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[实用新型]一种能够控制parylene沉积方向的蒸发管路-CN202321138181.5有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够控制parylene沉积方向的蒸发管路，包括蒸发管路，所述蒸发管路前端法兰与裂解管路对接，所述蒸发管路前端法兰能够通过合页与后盖铰接，所述蒸发管路通入parylene单体，parylene单体事先通过高温枪使其带有正负电荷，所述蒸发管路内安装有一组平行于管路方向的电极组件，所述电极组件包括安装于蒸发管路上的VCR接头、及安装于VCR接头上且位于和蒸发管路内的电极板，上下两电极板分别通过VCR接头通正电和负电。通过上述方式，本实用新型结构简单，能够控制parylene沉积方向，带有相同电荷的单体就会沉积在腔体特定位置处，通过控制样品转速来控制其特定位置的薄厚了。
一种能够控制 parylene 沉积方向蒸发管路

[发明专利]一种应用parylene的PDMS微针制备方法-CN202310543268.9在审
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B29C69/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用parylene的PDMS微针制备方法，包括以下步骤：S1、模具镀膜，在微针成型模具内沉积一层便于脱模的parylene薄膜；S2、浇筑，将常温液态PDMS罐装到微针模具内；S3、高温，固化，将微针模具置于真空烘箱，先抽真空，进行样品脱泡10分钟，然后进行4个小时75℃高温固化，待冷却到室温；S4、脱模，取出微针模具内PDMS微针；S5、沉积过渡膜，在步骤S4的，PDMS微针上沉积一层parylene薄膜的过渡膜；S6、沉积合金层，于步骤S5产品上沉积金属层。通过上述方式，本发明结构简单，PDMS微针能够更加完整的脱模，增强PDMS与金属层的粘附力，也不会导致金属层的褶皱。
一种应用 parylene pdms 制备方法

[实用新型]一种parylene热解CVD载具结构-CN202222856857.6有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种parylene热解CVD载具结构，包括箱体、导温支撑板、导温限位板、制冷棒、及加热棒，所述箱体开口与镀膜腔体对接，所述箱体底部安装有若干用于竖直放置硅片的导温支撑板，所述导温支撑板左右两侧的箱体内壁安装有导温限位板，导温支撑板和导温限位板上均插装有用于制冷的制冷棒和用于制热的加热棒。通过上述方式，本实用新型能够承载竖直放置硅片，保证膜层均匀，能够解决硅片表面粒子数量问题同时增强膜层的粘附力与致密性。
一种 parylene cvd 结构

[实用新型]一种新型柔性线材表面真空镀膜设备-CN202222310071.4有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型柔性线材表面真空镀膜设备，包括镀膜腔体、安装于镀膜腔体上下底面的放料组件、收料组件、及安装于镀膜腔体内的导料组件，放料组件经过导料组件后由收料组件收料，放料组件和收料组件的电机能够反转，收料、放料角色互换。通过上述方式，本实用新型结构紧凑，设计巧妙，能够循环往复镀膜线材，保证镀膜均匀。
一种新型柔性线材表面真空镀膜设备

[实用新型]一种防止管道口积粉的真空设备用蒸发管结构-CN202221682228.X有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止管道口积粉的真空设备用蒸发管结构，包括蒸发管、蒸发管法兰、后盖、紧固件和加热器，所述蒸发管后端固定有蒸发管法兰，蒸发管法兰通过合页与后盖铰接，所述蒸发管法兰和后盖远离合页的部分通过紧固件锁紧固定连接，所述蒸发管法兰和后盖之间通过密封圈密封，所述后盖内侧朝向蒸发管方向设置有凸起，所述后盖外端内置式安装有加热器。通过上述方式，本实用新型杜绝蒸发管管道口积粉的情况发生，不破坏蒸发管路内热平衡特性，沉积膜层质量依旧能够达到保证。
一种防止道口真空备用蒸发结构

[实用新型]一种CVD镀膜腔体用摇臂式滚筒结构-CN202123234244.0有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CVD镀膜腔体用摇臂式滚筒结构，包括滚筒和摇臂组件，所述滚筒置于镀膜腔内，滚筒随腔体自传，所述滚筒的滚筒本体上安装有摇臂组件，摇臂组件垂直于滚筒转动方向，摇臂组件于滚筒内搅动。通过上述方式，本实用新型镀膜过程中，充分带动产品转动并搅拌，改善产品表面的膜层覆盖率，使得膜层均匀性更好。
一种 cvd 镀膜体用摇臂滚筒结构

[实用新型]一种新型CVD裂解管结构-CN202123052659.6有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型CVD裂解管结构，包括裂解管本体、热导管和扩散板，所述裂解管本体内装有热导管，所述热导管上部四分之三处开设有横向设置的开口，所述热导管采用导热的金属材质，所述热导管内壁间隔设置有扩散板，所述扩散板上阵列设置有均流孔，所述裂解管本体内的上部设置有保证气流的气流通道。通过上述方式，本实用新型设计巧妙，能够使管路内温度迅速上升且均匀，同时保证粉材裂解后气态的均匀度，保证气体流速，能够快速插装和拆卸。
一种新型 cvd 裂解结构

[实用新型]一种新型自动化CVD设备-CN202220405997.9有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型自动化CVD设备，包括EFEM自动化设备、偶联剂镀膜沉积室、parylene派瑞林镀膜沉积室、硅烷偶联剂涂布机、二甲苯涂布机和气缸控制升降平台，所述EFEM自动化设备一侧设置有两自动化入口，EFEM自动化设备另一侧对接设置有偶联剂镀膜沉积室和parylene派瑞林镀膜沉积室，所述偶联剂镀膜沉积室侧端对接设置有硅烷偶联剂涂布机，parylene派瑞林镀膜沉积室侧端对接设置有二甲苯涂布机，所述偶联剂镀膜沉积室和parylene派瑞林镀膜沉积室侧端分别对接设置有用于控制腔室的盖子开关的气缸控制升降平台。通过上述方式，本实用新型自动化镀膜，增加产能，提升效率。
一种新型自动化 cvd 设备

[实用新型]一种镀膜设备用偶联剂蒸发雾化装置-CN202122623482.4有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜设备用偶联剂蒸发雾化装置，该种镀膜设备用偶联剂蒸发雾化装置包括偶联剂蒸发槽、连接管、电动阀体、介子接头、偶联剂喷头、腔体焊接接头和扩散板，所述偶联剂蒸发槽出料口通过连接管与电动阀体入口接通，电动阀体出口通过介子接头与偶联剂喷头接通，偶联剂喷头上螺纹连接有腔体焊接接头，偶联剂喷头和腔体焊接接头连接处放置有扩散板，电动阀体将偶联剂蒸发槽和偶联剂喷头开关式隔开，所述偶联剂蒸发槽为真空腔体结构，偶联剂蒸发槽内装有偶联剂，偶联剂蒸发槽外壁包裹有电加热模块。通过上述方式，本实用新型能够快速蒸发，保证偶联剂进入腔体内是气态，提升偶联剂喷出时的均匀性，提升膜层粘附力，避免产品污染。
一种镀膜备用偶联剂蒸发雾化装置

[外观设计]镀膜用气缸吊装装置-CN202130074495.3有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技(苏州)有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：镀膜用气缸吊装装置。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于镀膜产品的吊装。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
镀膜气缸吊装装置

[实用新型]一种真空镀膜用冷却转盘机构-CN202022943236.2有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜用冷却转盘机构，该种真空镀膜用冷却转盘机构包括磁流体、主轴、冷冻转盘、导热压板、冷却管道、锁紧法兰、旋转接头、进水管道、出水管道、腔体底板和驱动组件，磁流体的旋转部插装有主轴，主轴顶部安装有冷冻转盘，冷冻转盘上端面设有盘状设置的冷却甬道，冷冻转盘上端封装有导热压板，主轴内装有与冷却甬道两端相通的冷却管道，主轴底部与旋转接头的旋转部固定连接，旋转接头的外部固定部安装有分别与冷却管道相通的进水管道和出水管道，所述磁流体的旋转部通过驱动组件驱动转动。通过上述方式，本实用新型结构简单紧凑，设计巧妙，冷却速快快，冷却成本低，能够通过外接的冷水机调节冷却温度。
一种真空镀膜冷却转盘机构

[实用新型]一种镀膜用气缸吊装装置-CN202120297131.6有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B66C23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜用气缸吊装装置，该种镀膜用气缸吊装装置包括吊装框架、气缸、H型实心铁板、移动板、直线导轨、吊装组件、浮动接头、钣金和顶板，所述吊装框架下部安装有竖直设置的气缸，吊装框架上竖直安装有H型实心铁板，移动板通过直线导轨与H型实心铁板滑动连接，移动板上安装有吊装组件，气缸的活塞杆通过浮动接头与吊装组件固定连接，气缸四周围设有钣金，吊装框架顶部封装有顶板。通过上述方式，本实用新型结构稳定牢固，增加了框架的抗拉性，不会因为承载过大而发生危险，使用效率增高，降低作业安全风险。
一种镀膜气缸吊装装置

[发明专利]一种PC膜的剥离方法-CN202110776309.X在审
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种PC膜的剥离方法，该种PC膜的剥离方法包括以下步骤：步骤S1：将需要剥离膜层的基底放置在氧气环境下，在190～280nm波长UV光下充分照射，照射时间240h，PC膜层在氧气环境中固定波长的UV光照射一段时间后会发生黄化现象，生成共振态芴雷化合物以及六元环产物，致使膜层粘附力降低变黄变脆；步骤S2：在PC膜层表面发现变黄变脆后，停止照射，静置一段时间；步骤S3：使用二氧化碳喷砂机对基底表面变脆后的PC膜层进行喷砂剥离，PC膜层粉化脱离产品基底。通过上述方式，本发明能够在不伤害产品基底的前提下剥离PC膜层，能够完美剥离膜层，无残留。
一种 pc 剥离方法

[发明专利]一种适用于电池包防水疏水的复合膜层及其制备方法-CN202110630840.6在审
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B05D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于电池包防水疏水的复合膜层及其制备方法，该种适用于电池包防水疏水的复合膜层包括电池包本体、聚乙烯防水层和CFx疏水层，所述电池包本体基底表面覆盖有一层聚乙烯防水层，所述聚乙烯防水层表面覆盖有一层CFx疏水层，所述聚乙烯防水层为聚乙烯纳米膜层，所述CFx疏水层为CFX纳米膜层。通过上述方式，本发明膜层更薄，制备时间短，表面防水、疏水效果更好。
一种适用于电池防水疏水复合及其制备方法

[外观设计]全自动真空有机高分子气相沉积镀膜机-CN202030409224.4有效
发明人： 傅其裕 -专利权人：百腾科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动真空有机高分子气相沉积镀膜机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于一种镀膜设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
全自动真空有机高分子沉积镀膜

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