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[发明专利]OLED蒸镀用的屏蔽层及其制作方法-CN201510084649.0在审
发明人：施秉彝 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种OLED蒸镀用的屏蔽层及其制作方法，OLED蒸镀用的屏蔽层包括框架与安装于所述框架上的掩膜，所述掩膜具有开孔，所述框架的材料为聚合物或玻璃纤维，所述掩膜的材料为聚合物或聚合物与金属的结合OLED蒸镀用的屏蔽层的制作方法包括以下步骤：分别将框架与掩膜制作完成，所述框架的材料为聚合物或玻璃纤维，所述掩膜的材料为聚合物或金属与聚合物的结合；将所述掩膜安装于所述框架上；用激光的方式在掩膜上方开孔，形成OLED蒸镀用的屏蔽层。本发明避免了黄光刻蚀高精密掩膜良率过低的问题，并利用材质相类似的非金属材料来取代原有的金属材料，使成本大幅降低。
oled 蒸镀用屏蔽及其制作方法

[发明专利]蒸镀掩膜版及显示面板-CN202010676472.4在审
发明人：张浩瀚;李彦松;白珊珊;刘佳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版及显示面板，涉及显示技术领域，可以解决待蒸镀基板中的隔垫物被蒸镀掩膜版划伤的问题，该蒸镀掩膜版设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间；所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物；所述蒸镀掩膜版包括：掩膜版本体，所述掩膜版本体包括多个蒸镀开口以及位于所述蒸镀开口周边的遮挡部；所述遮挡部具有远离所述蒸镀源的第一表面；所述蒸镀掩膜版还包括多个支撑部，所述多个支撑部设置于所述第一表面上，至少两个支撑部与所述第一表面形成用于容纳所述隔垫物的容纳腔；所述支撑部用于与所述待蒸镀基板相接触，并支撑所述掩膜版本体，使得所述第一表面与所述隔垫物之间具有间隙。
蒸镀掩膜版显示面板

[发明专利]掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板-CN202110129038.9有效
发明人：姜正文;李文星;李慧;王恩霞;李伟丽;刘明星;甘帅燕 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板，掩膜板用于显示基板的蒸镀，显示基板包括多个显示单元，显示单元包括显示区以及至少部分由显示区环绕的透光区，掩膜板包括与多个显示单元对应的多个掩膜单元，多个掩膜单元包括可对位掩膜单元，可对位掩膜单元包括：显示蒸镀区，显示蒸镀区对应显示单元的显示区，显示蒸镀区设置有多个第一蒸镀开口；透光蒸镀区，透光蒸镀区对应显示单元的透光区，透光蒸镀区设置有对位孔，对位孔用于掩膜板与显示基板的对位。本发明避免了掩膜板上对位孔处易残留清洗药液的问题，使得蒸镀对位时对位孔能够被对位镜头准确抓取。
掩膜板显示基板蒸镀组件

[发明专利]蒸镀掩膜板及其制作方法、显示面板-CN202110275316.1有效
发明人：解洋;徐景华;孟维欣;郭钟旭;郭建 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀掩膜板及其制作方法、显示面板，属于显示技术领域。其中，蒸镀掩膜板，设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间；所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物；所述蒸镀掩膜板包括：掩膜板本体；设置在所述掩膜板本体上的至少一个凹槽，所述凹槽内填充有弹性缓冲材料，所述弹性缓冲材料用于与所述隔垫物相接触，并支撑所述掩膜板本体。本发明的技术方案可以解决待蒸镀基板中的隔垫物被蒸镀掩膜板划伤的问题。
蒸镀掩膜板及其制作方法显示面板

[发明专利]掩膜板组件、阵列基板的蒸镀方法、阵列基板及显示面板-CN202210903392.7在审
发明人：徐辽;袁海江 -专利权人：惠科股份有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本公开方案涉及掩膜板组件、阵列基板的蒸镀方法、阵列基板及显示面板，掩膜板组件包括：对位掩膜板，具有开口区和遮挡区，开口区配置为与显示区对位设置，遮挡区配置为与非显示区对位设置；蒸镀掩膜板，与对位掩膜板在竖直方向上相对设置，蒸镀掩膜板具有多个蒸镀图案区，蒸镀图案区与子像素图案区的图案一一匹配，蒸镀掩膜板配置为相对对位掩膜板进行水平移动，以使多个蒸镀图案区依次完全移动至开口区内，并与其相匹配的子像素图案区对位设置；其中，在多个蒸镀图案区中的一者完全移动至开口区内，并与其相匹配的子像素图案区对位设置时，其余蒸镀图案区的至少部分与遮挡区相对。通过两块掩膜板进行蒸镀，节省蒸镀时间，提高产能、减少成本。
掩膜板组件阵列方法显示面板

[发明专利]一种蒸镀方法-CN201710202453.6在审
发明人：郑克宁;孔超;陈栋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀方法，用以解决现有的蒸镀工艺，使用蒸镀掩膜版进行蒸镀之后，很容易有材料残留到蒸镀掩膜版上，残留的材料很难清洗，而且容易将待蒸镀基板划伤的问题。该方法包括在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层；使用形成有附加膜层的蒸镀掩膜版，在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层；其中，附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性。本发明在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层之前，先在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层，因而在使用该蒸镀掩膜版蒸镀之后，如果有蒸镀膜层的材料残留，会直接残留在附加膜层的表面上，由于附加膜层材料的活泼性强于蒸镀膜层材料的活泼性，因而可以更容易的将残留的材料清洗干净，避免其划伤待蒸镀基板。
一种方法

[发明专利]掩膜板、显示背板、显示装置以及掩膜板的制备方法-CN202211668273.4在审
发明人：张峰杰;王路;王伟杰;孙中元;薛金祥 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜板、显示背板、显示装置以及掩膜板，其中，掩膜板包括：掩膜框；掩膜条，连接于掩膜框，掩膜条朝向蒸镀基板的一侧具有支撑面，支撑面设有开孔区域；掩膜片，连接于支撑面朝向蒸镀基板的一侧，掩膜片的朝向蒸镀基板的表面设有减薄区域，减薄区域沿远离蒸镀基板的方向凹陷形成，减薄区域设有多个蒸镀通孔，多个蒸镀通孔与蒸镀基板上的多个第一目标子像素一一对应，且蒸镀通孔的形状与第一目标子像素的预设形状对应根据本申请的技术，有利于减小掩膜片与蒸镀基板之间的间隙，降低了蒸镀工艺中的蒸镀阴影效应。
掩膜板显示背板显示装置以及制备方法

[发明专利]蒸镀用的精密金属掩膜版及其组件-CN201910408505.4有效
发明人：欧阳齐;王纯阳 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀用的精密金属掩膜版及其组件，其中蒸镀用的精密金属掩膜版包括掩膜版本体，所述掩模版本体包括无蚀刻区、第一全蚀刻区及第二全蚀刻区。第一全蚀刻区连接所述无蚀刻区。所述第一全蚀刻区布设多个穿孔排。所述第二全蚀刻区布设多个蒸镀孔排，各所述蒸镀孔排包括多个蒸镀孔，且各所述蒸镀孔的尺寸相同。各所述穿孔排的各穿孔的尺寸，由所述无蚀刻区朝所述第二全蚀刻区的方向逐渐变大，且邻近各所述蒸镀孔的各穿孔的尺寸与各所述蒸镀孔的尺寸相同。
蒸镀用精密金属掩膜版及其组件

[发明专利]蒸镀用的复合掩模板-CN201711091790.9有效
发明人：范硕 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀用的复合掩模板，包括底座、栅格结构和掩膜板，栅格结构为多条相互垂直的第一筋条和第二筋条，底座中部开设有蒸镀孔，其顶面开设有连通蒸镀孔的安装槽，栅格结构悬于蒸镀孔内且四周搭接于安装槽内，栅格结构上表面与底座顶面平齐；掩膜板包括多个间隔的镂空图案区域和与镂空图案区域相邻的空白区域，掩膜板搭接在底座上，第一筋条和第二筋条在掩膜板上的投影位于空白区域内。由于网状的栅格结构悬于蒸镀孔内且四周搭接并固定于安装槽内，栅格结构的上表面与底座顶面平齐，掩膜板搭接在底座上，且栅格结构在掩膜板上的投影并不遮挡镂空蒸镀通道，既保证了蒸镀的顺利进行，又保证了掩模板的平整度，也方便掩膜板的清洗。
蒸镀用复合模板

[实用新型]掩膜板-CN202122436360.4有效
发明人：李世泰;赵莹;李慧;刘明星 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜本体，掩膜本体具有蒸镀面和背面；掩膜板本体上设置有贯穿其的蒸镀孔；蒸镀孔包括贯穿蒸镀面的第一蒸镀孔，以及与第一蒸镀孔连通且贯穿背面的第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁从靠近背面的一端向远离背面的另一端逐渐收拢；掩膜本体还包括设置于背面的下沉槽，下沉槽与至少部分第二蒸镀孔一一对应，且围绕第二蒸镀孔设置以连通第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁所在圆弧面与背面相交且形成第一夹角，第二蒸镀孔的内壁与下沉槽的底壁相交设置且形成第二夹角上述掩膜板，第二蒸镀孔的孔壁与背面的过渡更加平缓，从而降低了支撑柱被掩膜板刮伤的风险。
掩膜板

[实用新型]一种掩膜版及其蒸镀装置-CN201921560310.3有效
发明人：史凯兴;薛文涛;刘宏俊 -专利权人：昆山维信诺科技有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2020-07-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及OLED显示器技术领域，具体涉及一种掩膜版及其蒸镀装置。本实用新型提供的掩膜版，包括掩膜版本体，还包括，若干蒸镀孔，设置于所述掩膜版本体上且贯穿所述掩膜版本体上下表面，用于蒸镀材料通过所述蒸镀孔进行蒸镀以形成蒸镀图案；至少一层保护层，设置于所述掩膜版本体一侧上，所述保护层与所述蒸镀孔相对应区域设置开孔，所述开孔与所述蒸镀孔一一对应且所述开孔的尺寸不小于所述蒸镀孔的尺寸。本实用新型提供的掩膜版，可有效降低阴极蒸镀材料与保护层之间的附着能力，从而使得粘结在掩膜版上的阴极蒸镀材料可以很容易的被清洗掉，达到快速清洗的效果。
一种掩膜版及其装置

[发明专利]掩膜组件及其制造方法、显示装置-CN201610423043.X有效
发明人：李冬伟;李宝军;黄俊杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开一种掩膜组件及其制造方法、显示装置，属于显示技术领域。掩膜组件包括：框架、第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板和第二掩膜板层叠设置在框架上；其中，第一掩膜板包括开口区域，第二掩膜板包括蒸镀区域和围绕在蒸镀区域周围的缓冲区域，蒸镀区域内设置有供蒸镀材料通过的蒸镀孔，缓冲区域用于对蒸镀材料进行阻挡，开口区域的边界在第二掩膜板的正投影位于缓冲区域内。本发明解决了掩膜组件的对位精度较低的问题，达到了提高掩膜组件的对位精度的效果。本发明用于蒸镀。
组件及其制造方法显示装置

[实用新型]一种掩膜组件及应用其的蒸镀装置-CN202120886673.7有效
发明人：徐蒙蒙;王江南;史晓波;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜组件及蒸镀装置，掩膜组件包括掩膜遮挡板和掩膜板，所述掩膜遮挡板位于所述掩膜板远离所述基片的一侧；所述掩膜遮挡板与所述掩膜板之间分离间隔设置；所述掩膜板上镂空设置有第一蒸镀图案，所述掩膜遮挡板上镂空设置有第二蒸镀图案，所述第二蒸镀图案在所述基片上的垂直投影覆盖所述第一蒸镀图案在所述基片上的垂直投影。其能够减弱蒸镀过程中所述掩膜板受到的热辐射，避免掩膜板受热膨胀产生形变。
一种组件应用装置

[发明专利]掩膜板及掩膜装置-CN202211202377.6在审
发明人：张丁成;朱修剑 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜板及掩膜装置，掩膜板用于蒸镀待蒸镀基板，掩膜板包括本体，包括对位区域和蒸镀区域，蒸镀区域用于蒸镀待蒸镀基板，对位区域设置有对位标记，对位标记用于令本体和待蒸镀基板对位；辅助层，设置于本体的对位区域并环绕至少部分对位标记设置本申请实施例通过在对位区域增加辅助层，能够较为清晰地观察到对位标记的位置，有利于准确判断掩膜板与待蒸镀基板的对位，有利于提高掩膜板与待蒸镀基板的对位精度，进而有利于提高蒸镀良率，提高显示面板的制备良率。
掩膜板装置

[发明专利]蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法-CN201710015069.5有效
发明人：王徐亮;李伟丽;甘帅燕 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-01-09 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法，通过在OLED基板上设置标记；蒸镀掩膜板的掩膜片上设置有第一开口，所述第一开口用于蒸镀单色像素，蒸镀掩膜板的支撑掩膜上设置有第二开口，所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖所述第一开口，所述第二开口在所述OLED基板上的投影覆盖所述OLED基板上的标记，由此通过所述蒸镀掩膜板执行蒸镀工艺时，蒸镀的单色像素将同时形成于所述标记上，由此通过测量蒸镀的单色像素与所述标记之间的偏移即可得到蒸镀像素的偏移情况通过该方法获取蒸镀像素的偏移情况无需特别制作母玻璃板，从而降低了成本；此外，能够实际监控蒸镀过程中每块OLED基板对应像素的偏移情况，准确反应实时蒸镀效果。
蒸镀掩膜板 oled 测量像素方法