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[实用新型]蒸镀容器-CN202123154265.1有效
发明人：崔君信 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀容器，包括锅体、加热件、多个喷嘴和多个导热件，喷嘴设置于锅体的顶面，加热件设置于锅体的侧面，导热件包括第一导热体和第二导热体，第一导热体与喷嘴的侧面连接，第二导热体包括呈夹角连接的第一分段和第二分段在不干扰喷嘴正常工作的前提下实现热传导，由于喷嘴和加热件分别设置在锅体的不同面上，第二导热体包括呈夹角连接的第一分段和第二分段，使得第一分段将第一导热体和第二分段连接起来，将喷嘴温度维持在较高水平，有效避免喷嘴发生堵塞的情况，保障蒸镀作业的正常进行
容器

[实用新型]一种蒸镀装置-CN202220025088.2有效
发明人：韦寅帆;郝力强;廖明富;于子洋;王勇波 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔体；蒸镀腔体具有蒸镀源支撑架，蒸镀源支架设置于蒸镀腔体下部，蒸镀源支架开设有多个容器槽，容器槽适于蒸镀源容器放置；容器槽的底部设置有振动装置，适于进行持续的或间断的振动，使放置于容器槽的蒸镀源容器随之发生振动，带动蒸镀源容器内的蒸镀材料持续的或间断的振动，以排出颗粒间的气体。本实用新型的蒸镀装置，可有效减少蒸镀材料喷料的隐患。
一种装置

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201811326464.6有效
发明人：王鑫;王洋;张灿;张荡;崔晓晨;蔡鹏;李官正 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀装置和蒸镀方法，所述蒸镀装置包括容器、蒸镀基台、蒸镀材料收容器和抽取设备。所述容器具有容纳腔，所述容器的壁上设有开孔。所述蒸镀基台设置在所述容纳腔内。所述蒸镀材料收容器具有用于收容蒸镀材料的收容空间，所述收容空间与所述容纳腔连通，所述蒸镀材料收容器用于加热蒸镀材料使蒸镀材料气化，以使气态蒸镀材料进入所述容纳腔并沉积在所述蒸镀基台上。所述抽取设备的入口通过所述开孔与所述容纳腔连通，出口与所述收容空间连通，所述抽取设备用于抽取所述容纳腔内未沉积的蒸镀材料并输送至所述收容空间内。根据本发明的实施例，可以减轻因蒸镀材料的减小导致蒸镀材料蒸发速率降低的程度。
装置方法

[发明专利]蒸镀装置-CN200880002642.8无效
发明人：小石亮介;权田俊明;高桥嘉洋 -专利权人：东洋制罐株式会社
申请日： 2008-05-30 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供一种虽然使用现有的真空蒸镀装置但也能够大幅度缩短对容器的蒸镀时间的蒸镀装置。蒸镀装置设有能以旋转轴为中心旋转的旋转体(14)、在旋转体(14)上朝向周向配设有多个蒸镀单元、在面对旋转体14的周部的位置配置有微波振荡器(34)。在蒸镀单元(15)从蒸镀单元(15)的处理室主体(16)的容器供给位置向容器蒸镀位置旋转移动期间内，利用真空装置对容器(25)内和处理室(24)内进行预减压，在容器蒸镀位置蒸镀单元和振荡器(34)接近后，对容器内和处理室进行了主减压。然后，利用微波振荡器(34)蒸镀容器。
装置

[发明专利]真空蒸镀装置用的蒸镀源-CN202110967499.3在审
发明人：北泽僚也;斋藤一也 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种可尽量抑制蒸镀中被处理基板和掩模板的温度上升的真空蒸镀装置用的蒸镀源。配置在真空室内用于对被处理基板进行蒸镀的真空蒸镀装置用的蒸镀源(DS)，其具有填充蒸镀材料(Vm)的容器(41)和加热该容器内的蒸镀材料的加热装置(43)，容器具有排放部(44)，其可排放通过加热而在该容器内气化或升华了的蒸镀材料，在由于伴随由加热装置进行的蒸镀材料的加热而被加热，所以对被处理基板辐射热线的容器部分(41a，44a，44b)上，设置比该容器的母材辐射率低的低辐射率层(Le)。
真空装置蒸镀源

[发明专利]一种蒸镀装置-CN201710605955.3在审
发明人：黎子兰;陈景升;黎静;田青林;文龙 -专利权人：江苏实为半导体科技有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀装置。包括蒸镀室和安装在蒸镀室内的蒸镀源，衬底放置在蒸镀源下方，所述蒸镀源由原材料容器、加热器和多孔部件构成，原材料容器内盛装蒸镀材料，加热器安装在原材料容器的中部，在容器下部的部分区域安装有多孔部件。本发明能够防止蒸发材料液体在重力作用下流出，使蒸镀图形的质量和精细度大大提高，可简化系统设计，降低成本。
一种装置

[发明专利]真空蒸镀装置-CN201510245745.9有效
发明人：金信真理子;藤本英志;大工博之;松本祐司;千住直辉 -专利权人：日立造船株式会社
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置。材料供给装置(3)向用于在基板(K)上形成薄膜的蒸镀用容器(1)内供给蒸镀材料，材料供给装置(3)包括：材料填充容器(11)，填充有蒸镀材料；材料引导管道(12)，利用从气体供给装置(14)供给的不活泼气体，将蒸镀材料从材料填充容器(11)向蒸镀用容器(1)内引导；加热器(17)，加热所述材料引导管道(12)以使蒸镀材料气化；以及振动赋予器(13)，对材料填充容器(11)赋予振动。
真空装置

[实用新型]蒸镀坩埚和蒸镀设备-CN202321325428.4有效
发明人：许俊康;林俊宇;卢康帅 -专利权人：浙江宏禧科技有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开提供了一种蒸镀坩埚和蒸镀设备，属于蒸镀设备技术领域。该蒸镀坩埚包括：坩埚筒、储料筒、用于存储蒸镀材料的加料容器和控制装置；所述坩埚筒的底部与所述储料筒的底部连通，所述加料容器与所述储料筒的顶部连通，所述控制装置与所述加料容器连接，且用于控制所述加料容器向所述储料筒内加入蒸镀材料本公开能避免频繁停机开箱，且加入蒸镀材料时能让腔内蒸镀材料的剩余量保持恒定，提升蒸镀效率和稳定性。
坩埚设备

[实用新型]蒸镀装置-CN201822246154.5有效
发明人：黄航 -专利权人： TCL集团股份有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，提供一种蒸镀装置包括蒸镀腔室、加料腔室、设于蒸镀腔室内的第一容器，以及设于加料腔室内的加料装置，在蒸镀腔室与加料腔室之间的隔板上设有可打开的窗口，加料装置包括第一传送机构以及安装在第一传送机构上的第二容器，第一传送机构被配置为通过打开的所述窗口将第二容器从加料腔室传送至蒸镀腔室，第二容器用于向第一容器添加蒸镀材料。本实用新型提供的蒸镀装置中，通过隔板和关闭的窗口将两腔室隔离，当需要加料时，窗口打开，第一传送机构将有蒸镀材料的第二容器运送至蒸镀腔室向第一容器添加蒸镀材料，整个加料过程通过加料装置完成，避免因手动添加材料使第一容器移位而导致膜厚发生偏差
传送机构第二容器第一容器蒸镀腔室加料腔加料装置蒸镀材料隔板本实用新型蒸镀装置加料室内真空蒸镀技术手动添加可打开蒸镀腔移位膜厚腔室传送隔离运送配置

[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀设备-CN201811610184.8在审
发明人：夏禹;张正川;王鹏;王淼 -专利权人：厦门天马微电子有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供蒸镀装置以及蒸镀设备，蒸镀装置包括：用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合蒸镀材料的第二容器；用于加热蒸镀材料的加热器；第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，第一底板、第一侧壁封闭；第二容器包括第二底板在本发明中，加热器与蒸镀材料之间的热传导较多，加热器与蒸镀材料之间的热辐射较少，加热器的热量的损失率较低，加热器的热量的利用率较高；并且，蒸镀温度较低，避免蒸镀温度较高导致蒸镀材料化学分解，确保蒸镀材料比较纯净地沉积于显示基板上；另外，蒸镀装置中的压强较小，有助于降低蒸镀温度。
底板加热器蒸镀材料蒸镀装置第一侧壁蒸镀第二容器第一容器蒸镀设备加热丝开孔开口损失率压强加热蒸镀材料化学分解显示基板热传导热辐射沉积封闭覆盖

[发明专利]用于制作有机发光二极管的蒸镀装置-CN201811539375.X在审
发明人：李吉男;刘科雷 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种用于制作有机发光二极管的蒸镀装置，包括一蒸镀容器及一加热器。所述加热器包括至少一框架及一热接触件，所述框架设置于所述蒸镀容器外侧；所述热接触件位于所述蒸镀容器与所述框架之间，并通过至少一连接部件连接至所述框架，其中所述框架通过所述连接部件可动地控制所述热接触件接触所述蒸镀容器的表面，进而传导热能至所述蒸镀容器。
蒸镀容器热接触有机发光二极管加热器连接部件蒸镀装置框架设置可动传导制作

[发明专利]蒸发源装置及其控制方法-CN201810887800.8有效
发明人：近藤喜成;风间良秋;山崎将大 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供能够抑制突沸的产生而进行良好的蒸镀的蒸发源装置。该蒸发源装置具备收容蒸镀材料的容器、加热容器的加热部件、和控制基于加热部件的加热的控制部件，其特征在于，控制部件能够进行第一加热控制和第二加热控制，该第一加热控制使被收容于容器的蒸镀材料的下部的温度高于被收容于容器的蒸镀材料的上部的温度，该第二加热控制使被收容于容器的蒸镀材料的上部的温度高于被收容于容器的蒸镀材料的下部的温度。
蒸发装置及其控制方法

[实用新型]蒸镀装置-CN201620307876.5有效
发明人：张鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-04-13 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀装置，属于真空蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的蒸镀装置中挡板上因累积废料过多而无法顺利开启的问题。本实用新型的蒸镀装置包括蒸镀腔室，蒸镀腔室内设有材料容器和挡板，材料容器用于盛装蒸镀材料，材料容器的上表面开设有蒸镀口，挡板用于阻挡从蒸镀口中出来的蒸镀材料，挡板能在蒸镀位与停留位之间周转，还包括与材料容器相离设置的废料厚度探测单元该蒸镀装置能及时探测到挡板上废料的厚度是否超过预设阀值，以便工作人员及时清理，避免遮挡板由于废料积累过多而无法开启。
装置

[实用新型]热阻式蒸镀装置及蒸镀设备-CN202220062545.5有效
发明人：黄琪兵;杨然翔;王怀超 -专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种热阻式蒸镀装置及蒸镀设备，热阻式蒸镀装置包括蒸镀容器；支撑腔，密封包覆于蒸镀容器外部；喷嘴组件，包括多个喷嘴，设置于支撑腔的顶壁，并与支撑腔连通；栅格板，固定于支撑腔内，且位于蒸镀容器与喷嘴组件之间，栅格板与支撑腔的内侧壁密封连接；以及镀锅，位于喷嘴组件上方，并能够绕自身轴线旋转。蒸镀设备包括蒸镀腔室以及热阻式蒸镀装置。通过本实用新型在基片表面形成的膜层质量佳，致密性更优，同时能保证成膜后膜层厚度的均一性。
热阻式蒸镀装置设备

[发明专利]蒸镀源、蒸镀装置、有机薄膜的成膜方法-CN200880006232.0有效
发明人：根岸敏夫 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2008-02-20 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够成膜膜质佳的有机薄膜的蒸镀装置。本发明的蒸镀装置(1)具有蒸发室(15)和蒸镀容器(21)，蒸镀容器(21)和蒸发室(15)由小孔(38)连接。由于每次向蒸发室(15)供给必需的量的蒸镀材料(16)，因而大量的蒸镀材料(16)不会被长时间加热。蒸镀材料(16)在蒸发室(15)蒸发，因而即使发生突沸，液滴也不会到达基板(6)。如果在激光的照射下使蒸镀材料(16)蒸发，那么，蒸镀材料(16)的化学变性少。
蒸镀源装置有机薄膜方法

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