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[实用新型]触控显示装置及压力触控单元-CN201520372748.4有效
发明人：钭忠尚;唐彬;孟锴;许鹏;徐觅 -专利权人：南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司
申请日： 2015-06-02 - 公布日： 2015-10-07 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：压力触控单元包括柔性电路板以及设置在柔性电路板上的压电薄膜传感器，其中柔性电路板包括依次设置的第一基层、第一线路层和第二基层，所述第二基层上设置孔洞并露出部分的第一线路层；压电薄膜传感器包括压电薄膜和分别位于压电薄膜两侧的上导电胶和下导电胶，所述压电薄膜传感器设置在柔性电路板的所述孔洞处，且所述上导电胶与第一线路层粘合，所述上导电胶作为压电薄膜传感器的上电极，所述下导电胶作为压电薄膜传感器的下电极。将压电薄膜传感器集成设置在柔性电路板上，可简化压电薄膜传感器的排线设计，同时利于压力触控单元在触控显示装置中的组装。
显示装置压力单元

[发明专利]具有主动抑制声能损失功能的薄膜体声波传感器及方法-CN200910103042.7无效
发明人：贺学锋;温志渝 -专利权人：重庆大学
申请日： 2009-01-09 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： G01N29/32 文献下载
摘要：本发明提出利用主动控制技术提高薄膜体声波传感器灵敏度的方法，以及实现该方法的一种薄膜体声波传感器结构，其是在常规薄膜体声波谐振器或传感器的敏感压电层下面与衬底之间增加一层主动控制压电层及相应的金属电极，在进行检测时，需要在对敏感压电层施加电信号的同时，对主动控制压电层施加一个电信号，以补充部分损失的声能和提高体声波传感器的品质因子，达到提高体声波传感器灵敏度的目的。本传感器具有结构简单，可以采用常规薄膜体声波谐振器或传感器的微加工工艺流程制作等优点，为提高薄膜体声波传感器的灵敏度提出了一种解决方案，也可应用于其它声波传感器和声波谐振器。
具有主动抑制损失功能薄膜声波传感器方法

[发明专利]一种压电薄膜传感器-CN202211148352.2在审
发明人：何大伟;姚华林;朱凯 -专利权人：上海凸申科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种压电薄膜传感器，包括，压电薄膜，包括一传感器基材，传感器基材的上下表面分别设有上电极和下电极，上电极和下电极的侧边分别设有电极引出结构，各电极引出结构位于传感器基材的同一侧并且和传感器基材位于同一水平面上；质量块，设于压电薄膜上，压电薄膜连接一外部的印刷线路板，质量块位于印刷线路板的槽体内，电极引出结构通过连接器与印刷线路板的焊盘连接；本发明使得压电薄膜传感器可以在印刷电路板上实现安装小型化，同时降低传感器结构复杂度
一种压电薄膜传感器

[实用新型]一种压电薄膜传感器-CN202222487621.X有效
发明人：何大伟;姚华林;朱凯 -专利权人：上海凸申科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H10N30/87 文献下载
摘要：本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种压电薄膜传感器，包括，压电薄膜，包括一传感器基材，传感器基材的上下表面分别设有上电极和下电极，上电极和下电极的侧边分别设有电极引出结构，各电极引出结构位于传感器基材的同一侧并且和传感器基材位于同一水平面上；质量块，设于压电薄膜上，压电薄膜连接一外部的印刷线路板，质量块位于印刷线路板的槽体内，电极引出结构通过连接器与印刷线路板的焊盘连接；本实用新型使得压电薄膜传感器可以在印刷电路板上实现安装小型化，同时降低传感器结构复杂度
一种压电薄膜传感器

[发明专利]一种古建筑彩绘梁位移的测量系统-CN201910990547.3有效
发明人：邵亚飞 -专利权人：青海民族大学
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种古建筑彩绘梁位移的测量系统，包括设置在与彩绘梁两端相连的连接面上的薄膜式压力传感器组，该薄膜式压力传感器组的数量为2组，每一组包括八个薄膜式压力传感器，薄膜式压力传感器包括L形底板、安装在L形底板的底面上的凸块、一组橡胶弹簧、安装在凸块和一组橡胶弹簧上的第一薄膜式压力传感器以及通过另一组橡胶弹簧安装在L形底板的侧面内侧的第二薄膜式压力传感器，第一薄膜式压力传感器水平设置，且绷直，传感面与彩绘梁侧面的四个角分别相抵，第二薄膜式压力传感器的传感面水平向上设置时与彩绘梁的下底面相抵，传感面水平向下设置时与彩绘梁的上底面相抵。
一种古建筑彩绘位移测量系统

[发明专利]感应薄膜以及智能地面-CN202211627002.4在审
发明人：钟涛;周春山 -专利权人：苏州创印电子科技有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01L1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种感应薄膜以及智能地面，所述感应薄膜包括基材以及形成于基材上的电阻式压力传感器和电磁感应式传感器，所述电阻式压力传感器用于感应施加于所述感应薄膜上的压力，所述电磁感应式传感器用于感应作用于所述感应薄膜上的生物电场本发明的感应薄膜以及智能地面，通过设置在感应薄膜内的电阻式压力传感器和电磁感应式传感器共同配合作用，能有效提高智能地面对被监测人员站立姿态、行走状态、运动轨迹的监测精度以及灵敏度。
感应薄膜以及智能地面

[实用新型]基于薄膜传感器的腕式血压计-CN201621074119.4有效
发明人：雷阳;常庚;韩杰 -专利权人：雷阳
申请日： 2016-09-22 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： A61B5/021 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于薄膜传感器的腕式血压计，包括壳体，设于壳体中的处理器以及与处理器连接的模数转换器、显示器、存储器、报警器，模数转换器通过信号放大器与薄膜传感器连接，薄膜传感器设于壳体的下表面，显示器设于壳体的上表面采用上述方案的基于薄膜传感器的腕式血压计利用薄膜传感器实时检测血压，能够便于医生根据血压情况制定治疗方案，并且能够在血压高时提醒用户注意。
基于薄膜传感器血压计

[发明专利]一种检测压力的磁膜传感器-CN202010546155.0在审
发明人：柳子兴;江泽锋;裴璐 -专利权人：深圳市云梦科讯科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01L9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测压力的磁膜传感器，由传感器壳体、设于传感器壳体内的弹性薄膜、设于弹性薄膜上的磁性材料块、设于传感器壳体内之弹性薄膜下方的PCB板、设于PCB板上的磁感应芯片、设于PCB板底部的信号传输针脚或信号传输连接线组成，传感器壳体的上面设有第一导气孔，PCB板设有第二导气孔。弹性薄膜置于传感器壳体的中部，将传感器壳体隔为上下两个腔体，两个腔体为弹性薄膜在压力作用下的形变空间。弹性薄膜由压力产生的振动或形变，磁感应芯片检测到磁场信号值经MCU单元输出压力信号值，或MCU单元通过与标定的压力值对比判断输出对应的控制信号。本方案设计的传感器可应用于电子烟、医疗器具的气管插管等产品上。
一种检测压力传感器

[发明专利]一种基于毛细微流泵的汗液收集与检测贴片-CN202211109809.9在审
发明人：毛红菊;孙腾;恢嘉楠;周麟;赵建龙 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于毛细微流泵的汗液收集与检测贴片，PET薄膜和PDMS薄膜的周缘密封连接，传感器组件包括汗液标志物检测传感器和流速传感器，PET薄膜上形成有由工作电极、参比电极和对电极共同提供的汗液标志物检测传感器，PET薄膜上还形成有由插指电极提供的流速传感器，PDMS薄膜上形成有进样腔室，汗液标志物检测传感器正对进样腔室中以对汗液的标志物进行测量，PDMS薄膜上形成有蛇形微柱阵列通道，流速传感器正对蛇形微柱阵列通道以对汗液的流速进行测量根据本发明的基于毛细微流泵的汗液收集与检测贴片，集成了汗液代谢物检测和流速检测的传感器实现多目标检测，可以有效地同时检测汗液中标志物乳酸和汗液流速。
一种基于细微汗液收集检测

[实用新型]一种检测压力的磁膜传感器-CN202021106623.4有效
发明人：柳子兴;江泽锋;裴璐 -专利权人：深圳市云梦科讯科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G01L9/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种检测压力的磁膜传感器，由传感器壳体、设于传感器壳体内的弹性薄膜、设于弹性薄膜上的磁性材料块、设于传感器壳体内之弹性薄膜下方的PCB板、设于PCB板上的磁感应芯片、设于PCB板底部的信号传输针脚或信号传输连接线组成，传感器壳体的上面设有第一导气孔，PCB板设有第二导气孔。弹性薄膜置于传感器壳体的中部，将传感器壳体隔为上下两个腔体，两个腔体为弹性薄膜在压力作用下的形变空间。弹性薄膜由压力产生的振动或形变，磁感应芯片检测到磁场信号值经MCU单元输出压力信号值，或MCU单元通过与标定的压力值对比判断输出对应的控制信号。本方案设计的传感器可应用于电子烟、医疗器具的气管插管等产品上。
一种检测压力传感器

[发明专利]声表面波微氢气传感器及其制作工艺-CN200710025221.4无效
发明人：殷晨波;陶春旻;周俊静 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2007-07-19 - 公布日： 2008-01-09 - 主分类号： G01N29/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波微氢气传感器及其制备工艺，主要用于生产、储备、运输和分销氢的过程中氢的安全检测技术领域。该传感器在具有传统单层钯膜氢气传感器常温工作的特性的同时，极大地提高了氢气传感器的灵敏度，同时由于采用MEMS工艺微氢气传感器还具有体积小、响应快、易集成、稳定性好、成本低、易批量生产等优点。本发明的声表面波微氢气传感器，主要包括：压电基底、输入叉指换能器、输出叉指换能器和氢敏薄膜，其氢敏薄膜由钯银合金薄膜和二氧化锡薄膜构成，二氧化锡薄膜依附于压电基底上，钯银合金薄膜依附于二氧化锡薄膜上面，从而构成双层敏感薄膜。
表面波氢气传感器及其制作工艺

[发明专利]一种柔性薄膜热流传感器及其制备方法-CN201610545724.3在审
发明人：赵晓辉;陈喆;蒋洪川;张万里 -专利权人：电子科技大学;东莞电子科技大学电子信息工程研究院
申请日： 2016-07-04 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： G01K17/08 文献下载
摘要：一种柔性薄膜热流传感器，属于薄膜传感器的设计及制备技术领域。自下而上依次为下封装层、冷端温度敏感薄膜电阻对、柔性衬底、热端温度敏感薄膜电阻对和上封装层，所述柔性衬底中设置贯穿柔性衬底的电极，用于将冷端温度敏感薄膜电阻对和热端温度敏感薄膜电阻对形成一个惠斯通电桥，冷端温度敏感薄膜电阻对和热端温度敏感薄膜电阻对中的电阻的阻值为10‑1000Ω。本发明热流传感器中温度敏感薄膜电阻的厚度非常小，具有更快的响应速度，响应时间大约为0.1s；本发明热流传感器采用柔性衬底作为传感器的载体，可以实现与异构件表面的紧密贴合，进而实现对异构件表面热流的精准测量，大大提高了薄膜热流传感器的适用范围。
一种柔性薄膜热流传感器及其制备方法

[实用新型]薄膜复合机-CN201821428595.0有效
发明人：张海林;滕玉朋 -专利权人：青岛赛瑞达电子科技有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B32B37/12 文献下载
摘要：一种薄膜复合机，机架上安装有用于固定卷轴的安装轴、用于对从卷轴中抽出薄膜带状材料进行输送导向的导向轴、用于检测薄膜带状材料输送时张紧力的张力传感器以及用于将层叠的多条薄膜带状材料粘接合一的加热塑封装置；张力传感器设置的导轨位于角平分线上，使检测辊在角平分线上移动。薄膜复合机的张力传感器两侧均设置有导向辊，张力传感器的导轨位于两侧薄膜带状材料的角平分线上，使薄膜带状材料位置稳定，不会受到薄膜带状材料直径变化的影响，并且两侧薄膜带状材料作用到张力传感器上检测辊的合力方向与检测辊的微动方向重合，提高张力传感器检测的准确性，保证复合质量，防止薄膜带状材料扯断。
带状材料薄膜张力传感器薄膜复合机角平分线检测辊导轨带状材料输送固定卷轴合力方向塑封装置位置稳定直径变化卷轴安装轴导向辊导向轴上移动张紧力检测重合扯断加热微动粘接抽出复合保证

[实用新型]基于薄膜压力传感器的飞物靶-CN201821630025.X有效
发明人：王丁 -专利权人：哈尔滨若朋机器人有限责任公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： A63F9/02 文献下载
摘要：基于薄膜压力传感器的飞物靶，由电路板体和外壳体组成；电路板体包括：电路板，安放于电路板上的超声传感器模块，安放于电路板上的微处理器板；微处理器板上有微处理器电路；外壳体包括:外壳和安放于外壳正面外表面的薄膜压力传感器；超声传感器模块的超声传感器从外壳的孔中露出；超声传感器模块与微处理器板的微处理器电路相连,薄膜压力传感器与微处理器板的微处理器电路相连；在微处理器板的的微处理器电路控制下，当薄膜压力传感器检测到有物体投掷时,根据超声传感器模块测得的投掷者距离来计算得分,投掷距离越远,得分越多。
薄膜压力传感器超声传感器微处理器板微处理器电路电路板投掷电路板体外壳体飞物外壳正面检测

[发明专利]硅-玻璃-硅结构声表面波温度和压力集成传感器及制备-CN201610293100.7有效
发明人：伞海生;周鹏 -专利权人：厦门纵能电子科技有限公司
申请日： 2016-05-05 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： G01K11/26 文献下载
摘要：硅‑玻璃‑硅结构声表面波温度和压力集成传感器及制备，涉及传感器。传感器为硅‑玻璃‑硅三明治结构，压力传感器集成在上层的硅基感压薄膜上，温度传感器集成在底部的硅基底上，硅基底与上层通过玻璃框架隔离。制造方法：制备硅基底；制备硅基感压薄膜；硅基底、硅基感压薄膜与玻璃框架键合形成三明治结构空腔；以SOI晶圆片中的掩埋氧化硅层为腐蚀自停止层刻蚀SOI晶圆片的衬底层，留下SOI晶圆片的器件层作为压力传感器的硅基感压薄膜；在硅基感压薄膜上刻蚀四个电极区域，刻蚀区域为温度传感器和压力传感器电极区域的上方，分别以玻璃框架与硅基感压薄膜键合的界面和硅基感压薄膜上的镶嵌电极为刻蚀停止层；阵列器件裂片后得单个器件。
玻璃结构表面波温度压力集成传感器制备