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[实用新型]一种具有给无线传感器充电、数据传输功能的储存盒-CN202222865652.4有效
发明人：邓晨辉;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H02J7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有给无线传感器充电、数据传输功能的储存盒，其特征在于，包括盒体(1)、传感器承载部件、电路系统(6)，其中所述传感器承载部件用于摆放掩膜版传感器或晶圆传感器，所述电路系统(6)设置有接口与所述掩膜版传感器或晶圆传感器连接，所述电路系统(6)至少用于向所述掩膜版传感器或晶圆传感器供电和或进行数据传输。通过本实用新型提供的技术方案可以有效地解决现有技术问题，其相比较现有掩膜版和晶圆储存盒，为掩膜版传感器和晶圆传感器提供数据储存、充电和数据传输功能。
一种具有无线传感器充电数据传输功能储存

[实用新型]一种原位无线光掩膜版测温传感器-CN202222862573.8有效
发明人：夏子奂;邓晨辉;连超;王桂华 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种原位无线光掩膜版测温传感器，用于测量光掩膜版(1)的温度，其特征在于，至少包括：一光掩膜版(1)，所述光掩膜版(1)上集成1个或多个温度传感器(3)；温度数据处理模块(5)，用于与所述温度传感器(3)连接并通讯，采集所述温度传感器(3)的温度数据；以及电池(6)，其用于至少向所述处理模块(5)提供电力。本实用新型提供的传感器可以无线监测掩膜的温度分布，该传感器外形与普通光掩膜版一致，可以通过机械手传片至半导体芯片加工位置，在实际工艺原位进行无线温度测量。
一种原位无线光掩膜版测温传感器

[实用新型]一种晶圆聚焦环间隙测量装置及测量系统-CN202221151504.X有效
发明人：夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆聚焦环间隙测量装置(1)，其包括一个晶圆片，并用于测量晶圆片与聚焦环之间的间隙，其特征在于至少如下装置被设置于所述晶圆片：间隙测量模块(4)，其用于测量所述晶圆片边缘与所述聚焦环之间的间隙距离；间隙采集模块(5)，其与所述间隙测量模块(4)连接，用于采集所述间隙测量模块(4)的测量信息，并将所述测量信息传输给上位机。还提供相适应的测量系统。通过本实用新型，可进行晶圆和聚焦环间隙的原位测量，免去了校准定位腔，节省了空间；可实现实时在位检测。
一种聚焦间隙测量装置系统

[实用新型]一种多通道变送器外壳-CN202220664199.8有效
发明人：邓晨辉;刘泽鸿;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01D11/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多通道变送器外壳，至少包括前盖板安装螺钉(1)、前盖板(2)、变送器壳体(3)、后盖板(4)、后盖板安装螺钉(5)、DB15公头(6)和DB15公头固定螺钉(7)，所述前盖板(2)通过所述前盖板安装螺钉(1)与所述壳体(3)紧固连接；所述后盖板(4)通过所述后盖板安装螺钉(5)与所述壳体(3)紧固连接；所述DB15公头(6)通过所述DB15公头固定螺钉(7)与所述后盖板(4)紧固连接；在所述前盖板(2)的至少两个角落设置有与外部固定的固定孔(9)。所述前盖板以及后盖板(4)采用带导电的阳极氧化铝合金，从而实现特定用途。
一种通道变送器外壳

[发明专利]一种最高温指示晶圆及其测温方法-CN202211336870.7在审
发明人：夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种最高温指示晶圆，其用于测量半导体制程设备中的晶圆的温度，至少包括一基片(1)，所述基片(1)上至少设置一薄膜(2)，在工作状态下所述基片(1)被放置于所述半导体制程设备中且至少所述薄膜(2)的表面特征随温度不同而变化。还提供基于所述最高温指示晶圆用于测量半导体制程设备中的晶圆的温度的控制方法。本发明使用示温薄膜贴合在晶圆上来实现对高温环境的测温，对应的薄膜沉积工艺成熟，使得本发明提供的最高温指示晶圆制作方便，可在整个晶圆面上沉积薄膜，对应地可以完整检测整个晶圆面上的温度分布。
一种高温指示及其测温方法

[发明专利]一种原位无线光掩膜版测温传感器-CN202211338555.8在审
发明人：夏子奂;邓晨辉;连超;王桂华 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种原位无线光掩膜版测温传感器，用于测量光掩膜版(1)的温度，其特征在于，至少包括：一光掩膜版(1)，所述光掩膜版(1)上集成1个或多个温度传感器(3)；温度数据处理模块(5)，用于与所述温度传感器(3)连接并通讯，采集所述温度传感器(3)的温度数据；以及电池(6)，其用于至少向所述处理模块(5)提供电力。本发明提供的传感器可以无线监测掩膜的温度分布，该传感器外形与普通光掩膜版一致，可以通过机械手传片至半导体芯片加工位置，在实际工艺原位进行无线温度测量。
一种原位无线光掩膜版测温传感器

[实用新型]一种一体式光纤测温探头总成-CN202220653343.8有效
发明人：刘泽鸿;邓晨辉;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种一体式光纤测温探头总成，包括探针组件和跳线组件，探针组件包括探针上组件和探针下组件，探针上组件包括盖帽(1)、探针上部(2)与密封圈(3)，所述盖帽(1)与所述探针上部(2)连接，密封圈(3)被置于所述探针上部(2)的下端；探针下组件至少包括光纤探针(4)、探针下部(5)、探针底座(6)、压缩弹簧(7)与C型卡环(8)；所述压缩弹簧(7)套在所述探针下部(5)的轴上，所述C型卡环(8)固定在所述探针下部(5)下端；所述跳线组件至少包括第一光纤(9)、ST护套(10)与ST接头(11)。该探头总成适应于特定设备中的测温，并满足尺寸要求。
一种体式光纤测温探头总成

[外观设计]一体式光纤测温探头总成-CN202230155635.4有效
发明人：刘泽鸿;邓晨辉;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： 10-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：一体式光纤测温探头总成。2.本外观设计产品的用途：测试温度。3.本外观设计产品的设计要点：在于探针的整体结构和形状以及各部件之间的比例关系。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
体式光纤测温探头总成

[外观设计]四通道光纤变送器-CN202230157091.5有效
发明人：邓晨辉;刘泽鸿;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： 14-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：四通道光纤变送器。2.本外观设计产品的用途：传输信号。3.本外观设计产品的设计要点：在于变送器的整体结构和形状以及各部件之间的比例关系。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计2立体图1。5.设计1仰视图与设计1俯视图对称，省略设计1仰视图;设计2仰视图与设计2俯视图对称，省略设计2仰视图;设计3仰视图与设计3俯视图对称，省略设计3仰视图。6.指定设计2为基本设计。
通道光纤变送器

[发明专利]一种原位有线晶圆薄膜温度传感器-CN202210786821.7在审
发明人：夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种原位晶圆薄膜温度传感器，用于测量晶圆片(1)的温度，其特征在于，至少包括薄膜温度传感器(2)、薄膜引线(3)以及引线，所述薄膜温度传感器(2)连接所述薄膜引线(3)，所述薄膜引线(3)连接所述引线，至少所述薄膜温度传感器(2)、薄膜引线(3)被设置在所述晶圆片(1)上。本发明提供的传感器整体贴合在晶圆上，固定牢靠，不会有现有晶圆测温传感器的引线晃动现象。
一种原位有线薄膜温度传感器

[实用新型]一种真空光纤测温探头总成-CN202220653345.7有效
发明人：刘泽鸿;邓晨辉;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空光纤测温探头总成，包括探针组件和真空贯穿器组件，探针组件包括盖帽(1)、探针外壳(2)、第一密封圈(3)和光纤探针(4)，盖帽(1)与探针外壳(2)连接，第一密封圈(3)套于探针外壳(2)轴上，光纤探针(4)的一端固定在所述探针外壳(2)上；真空贯穿器组件包括真空贯穿器上部(5)、第二密封圈(6)、真空贯穿器下部(7)、连接光纤(8)与第二光纤(10)，所述真空贯穿器上部(5)与真空贯穿器下部(7)通过螺纹连接并在两者之间形成一个空间。该探头总成适应于真空环境下的测温，并满足尺寸要求。
一种真空光纤测温探头总成

[实用新型]一种分体式光纤测温探头总成-CN202220653363.5有效
发明人：刘泽鸿;邓晨辉;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种分体式光纤测温探头总成，包括探针组件和跳线组件，探针组件包括盖帽(1)、光纤探针(2)、探针外壳(3)以及探针底座(4)，盖帽(1)与所述探针外壳(3)连接，探针外壳(3)内设置所述光纤探针(2)；跳线组件包括活动销(5)、弹簧盖(6)、螺栓连接件(7)、第一光纤(8)、ST护套(9)、ST接头(10)以及压缩弹簧(11)，弹簧盖与螺栓连接件通过螺纹连接，活动销(5)和压缩弹簧(11)放置在所述弹簧盖(6)与螺栓连接件之间，活动销(5)与第一光纤(8)的一端通过螺纹连接，所述第一光纤另一端与ST接头(10)连接。其以分体式方式存在并适应于特定设备中的测温，满足尺寸要求。
一种体式光纤测温探头总成

[外观设计]真空光纤测温探头总成-CN202230155634.X有效
发明人：刘泽鸿;邓晨辉;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： 10-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空光纤测温探头总成。2.本外观设计产品的用途：测试温度。3.本外观设计产品的设计要点：在于探针的整体结构和形状以及各部件之间的比例关系。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.后视图与主视图对称，省略后视图;俯视图、仰视图与主视图相同，省略俯视图、仰视图。
真空光纤测温探头总成

[发明专利]一种测量聚焦环与晶圆片边缘间隙的无线装置和测量方法-CN202210523266.9在审
发明人：夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆聚焦环间隙测量装置(1)，其包括一个晶圆片，并用于测量晶圆片与聚焦环之间的间隙，其特征在于至少如下装置被设置于所述晶圆片：间隙测量模块(4)，其用于测量所述晶圆片边缘与所述聚焦环之间的间隙距离；间隙采集模块(5)，其与所述间隙测量模块(4)连接，用于采集所述间隙测量模块(4)的测量信息，并将所述测量信息传输给上位机。还提供相适应的测量系统以及测量方法。通过本发明，可进行晶圆和聚焦环间隙的原位测量，免去了校准定位腔，节省了空间；可实现实时在位检测。
一种测量聚焦晶圆片边缘间隙无线装置测量方法

[外观设计]分体式光纤测温探头总成-CN202230155223.0有效
发明人：刘泽鸿;邓晨辉;吴志伟;夏子奂 -专利权人： 上海集迦电子科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：分体式光纤测温探头总成。2.本外观设计产品的用途：测试温度。3.本外观设计产品的设计要点：在于探针的整体结构和形状、以及各部件之间的比例关系。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.后视图与主视图旋转180度后相同，省略后视图;仰视图与俯视图相同，省略仰视图。
体式光纤测温探头总成

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