“蒸镀用掩”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3650229个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]掩膜板-CN202011288232.3有效
发明人：李伟丽;韩冰;李文星;周小康 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种掩膜板，包括：框式主体，具有通用蒸镀开口；子掩膜板，由框式主体的边缘向通用蒸镀开口延伸，子掩膜板开设有多个像素开口，在子掩膜板靠近通用蒸镀开口边缘设有蒸镀补偿区，蒸镀补偿区设有多个补偿单元本申请实施例通过设置多个补偿单元在保证子掩膜板具有符合蒸镀过程需要的强度的同时，缩小显示面板的非显示区，实现全面屏显示。
掩膜板

[发明专利]掩膜装置及蒸镀方法-CN202110544680.3有效
发明人：齐英旭;王亚;卓林海;田斌;郭宏伟;于上智 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例所提供的掩膜装置及蒸镀方法，掩膜装置的掩膜本体的表面开设有朝掩膜装置的图形区域方向延伸的沟槽，且沟槽靠近图形区域的一端具有用于对蒸镀材料进行阻隔的封堵部。如此设计，在掩膜装置与阵列基板完成蒸镀对位之后，封堵部可以避免在蒸镀时蒸镀材料通过沟槽蒸镀到阵列基板的功能组件上，进而避免功能组件出现剥离，避免阵列基板报废，确保后续能够进行相关膜层制作，提高显示设备的成品良率
装置方法

[发明专利]掩膜板-CN202111434210.8有效
发明人：韩冰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜板，掩膜板用于蒸镀待蒸镀基板，掩膜板包括面板区域，面板区域包括蒸镀部和非蒸镀部，至少部分所述非蒸镀部位于所述蒸镀部在第一方向上的一侧，所述非蒸镀部包括第一分部和至少一个第二分部，第一分部与蒸镀部相邻的边界线围合形成非蒸镀区域，至少一个第二分部位于非蒸镀区域内，蒸镀部、第一分部和第二分部中边界相邻的两者的质量空间比不同，质量空间比为各部件自身的质量与自身所占空间的总体积的比值。第一分部与蒸镀部的质量空间比不同，使得第一分部和蒸镀部之间也能够形成材料突变界限，这些材料突变界限能够提高掩膜板的抗形变能力，能够改善产品蒸镀时掩膜板与待蒸镀基板无法有效接触而导致的蒸镀不良问题。
掩膜板

[发明专利]蒸镀装置及其蒸镀方法、显示器件制造设备-CN201710331390.4有效
发明人：杜小波 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀装置及其蒸镀方法、显示器件制造设备，该蒸镀装置用于基板蒸镀，所述基板的一侧设置有掩膜板，所述蒸镀装置包括：磁吸附层以及热敏层，其中，所述热敏层设置在所述磁吸附层一侧所述热敏层设置于所述磁吸附层和所述基板的远离所述掩膜板的一侧之间，并且所述热敏层配置为调节所述掩膜板和所述磁吸附层之间的距离。在基板的蒸镀过程中，当用于对基板蒸镀的掩膜板在某一区域产生褶皱时，会改变相应区域的热敏层的温度，热敏层根据温度变化调节自身厚度以减小该区域的磁吸附层与掩膜板的间距，从而消除掩膜板的褶皱问题，提高基板的蒸镀良率
热敏层掩膜板磁吸附蒸镀蒸镀装置基板显示器件制造设备褶皱基板蒸镀相应区域对基板减小良率配置

[实用新型]超薄玻璃掩膜板-CN202121299293.X有效
发明人：蒋承忠 -专利权人：蒋承忠
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了超薄玻璃掩膜板，其中，超薄玻璃掩膜板包括：一掩膜板骨架，其中的骨架合围形成若干个供掩膜安装的留空区域；以及若干超薄玻璃掩膜，分别固定于留空区域，每个超薄玻璃掩膜包括一超薄玻璃本体，基于预设蒸镀图案在超薄玻璃本体的唯一的基板区域沿厚度方向形成贯穿超薄玻璃本体的若干贯通孔，每个贯通孔的内壁与超薄玻璃本体的表面之间形成倒角，基板区域露出于留空区域，当进行蒸镀时，超薄玻璃掩膜的贯通孔供蒸镀介质通过超薄玻璃本体到达蒸镀对象。本实用新型能够通过超薄玻璃掩膜板替代传统金属掩膜，大大降低了掩膜的整体成本，并且，不需要张网步骤，提高了蒸镀的精度，也缩短了蒸镀工艺的总时长，提高了生产效率。
超薄玻璃掩膜板

[发明专利]掩膜板及掩膜组件-CN202111436501.0在审
发明人：臧公正;李文星;李伟丽;韩冰;张继帅;邱岳 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板及掩膜组件，掩膜板包括蒸镀区域和周边区域，蒸镀区域包括至少一个蒸镀开口；周边区域包括围绕蒸镀区域设置的实体区，实体区上开设有应力释放部，应力释放部围设蒸镀区域呈周向分布。该掩膜板中，在周边区域形成应力释放部，应力释放部减少了实体区中应力集中部分的体积，且由于应力释放部围绕蒸镀区域的周向分布，从而使得实体区的应力得到均匀的释放，通过在周边区域形成应力释放部使得掩膜板在张网时的应变趋于均一，进而使得掩膜板在张网时不易产生褶皱，从而提高了蒸镀良率。
掩膜板组件

[发明专利]掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法-CN202310184353.0在审
发明人：兰兰;曲毅;姜博;张荣 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法。掩膜板组件包括：掩膜基板，所述掩膜基板上设置有蒸镀区域，所述蒸镀区域内设置有多个蒸镀开口；以及第一遮挡件，所述第一遮挡件配置为覆盖一部分所述蒸镀区域；其中，所述第一遮挡件上设置有通孔，所述通孔配置为使所述蒸镀区域的被覆盖部分的至少一个蒸镀开口显露本申请实施例未加工单独的测试孔，而是以通过第一遮挡件上的通孔所显露出的蒸镀开口作为“测试孔”，由于该“测试孔”原本就是蒸镀区域内的蒸镀开口，两者具有相同的加工精度，因此，通过本申请实施例中的“测试孔”而形成的测试图形，用于评价蒸镀出的图形的位置精度，具有更好的精准性。
掩膜板组件掩膜基板装置方法

[发明专利]一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法-CN202010278686.6有效
发明人：钱超;吴建 -专利权人：常州高光半导体材料有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，包括以下步骤：用清洗液对掩膜版表面进行清洗；将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20‑40nm的纳米涂层，将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1‑3h后，再转移至加热装置中在65‑70℃下保温烘干即可，由于纳米涂层的存在，使得掩膜版使用寿命大大提高，可以反复蒸镀100次以上，而且在使用过程中，杜绝了由于有机材料或金属材料掉成片掉落的情况，蒸镀提高合格率，也不需要耗费大量时间来清洗掩膜版上残留的蒸镀材料
一种延长掩膜版使用寿命改善质量方法

[发明专利]蒸镀装置-CN201710126429.9有效
发明人：李鹏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制备有机发光显示器件的蒸镀装置，包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的蒸镀源，用于对所述待蒸镀基板的表面蒸镀；正对于所述蒸镀源设置的磁性固定板，所述磁性固定板具有呈凸形面的第一表面；能够磁性吸附于所述磁性固定板的第一表面的掩膜板，用以配合所述磁性固定板，使待蒸镀基板夹持于所述掩膜板与所述磁性固定板之间。上述蒸镀装置的磁性固定板能够具有呈凸面结构的第一表面能够牢固的将上述掩膜板吸附在其表面，进而使柔性材料基板夹持在该磁性固定板与掩膜板之间，上述第一表面呈凸面结构，防止上述掩膜板的接近中央的位置因自身重力而发生下垂的发生
装置

[发明专利]蒸镀装置-CN202210689644.0在审
发明人：臧公正;李文星;张继帅;张群 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种蒸镀装置，蒸镀装置用于蒸镀基板，蒸镀装置包括支撑板、多个磁吸附单元和掩膜板；多个磁吸附单元设于支撑板的一侧，磁吸附单元包括永磁体和磁场调节元件，磁场调节元件用于调节磁吸附单元的磁场强度；掩膜板设于磁吸附单元背离支撑板的一侧，并与磁吸附单元间隔设置，其中，磁吸附单元用于将掩膜板吸附于基板。本申请提供的蒸镀装置，可以实现磁吸附单元对掩膜板的吸附力的局部调整，降低掩膜板出现褶皱的现象，提高掩膜板与基板贴合的紧密度，如此在使用掩膜板对基板进行蒸镀的过程中，有利于降低混色等蒸镀不良的风险。
装置

[发明专利]掩膜板、基板、蒸镀装置及蒸镀方法-CN202211309089.0在审
发明人：李露露;孙琳;王盼盼;朱修剑 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种掩膜板、基板、蒸镀装置及蒸镀方法。掩膜板用于在基板上蒸镀膜层，基板包括基板本体和设置在基板本体一侧的第一支撑柱；掩膜板包括掩膜板本体，掩膜板本体上设置有蒸镀孔，掩膜板本体具有朝向基板本体的第一侧，掩膜板本体的第一侧设置有凹槽，凹槽用于在蒸镀时与第一支撑柱相抵本申请中的掩膜板，掩膜板本体的第一侧设置有凹槽，在进行蒸镀的过程中，基板本体上的第一支撑柱与凹槽相抵，使得基板本体与掩膜板之间的距离有所减小，在基板本体与掩膜板之间的距离减小的情况下，可以使蒸镀形成的膜层的膜厚均匀区域的面积变大，使制作出的发光层的发光亮度和发光均匀性均得到提升，进而改善蒸镀所形成的发光层的发光性能。
掩膜板基板装置方法

[发明专利]掩膜补偿方法和蒸镀系统-CN202110824719.7在审
发明人：张庆宇;张浩瀚;曹方义;赵理;肖一鸣 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜补偿方法和蒸镀系统，旨在解决现目前的掩膜板制备的OLED产品的良率较低的问题。该掩膜补偿方法，通过提供具有至少一个掩膜开口的掩膜板；并在该掩膜板的掩膜开口的拐角处形成外扩部，外扩部可以用于增大掩膜开口的开口面积，从而提高相对于待蒸镀口的允许偏移量；将掩膜板与待蒸镀层对合进行蒸镀，不仅可以提高蒸镀精度，还可以提高掩膜板制备的OLED产品的良率。
补偿方法系统

[发明专利]一种掩膜版结构及OLED器件-CN202210907731.9有效
发明人：王树朋;朱映光;张国辉;胡永岚 -专利权人：固安翌光科技有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜版结构及OLED器件，包括：主掩膜版，所述主掩膜版上设有设计图形，用做蒸镀掩膜；至少一层辅掩膜版，位于所述主掩膜版靠近蒸镀源的一侧，所述辅掩膜版上设有过滤孔。本申请中辅掩膜版可以把蒸镀腔室内的异物过滤掉，避免蒸镀腔室内的异物附着在OLED器件上，造成器件短路，由于辅掩膜版靠近主掩膜版设置，因此被蒸镀的材料在从蒸发源到主掩膜版的上行过程中聚集而形成的异物也可被有效阻拦
一种掩膜版结构 oled 器件

[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置和发光器件-CN201310449908.6在审
发明人：陈俊生;李成 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀方法、蒸镀装置和发光器件。该蒸镀方法包括：依次将掩膜板设置于衬底基板的上方并通过蒸镀工艺在所述衬底基板上形成蒸镀子图形，以在所述衬底基板上形成蒸镀图形，所述蒸镀图形包括设定数量个所述蒸镀子图形，所述掩膜板上形成有特定数量个开口区域，所述开口区域用于形成所述设定数量个所述蒸镀子图形中的特定数量个蒸镀子图形，因此与现有技术相比，一张掩膜板上仅需形成数量较少的开口区域，使得开口区域之间的遮挡区域的宽度较大，避免了采用厚度较厚的掩膜板且该掩膜板上开口区域数量较多时导致的产品
方法装置发光器件

[发明专利]掩膜版组件及蒸镀系统-CN202211157387.2在审
发明人：张怡;王佳骏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种掩膜版组件及蒸镀系统，涉及蒸镀设备技术领域，其旨在解决掩膜版与蒸镀后的基板分离过程中容易导致基板损伤，导致其良率下降的技术问题，该掩膜版组件设置在待蒸镀基板的下方，掩膜版组件包括掩膜版及边框；掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面与边框贴合，第二表面用于与待蒸镀基板贴合；边框设置有进气口、出气口以及引气通道，掩膜版设置有通孔，通孔一端与出气口连通，通孔的另一端贯通至第二表面。本申请提供的掩膜版组件及蒸镀系统，能够降低基板与掩膜版分离过程中造成基板损伤的现象发生。
掩膜版组件系统