专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]沉积装置-CN201320630234.5有效
  • 许明洙;郑石源;李正浩;洪祥赫;李勇锡 - 三星显示有限公司
  • 2013-10-12 - 2014-05-07 - C23C16/04
  • 一种用于通过使用关于基板的掩膜执行沉积过程的沉积装置,所述沉积装置包括:室;在所述室中的支撑单元,所述支撑单元包括第一孔并且被配置为支撑所述基板;供应单元,被配置为向所述基板供应至少一种沉积原材料;和通过所述支撑单元的所述第一孔的能移动的对齐单元,所述对齐单元被配置为支撑所述掩膜,并且将所述掩膜关于所述基板对齐。
  • 沉积装置

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