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[实用新型]一种能够控制parylene沉积方向的蒸发管路-CN202321138181.5有效
发明人：傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够控制parylene沉积方向的蒸发管路，包括蒸发管路，所述蒸发管路前端法兰与裂解管路对接，所述蒸发管路前端法兰能够通过合页与后盖铰接，所述蒸发管路通入parylene单体，parylene单体事先通过高温枪使其带有正负电荷，所述蒸发管路内安装有一组平行于管路方向的电极组件，所述电极组件包括安装于蒸发管路上的VCR接头、及安装于VCR接头上且位于和蒸发管路内的电极板，上下两电极板分别通过VCR通过上述方式，本实用新型结构简单，能够控制parylene沉积方向，带有相同电荷的单体就会沉积在腔体特定位置处，通过控制样品转速来控制其特定位置的薄厚了。
一种能够控制 parylene 沉积方向蒸发管路

[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备-CN201821809204.X有效
发明人：田保峡;闻益;曲士座 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其中，在所述底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；并且，该M个非金属蒸发源分散布置在所述底板的长度方向；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在非金属蒸发源的两侧沿所述底板的长度方向分别设置有一排金属蒸发源，设置在非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与设置在非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在玻璃衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
蒸发源底板金属蒸发源沉积腔室镀膜设备本实用新型太阳能电池衬底表面对称设置发电效率分散布置厚度均匀用电需求玻璃

[发明专利]薄膜太阳能电池的Kesterite层制造-CN201180051092.0无效
发明人：王克嘉;G·苏普拉提克 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2011-10-19 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：在衬底上真空沉积Kesterite膜并对其进行退火。沉积在低温下进行以提供良好的组分控制和有效的金属使用。在高温下进行短时长的退火。可采用在高真空环境中热蒸发、电子束蒸发或溅射作为沉积方法的一部分。
薄膜太阳能电池 kesterite 制造

[发明专利]沉积装置-CN201310247589.0在审
发明人：李相允 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-06-20 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种沉积装置，包括沉积源单元、多个喷嘴、多个角度限制部件以及多个第一加热器单元。其中，沉积源单元使沉积材料蒸发，多个喷嘴布置在沉积源单元的上表面上并用于将被蒸发的沉积材料喷射到面向沉积源单元的上表面的基板上，多个角度限制部件布置在沉积源单元的上表面上并位于喷嘴的左侧和右侧，第一加热器单元中的每一个均布置在角度限制部件中的相应角度限制部件的上表面上
沉积装置

[实用新型]一种酒精回收罐-CN201720492174.3有效
发明人：嵇根龙 -专利权人：江西省科达动物药业有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： B01D3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种酒精回收罐，包括蒸发罐，所述蒸发罐通过管道连接冷凝罐，所述冷凝罐通过管道连接有沉积罐，所述沉积罐下侧设置有回收罐，所述蒸发罐下侧通过管道连接有废料罐，所述蒸发罐左侧连接有加热器，所述蒸发罐左侧上部开设有入料口，所述蒸发罐下侧与废料出料口连接，所述冷凝罐上部与注水口连接，所述冷凝罐下部连接有排水口，所述沉积罐下侧连接有回收管，所述回收管下侧的短支管外部设置有回收阀门，所述沉积罐外部安装有控制面板，该种酒精回收罐
一种酒精回收

[发明专利]低水分种子的镀膜贮藏方法及其设备-CN202111411442.1有效
发明人：段玉权;林琼;李志胜;邹俊峰 -专利权人：北京胜泰东方科技有限公司;中国农业科学院农产品加工研究所
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： A01C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种低水分种子的镀膜贮藏方及其设备，包括以下步骤：步骤1：将派瑞林材料放入蒸发室内，所述蒸发室通过管路连接裂解室，将待镀膜的种子放置在沉积室内；步骤2：通过第一管路将所述蒸发室和所述裂解室进行抽真空；步骤3：控制所述蒸发室、裂解室和沉积室达到预设温度；步骤4：当所述蒸发室和裂解室的温度和气压均达到预设值时，通过第二管路将所述沉积室抽真空到预设压力值；步骤5：关闭所述第一管路和所述第二管路，裂解后的派瑞林气体通过第三管路进入所述沉积室开始镀膜
水分种子镀膜贮藏方法及其设备

[发明专利]一种农药雾滴沉积与蒸发检测装置及方法-CN201610823407.3有效
发明人：蔡坤;兰玉彬;李继宇;陈鹏超;朱长威 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01N15/04 文献下载
摘要：本发明的提供一种农药雾滴沉积与蒸发检测装置及方法，当雾滴沉积到共平面插指式电容器表面时，电容值变大，而当雾滴蒸发时，电容值逐渐变小恢复至初始状态值。经数据处理模块处理后，能够实时获得雾滴的沉积量、瞬时蒸发量、雾滴蒸发时间，并可实时监测雾滴在传感器表面的沉积和蒸发的整个物理过程。
一种农药雾滴沉积蒸发检测装置方法

[实用新型]一种农药雾滴沉积与蒸发检测装置-CN201621055654.5有效
发明人：蔡坤;兰玉彬;李继宇;陈鹏超;朱长威 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G01N15/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种农药雾滴沉积与蒸发检测装置，当雾滴沉积到共平面插指式电容器表面时，电容值变大，而当雾滴蒸发时，电容值逐渐变小恢复至初始状态值。经数据处理模块处理后，能够实时获得雾滴的沉积量、瞬时蒸发量、雾滴蒸发时间，并可实时监测雾滴在传感器表面的沉积和蒸发的整个物理过程。
一种农药雾滴沉积蒸发检测装置

[发明专利]一种制备稀土掺杂光纤预制棒的气相掺杂装置及掺杂方法-CN202010030467.6在审
发明人：林傲祥;倪力;俞娟 -专利权人：成都翱翔拓创光电科技合伙企业(有限合伙)
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： C03B37/018 文献下载
摘要：本发明公开了制备稀土掺杂光纤预制棒的气相掺杂装置及掺杂方法，装置包括气化系统、气相传输系统和气相沉积系统，气化系统包括普通沉积原料供给单元、AlCl3蒸发单元和稀土螯合物蒸发单元，其中，AlCl3蒸发单元和稀土螯合物蒸发单元均包括第一加热炉和置于第一加热炉中的蒸发罐；气相传输系统包括高温传输管道、普通沉积原料输送管道以及AlCl3输送管道和稀土螯合物输送管道，普通沉积原料输送管道、AlCl3输送管道和稀土螯合物输送管道的出口段均伸入能够加热的高温传输管道中；气相沉积系统包括与气相传输系统的高温传输管道旋转密封连接的沉积单元和第二加热炉。
一种制备稀土掺杂光纤预制装置方法

[发明专利]沉积方法和制造发光器件的方法-CN200810171398.X无效
发明人：平形吉晴;山崎舜平 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2008-10-23 - 公布日： 2010-04-07 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一个目的是提供一种沉积方法，通过该方法可以以高生产率形成具有所需形状的薄膜。而且，提供了一种制造发光器件的方法，通过该方法可以以高生产率制造具有高清晰度的发光器件。通过使用沉积靶基底和面积比沉积靶基底小的遮光板，将沉积靶基底和遮光板彼此对准，并通过多个沉积步骤将蒸发材料沉积在沉积靶基底的至少一部分上。作为蒸发源，优选使用具有蒸发材料的光吸收层和支撑基底。
沉积方法制造发光器件

[发明专利]一种双向液态源蒸发CVD系统-CN202010953796.8有效
发明人：孔令杰;李晓丽 -专利权人：安徽贝意克设备技术有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种双向液态源蒸发CVD系统，包括蒸发装置主体，所述蒸发装置主体的上方安装有加热炉和石英外管；双向液态源蒸发CVD系统是通过双向双回路的方式，将液态源蒸发后的汽态源分别从第一进出座和第二进出座分次输入，通过第一进出座和第二进出座的输入保证沉积内管中汽态源充分留存，能够充分反应；将保护气体通过预热装置预热到液态源蒸发温度，保护石英外管内部的汽态源不会遇冷后凝固，通过触摸屏控制加热炉在滑轨上左右横向移动，可快速定位沉积内管中材料沉积区并进行快速加温，使得沉积区的材料受热变成汽态；此法相对一般工艺而言液态源蒸发成汽态更纯，裂解后杂质少，所制得的薄膜或材料质量更高。
一种双向液态蒸发 cvd 系统

[发明专利]放射性废液天然蒸发池的退役改造方法-CN202211537914.2有效
发明人：高龙;杜晓慧;张宇轩;张银;刘畅;韩红臣;吕海雷;孙阳;初丽丽;杨宇;朱欣研 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G21F9/30 文献下载
摘要：本申请的实施例提供了一种放射性废液天然蒸发池的退役改造方法。其中，天然蒸发池包括放射性废液层和位于放射性废液层下方的沉积层。该方法包括：将多个预制中空沉管沉入天然蒸发池，以使天然蒸发池被划分为多个作业区；针对每一个作业区，将预制中空沉管中的放射性废液除去，以暴露天然蒸发池的沉积层；在所述预制中空沉管内，对沉积层进行固化处理，本申请的实施例将富含放射性物质的沉积层就地处理，减少了退役过程带来的放射性废料，同时固化处理后的天然蒸发池还可以作为废物库储存低水平的放射性废物以继续使用，实现了天然蒸发池的安全退役。
放射性废液天然蒸发退役改造方法

[发明专利]导流型热蒸发沉积装置-CN200910216474.9无效
发明人：张占文;黄勇;漆小波;李波;刘一扬;陈素芬;魏胜 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2009-11-27 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种导流型热蒸发沉积装置，本发明的装置含有加热炉、导流管、导流管加热罩。加热炉由加热丝架、内保温筒和外保温筒组成，蒸发舟置于加热丝架内。导流管与蒸发舟的蒸发口密封连接，导流管置于导流管加热罩内。当蒸发舟内的材料受热蒸发的时候，由于内外压差的作用，蒸气会沿导流管向外流动，由于导流管的导向作用，可实现蒸气由上至下喷出。本发明的装置也可以通过两个或两个以上的组合配置实现两种或两种以上材料的化学气相沉积。解决了需要在下方固定样品的热蒸发气相沉积问题。本发明的装置中蒸汽流更集中，可以获得更高的沉积速率。
导流蒸发沉积装置

[发明专利]一种大面积共蒸发源的阵列设计-CN201210415107.3无效
发明人：冯良桓;曾广根;黎兵 -专利权人：四川大学
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明“一种大面积共蒸发源的阵列设计”属于采用热蒸发制备大面积固体薄膜及半导体薄膜时所用源的发明。采用热蒸发制备多组份薄膜时，为避免成份的偏离，实验室常采用共蒸发的方法加以避免，通过增加单个源的数量进行环状或呈一定角度排布，可以较大程度的保证沉积薄膜的厚度均匀性。这种排布方式在大生产中将面临无法进行在线换源，无法保证源排布的平整和均匀，尤其在源与衬底间距较小的情况下，增加源在运动中进行蒸发沉积的难度。鉴于以上情况，本申请发明提出了一种新的大面积共蒸发源的阵列设计，该阵列可以作为一个整体进行运动，在既可保证沉积薄膜厚度均匀性的同时，可实现静态或动态蒸发沉积薄膜，更能实现源的在线更换。
一种大面积蒸发阵列设计

[发明专利]沉积源以及具有其的沉积设备-CN201310718402.0有效
发明人：赵炫来;奇锡 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供了一种沉积源。所述沉积源包括：坩埚，容纳沉积材料并使沉积材料蒸发；网格构件，设置在坩埚中并与沉积材料分隔开预定的距离，网格构件包括通过网格构件形成的多个开口；格子构件，在坩埚中设置在网格构件上以将网格构件划分成多个格子区域；多个热球，设置在网格构件上并填充格子区域；以及盖，设置在坩埚上以覆盖坩埚，盖包括喷射孔以喷射蒸发的沉积材料。还提供了一种沉积设备，所述沉积设备包括：真空室，真空室包围沉积源；基底；以及基底支撑件。
沉积以及具有设备