器进行精确标定。
薄膜压力传感器标定装置

[实用新型]一种触摸式液晶显示屏面板-CN201520708297.7有效
发明人：刘世文 -专利权人：东莞市峰沃光电有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种触摸式液晶显示屏面板，包括显示单元、面板、传感器薄膜以及控制传感器薄膜的控制面板，所述传感器薄膜设于显示单元与面板之间，所述控制面板通过排线与传感器薄膜连接，所述面板的透明区域与传感器薄膜、显示单元的大小均一致，本实用新型采用控制面板电子控制的传感器薄膜，传导特有的面板传输的触摸信息，简洁直接方便。
一种触摸式液晶显示屏面板

[发明专利]一种薄膜传感器及其制备方法-CN201811099246.3有效
发明人：秦云科;刘英明;曹学友;郭玉珍;王海生;李治福 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10N30/80 文献下载
摘要：本申请公开了一种薄膜传感器及其制备方法，用以提升薄膜传感器的性能。本申请实施例提供的一种薄膜传感器，所述薄膜传感器包括：第一基板、第二基板、以及将所述第一基板和所述第二基板贴合的导电部件；所述第一基板包括：薄膜晶体管，所述第二基板包括：传感器件，所述薄膜晶体管与所述传感器件通过所述导电部件电连接
一种薄膜传感器及其制备方法

[发明专利]一种多功能体脂测量鞋子-CN202010828437.X在审
发明人：刘天宇;王云峰;薛静;王云;靳珂琪 -专利权人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： A43B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多功能体脂测量鞋子，包括体质导电薄膜和压力传感器薄膜，体质导电薄膜固定安装在鞋子的内部，且体质导电薄膜的表面裸露于鞋底的最上层、并直接接触脚底皮肤，体质导电薄膜的底部固定安装有压力传感器薄膜，压力传感器薄膜远离体质导电薄膜的一侧固定安装有温度传感器，温度传感器远离压力传感器薄膜的一侧固定安装有湿度传感器，湿度传感器远离温度传感器的一侧固定安装在鞋底上，鞋底上固定安装有低功耗蓝牙芯片、三轴陀螺仪和发条式自发电装置
一种多功能测量鞋子