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[发明专利]蒸镀掩膜板-CN201510125791.5有效
发明人：张健 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2015-03-20 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种适用于制备主动式有机电致发光器件的蒸镀掩膜板，用于解决现有技术中因蒸镀掩膜板形变所导致的混色问题，提高蒸镀品质。所述蒸镀掩膜板包括沿同一方向排列的多个蒸镀单元，每一蒸镀单元上设置有多个呈规则排列的蒸镀缺口，至少有一个蒸镀单元的蒸镀缺口的形状与其他蒸镀单元的蒸镀缺口的形状不同。
蒸镀掩膜板

[实用新型]一种蒸镀结构及蒸镀装置-CN202320826711.9有效
发明人：韦寅帆;郝力强;王勇波;王强;孙鹏举 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀结构及蒸镀装置，蒸镀结构包括蒸镀源、掩膜板和至少一个导热板，所述掩膜板相对设置在所述蒸镀源的上方，所述导热板上设置有平面，所述导热板内设置有加热元件，所述导热板可旋转地设置在所述蒸镀源和所述掩膜板之间，以使所述平面能够在朝向所述蒸镀源或所述掩膜板进行切换，蒸镀装置包括蒸镀结构。该蒸镀结构及蒸镀装置通过增设导热板，将蒸镀源转化为面蒸镀源，提高了蒸镀均匀性；缩小了蒸镀材料与基板间距离，减小材料发散角度影响，从而减轻了shadow效应；双面蒸镀设计可同时蒸镀两种材料，大幅提高了产品的生产效率
一种结构装置

[实用新型]蒸镀组件及蒸镀系统-CN201821868678.1有效
发明人：王浩田;陶敏;杨小翠 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀组件及蒸镀系统，涉及显示技术领域，采用该蒸镀组件进行蒸镀时，可有效防止掩膜板发生形变下垂，从而提高蒸镀材料蒸镀时的位置精度。该蒸镀组件，包括：蒸镀源；所述蒸镀源具有一蒸镀口；设置在所述蒸镀源上、且位于所述蒸镀口的蒸镀区域外侧的平整件；所述平整件用于在所述蒸镀源在掩膜板下方移动的过程中，对所述掩膜板朝向所述蒸镀源一侧的表面进行平整上述蒸镀组件及蒸镀系统用于蒸镀。
蒸镀蒸镀源蒸镀系统掩膜板平整件本实用新型蒸镀材料形变下垂平整移动

[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法-CN201811296070.0有效
发明人：金明洙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀设备及蒸镀方法，其中，所述蒸镀设备包括：蒸镀腔室，以及位于所述蒸镀腔室内部的供应装置、加热装置、压合装置和蒸镀装置，供应装置用于提供掩膜板和基板；加热装置用于对掩膜板进行加热，以使掩膜板膨胀；压合装置用于将膨胀的掩膜板与基板进行压合；蒸镀装置用于对完成压合后的基板进行蒸镀。本申请实施例提供的蒸镀设备，通过加热装置将掩模板加热到膨胀状态，然后通过压合装置将膨胀状态下的掩模板与基板进行压合，膨胀状态下的掩膜板能够与基板之间进行更紧密地贴合，减小掩模板与基板之间的缝隙，从而提高蒸镀精度和蒸镀质量，并且可以进一步提升蒸镀设备的信赖性。
一种设备方法

[发明专利]一种调节装置、蒸镀机及调节方法-CN202110182514.3有效
发明人：马超;张文畅;郭登俊;黄世花;韩丰明;吕文旭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种调节装置、蒸镀机及调节方法，该调节装置包括用于放置蒸镀掩膜版的基台，基台设置有能调节高度的支撑机构，用于将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，通过在复杂蒸镀过程中将蒸镀掩膜版的框架区域与待蒸镀基板贴合，提高蒸镀精度，进而提升OLED良率。
一种调节装置蒸镀机方法

[实用新型]掩膜板-CN201820714443.0有效
发明人：郭校生;高峰;甘帅燕 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜板主体和加强结构，掩膜板主体包括相对设置的玻璃面与蒸镀面；蒸镀面上包括：蒸镀区；虚设区，位于蒸镀区一侧；切割区，位于虚设区与蒸镀区之间；过渡区，围绕蒸镀区设置，且虚设区与切割区均位于过渡区内侧；加强结构设置于掩膜板主体的蒸镀面上，且位于过渡区内，加强结构远离过渡区的一面高于蒸镀面所在的平面。上述掩膜板，由于环绕蒸镀区的过渡区设置了加强结构，因此增加了过渡区的整体厚度，从而增加了掩膜板的整体结构强度，进而大幅度降低了应力集中、拉力、重力等因素对掩膜板的影响，从而有效改善了切割区的受力情况，达到了防止掩膜板因厚度不同导致的受力不均而产生褶皱的目的
掩膜板蒸镀加强结构过渡区切割区虚设蒸镀面褶皱受力不均相对设置应力集中玻璃面受力掩膜环绕

[发明专利]超薄玻璃掩膜板以及蒸镀方法-CN202110649423.6在审
发明人：蒋承忠 -专利权人：蒋承忠
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了超薄玻璃掩膜板以及蒸镀方法，其中，超薄玻璃掩膜板包括：一掩膜板骨架，其中的骨架合围形成若干个供掩膜安装的留空区域；以及若干超薄玻璃掩膜，分别固定于留空区域，每个超薄玻璃掩膜包括一超薄玻璃本体，基于预设蒸镀图案在超薄玻璃本体的唯一的基板区域沿厚度方向形成贯穿超薄玻璃本体的若干贯通孔，每个贯通孔的内壁与超薄玻璃本体的表面之间形成倒角，基板区域露出于留空区域，当进行蒸镀时，超薄玻璃掩膜的贯通孔供蒸镀介质通过超薄玻璃本体到达蒸镀对象本发明能够通过超薄玻璃掩膜板替代传统金属掩膜，大大降低了掩膜的整体成本，并且，不需要张网步骤，提高了蒸镀的精度，也缩短了蒸镀工艺的总时长，提高了生产效率。
超薄玻璃掩膜板以及方法

[发明专利]掩膜板及其制作方法、掩膜组件-CN201610617389.3有效
发明人：林治明;王震 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板及其制作方法、掩膜组件，该掩膜板包括至少一个掩膜单元，所述掩膜单元包括蒸镀有效区以及位于所述蒸镀有效区与所述掩膜板第一边沿之间的边缘区域，所述边缘区域上设置有弯曲缓解结构，所述弯曲缓解结构用于当所述掩膜板按照所述第一边沿的延伸方向被拉伸时缓解所述蒸镀有效区的边缘卷曲本发明提供的掩膜板，通过在掩膜板上设置弯曲缓解结构，当该掩膜板焊接在框架上被拉伸时，通过弯曲缓解结构可以有效缓解掩膜板上蒸镀有效区的边缘卷曲，避免在蒸镀过程中在蒸镀的产品的对应位置上产生不良。
掩膜板及其制作方法组件

[发明专利]一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备-CN201810930390.0有效
发明人：戚海平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-08-15 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备，涉及显示技术，在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。确定了蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙后，即可根据该贴合间隙在生产过程中在产品蒸镀前可以根据Gap(间隙)分析结果提前判定产品不良类型及比率，从而大幅降低蒸镀成本并提高不良改善效率。
一种蒸镀掩膜板玻璃贴合间隙确定方法装置设备

[发明专利]张网方法及张网装置-CN202110217987.2在审
发明人：付佳;王腾雨;赵晶晶 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例第一方面中的张网方法，包括：提供通用蒸镀掩膜，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应；对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动。保证通用蒸镀掩膜中的多个蒸镀开口的形变均一性，提高通用蒸镀掩膜的张网准确度，从而提高蒸镀精度，提高显示面板的显示质量以及可靠性。
方法装置

[发明专利]精密掩膜板和掩膜板-CN202111367576.8在审
发明人：邱岳;王子豪;李伟丽;韩冰;李文星 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密掩膜板和掩膜板，精密掩膜板包括掩膜板主体，掩膜板主体包括至少一个蒸镀区域、至少部分围绕蒸镀区域的遮挡区域以及围绕蒸镀区域和遮挡区域的边缘区域，其中，蒸镀区域包括多个精密蒸镀孔，边缘区域包括多个边缘区开孔本申请中提供的精密掩膜板中，由于遮挡区域、边缘区域和各蒸镀区域的支撑强度差异小，从而可以在对精密掩膜板进行张网的过程中，使得各个区域受到的应力差异减小，从而降低张网后精密掩膜板出现褶皱的概率，提升产品良率
精密掩膜板

[发明专利]一种蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法-CN201811234189.5在审
发明人：黄建宁 -专利权人：黄建宁
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀系统及蒸镀及掩膜板清洗方法，所述蒸镀系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块，其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。与现有技术相比，根据本发明的蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法，可以显著提高蒸镀工艺效率和清洗效果，并在保护环境的同时显著降低清洗成本。
蒸镀掩膜板分离平台蒸镀系统清洗模块清洗对位储藏室转换平台加热室有机蒸镀室工艺效率金属蒸镀清洗单元清洗效果冷却室卸载台

[发明专利]有机电致发光面板及其制造方法、以及其制造装置-CN200410095218.6无效
发明人：四谷真一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-11-22 - 公布日： 2005-06-01 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：提供一种可以形成高精细的电致发光层或容易拆装蒸镀掩膜和被蒸镀基板的有机EL面板制造方法、用于实施该制造方法的简单构成的有机EL面板的制造装置以及由该制造装置制造的有机EL面板。在通过使用蒸镀掩膜(3)的蒸镀形成由多层构成的电致发光层的一部分或全部的有机电致发光面板的制造方法中，在蒸镀时，将蒸镀掩膜(3)配置在被蒸镀基板(玻璃基板4)的所定的位置上，用力按压被蒸镀基板，将蒸镀掩膜(3)与被蒸镀基板密接。
有机电致发光面板及其制造方法装置

[发明专利]一种有机发光显示器及其制作方法-CN201310410926.3有效
发明人：刘巍;朱修剑;邱勇 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：其制作方法包括采用蒸镀掩膜板进行蒸镀的步骤，在所述采用蒸镀掩膜板进行蒸镀的步骤中，所采用的蒸镀掩膜板上开口的角部经过切角或切圆处理。本发明通过将构成显示器的像素进行错位排列，并且像素的子像素进行切角或切圆处理，从而提高了蒸镀掩膜板的开口率，并增加了蒸镀掩膜板的开口间距，从而有效提高了OLED产品的解析度，并可以应对大尺寸蒸镀及提升掩膜板重复利用率
一种有机发光显示器及其制作方法

[实用新型]掩膜版和掩膜组件-CN201821073334.1有效
发明人：郑江波;黄秀颀;陈凡;康梦华;李伟丽;叶訢 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜版和掩膜组件，涉及显示技术领域。该掩膜版包括：蒸镀区和非蒸镀区，蒸镀区具有子蒸镀区，每个子蒸镀区具有多个蒸镀开口；位于非蒸镀区的形变控制区，其中，形变控制区包括多个应力分散通孔和多个应力固化通孔，多个应力分散通孔和多个应力固化通孔错位排布，以缓冲掩膜版的张网应力。本实用新型实施例通过在形变控制区设置错位排布的多个应力分散通孔和多个应力固化通孔，从而使得掩膜版被施加拉力时能够受力更加均匀，进而有效降低掩膜版在蒸镀区的褶皱。
蒸镀掩膜版通孔应力分散形变控制区固化本实用新型错位排布掩膜组件褶皱缓冲受力张网开口施加