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[发明专利]一种高分辨率掩膜条、掩膜板及掩膜条的制作方法-CN202310441040.9在审
发明人：张麒麟;林泽 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种高分辨率掩膜条、掩膜板及掩膜条的制作方法，涉及高精细掩膜板技术领域。所述高分辨率掩膜条包括：蒸镀子像素开孔区，对应于显示面板区域设置；蚀刻减薄区，蚀刻形成于所述高分辨率掩膜条的第二蚀刻面，且面积大于所述蒸镀子像素开孔区；补偿蚀刻区，蚀刻形成于所述高分辨率掩膜条的第一蚀刻面，且位于两蒸镀子像素开孔区之间，用于补偿所述蚀刻减薄区。本发明提供的一种高分辨率掩膜条、掩膜板及掩膜条的制作方法，通过在掩膜条两面分别蚀刻形成蚀刻减薄区和补偿蚀刻区，并在蚀刻减薄区内形成蒸镀子像素开孔区，从而减小像素开孔间隙以提高分辨率。
一种高分辨率掩膜条掩膜板制作方法

[发明专利]掩膜板组件及一种蒸镀设备-CN201911308846.0有效
发明人：邓江涛;丁渭渭;徐鹏;赵钰;王玉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。
掩膜板组件一种设备

[发明专利]蒸镀方法及显示装置的制造方法-CN03121219.0无效
发明人：西川龙司;山田努 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2003-03-28 - 公布日： 2003-10-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明的目的是在蒸镀工序中，控制由掩膜所导致的对于基板表面的损害。是通过在磁铁(120)与由磁性材料所构成的掩膜(1)之间插入玻璃基板(130)，并使玻璃基板(130)与掩膜(1)密接。由蒸镀源(140)通过掩膜(1)的开口部(2)在玻璃基板(130)的表面进行有机EL元件材料的蒸镀，从而形成有机EL元件的图案。并对与掩膜(1)的玻璃基板(300)表面相对一侧的表面实施粗糙化处理。
方法显示装置制造

[发明专利]掩膜组件组装方法及由该方法组装的掩膜组件-CN201910250817.7有效
发明人：李世泰;甘帅燕;王亚;李伟丽 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜组件组装方法及由该方法组装的掩膜组件，基于所提供的掩膜组件组装方法，所得到的掩模组件中被不同掩膜支撑条支撑的同一掩膜片在掩膜支撑条分布方向上的不同位置处具有相同的水平高度，如此在真空蒸镀时能够提高掩膜片上表面与蒸镀基板之间的贴合度，降低沉积于蒸镀基板上有机材料的位置偏离，使得像素图形的阴影(shadow)更加均匀，可有效避免显示屏产生混色、亮度不均等问题。
组件组装方法

[发明专利]一种金属屏蔽片掩膜板和蒸镀辅助设备-CN202310282645.8在审
发明人：罗小龙;池昶恂;安廷猎;郭登俊;伍青峰;李育晖;石应东;韩帅;杜志林;李烁辉;李定伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种金属屏蔽片掩膜板和蒸镀辅助设备，金属屏蔽片掩膜板，包括：支撑框架、金属屏蔽片、辅助屏蔽片，其中，支撑框架和辅助屏蔽片均为中空的框架结构；金属屏蔽片包括蒸镀区域和四周区域，蒸镀区域包括多个显示面板的蒸镀结构和分隔各个蒸镀结构的间隔结构，四周区域仅包括多个第一固定支脚，第一固定支脚承载在辅助屏蔽片上，第一固定支脚的端部与支撑框架连接；辅助屏蔽片承载在支撑框架上，辅助屏蔽片由四周区域和蒸镀区域的分界线延伸至支撑框架，与支撑框架连接。在采用本公开实施例金属屏蔽片掩膜板进行蒸镀时，原有四周区域附着的蒸镀材料会附着在辅助屏蔽片上，不会造成金属屏蔽片的形变，保证所有蒸镀结构的蒸镀效果。
一种金属屏蔽片掩膜板辅助设备

[发明专利]大尺寸掩膜基板的制作方法-CN201610353542.6在审
发明人：唐军 -专利权人：唐军
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： G03F1/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种大尺寸掩膜基板的制作方法，包括：提供多条横向膜片和多条纵向膜片；将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔，所述蒸镀孔具有加工余量；通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板；对所述蒸镀孔进行精加工，使得所述蒸镀孔达到预定值。根据本发明提供的大尺寸掩膜基板的制作方法，可以形成大尺寸的掩膜基板，其取材方便，成本低，工艺简单，能够满足大尺寸显示器件的要求。此外，形成的掩膜基板上表面的平面度更高，达到更好的蒸镀效果，提高产品良率。
尺寸掩膜基板制作方法

[发明专利]一种掩膜版-CN202110684536.X有效
发明人：昝昱廷;何信儒;谢毅;李振华 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜版。该掩膜版包括板体，板体上设置有凸起部，凸起部为导电材质，凸起部用于与蒸镀材料接触，且凸起部贯穿蒸镀材料；综上所述，本申请采用凸起部贯穿蒸镀材料的设置形式，使得掩膜版在蒸镀过程中通过凸起部为蒸镀材料上的电荷提供导出的路径，进而增加掩膜版的静电导出能力，从而减小与掩膜版接触的玻璃基板上的静电量，可以有效的防止因玻璃基板表面静电过大导致玻璃基板破碎或使得玻璃基板电路击穿造成短路等情况，与此同时，还可以有效避免静电逐渐增加导致由玻璃基板形成的显示面板上出现暗点
一种掩膜版

[发明专利]掩膜结构及掩膜结构制作方法-CN202110589571.3有效
发明人：付佳;刘明星;赵晶晶;王腾雨 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供的掩膜结构及掩膜结构制作方法，涉及显示技术领域。限定蒸镀区域的至少一个支撑件上设置靠近蒸镀区域且位于支撑件朝向掩膜版单元一面的第一减薄区，可以在磁性背板产生的磁力将掩膜结构吸附在基板上时，使位于蒸镀区域边缘位置处的网格区域褶皱可以在第一减薄区内延展，以减缓或避免在蒸镀区域边缘位置处因网格区域褶皱产生的贴合不良。在蒸镀时，显示面板的有效显示区边缘不会因贴合不良引起的阴影效应而出现有机发光材料混色，确保有效显示区边缘不会存在因有机发光材料混色引起的显示色差，提高使用掩膜结构制作得到的显示面板的显示质量。
膜结构制作方法

[发明专利]蒸镀掩膜、蒸镀掩膜用掩膜构件及蒸镀掩膜的制造方法-CN201680083294.6有效
发明人：竹井日出夫;崎尾进;岸本克彥 -专利权人：鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供可以完全除去开口部内的树脂膜的蒸镀掩膜、其制造方法及蒸镀掩膜用掩膜构件。
蒸镀掩膜蒸镀掩膜用掩膜构件制造方法

[发明专利]掩膜版及其制作方法-CN202310183758.2在审
发明人：王威 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出了掩膜版及其制作方法。所述掩膜版包括：金属框架主体，所述金属框架主体具有多个第一镂空区域；粘性框架，所述粘性框架设置在所述金属框架主体的一侧，所述粘性框架具有多个第二镂空区域，所述第二镂空区域在所述金属框架主体上的正投影覆盖所述第一镂空区域由此，通过在金属框架主体的一侧设置粘性框架，可以提高掩膜版蒸镀面的粘性，在使用该掩膜版进行蒸镀过程中，附着在粘性框架表面的蒸镀材料与粘性框架的粘结强度较高，使得蒸镀材料不易脱落，从而降低掩膜版的清洗频率，有利于减少备用掩膜版的数量，有利于提高产品良率、降低生产运营成本。
掩膜版及其制作方法

[发明专利]掩膜集成框架及其组装方法-CN202010680145.6在审
发明人：张国梦;嵇凤丽;吴建鹏;黄琰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜集成框架，包括框架，固定于框架上的多个精细金属掩膜板、多个间隔设置的支撑条和多个间隔设置的遮挡条；精细金属掩膜板包括有效蒸镀区和无效蒸镀区；多个遮挡条与精细金属掩膜板平行设置，且相邻两个精细金属掩膜板之间设置有一个遮挡条；多个支撑条与多个遮挡条相交设置，且多个支撑条支撑于精细金属掩膜板的无效蒸镀区；精细金属掩膜板具有与其延伸方向相垂直设置的第一中心线，在每个精细金属掩膜板的至少两个对称设置于第一中心线两侧的无效蒸镀区内设置有焊接部，焊接部用于将精细金属掩膜板与相应的支撑条进行焊接。本发明还涉及一种掩膜集成框架的组装方法。
集成框架及其组装方法

[发明专利]平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法-CN202010202266.X有效
发明人：庾弘宇 -专利权人：皮姆思株式会社
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法，包括：准备步骤，准备四边框形态的框架及薄膜掩膜；冲压步骤，通过以上述框架的4个边中心部为基准使4个角向下方变形的矫正力来塑性变形规定间隔；以及掩膜拉伸接合步骤，拉伸上述掩膜，来使其与受到上述矫正力的框架相接合。据此，在四边框形框架拉伸薄膜掩膜来接合而成的薄膜蒸镀用掩膜组装体，通过提供以框架的4个边中心部为基准使4个角向下方变形的矫正力，可使掩膜应力与框架应力相互抵消。结果，可尽可能提高掩膜拉伸力，并可提高掩膜下垂减少效果，与掩膜拉伸力的增加无关地，可改善掩膜组装体的平坦度。
平坦得到改善薄膜蒸镀用掩膜组装及其制造方法

[实用新型]掩膜板-CN201820594064.2有效
发明人：王梦凡;王国兵;康梦华;叶訢;苏倩;李金库 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜板主体，掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线，第一中心线与第二中心线垂直；开设于掩膜板主体上的两组蒸镀区，每组蒸镀区包括至少一个蒸镀区，每个蒸镀区开设有凹陷部，每相邻两个蒸镀区之间具有间距，两组蒸镀区关于第一中心线轴对称，且两组蒸镀区关于第二中心线轴对称。两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置，则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同，则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀，降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱，张网精度提高，从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高，且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。
蒸镀掩膜板两组凹陷部中心线两侧中心线轴张网对称褶皱显示屏像素中心线垂直轴对称设置受力均匀显示效果开口区异形区掩膜显示屏遮挡配合

[发明专利]掩膜板及蒸镀装置-CN202110098880.0在审
发明人：颜明哲 -专利权人：维信诺科技股份有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板及蒸镀装置，本发明实施例中的技术方案，掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括蒸镀区和遮挡区，所述掩膜板还包括：支撑条，位于所述掩膜板本体的第一侧的所述遮挡区；隔离部，位于所述掩膜板本体的第二侧的所述遮挡区，所述第一侧与所述第二侧分别位于所述掩膜板本体的相对的两侧。通过在掩膜板的第一侧和第二侧分别设置支撑条和隔离部，分别给掩膜板本体和基板以支撑，减小了掩膜板的侧向偏移，减小蒸镀偏位。
掩膜板装置

[发明专利]一种调试方法及蒸镀机-CN201710738931.5有效
发明人：蒋谦 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种调试方法及蒸镀机，该方法用于调整精密型掩膜板与待作业基板的相对位置，包括：装载调试用基板至调试用蒸镀腔内；装载精密型掩膜板至调试用蒸镀腔内；开启调试用蒸镀腔内的光源并通过精密型掩膜板而照射调试用基板上的光致变色层，其中，光致变色层中被照射光照射的部分区域发生变色；根据光致变色层中发生变色的部分区域的位置，而获取精密型掩膜板的补偿值。
调试精密型掩膜板光致变色层蒸镀腔蒸镀机基板变色装载照射有机材料作业基板照射光光源