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- [发明专利]半导体结构-CN201010151192.8有效
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王敬;许军;郭磊
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清华大学
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2010-04-16
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2010-09-01
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H01L29/78
- 本发明提出了一种半导体结构,包括衬底,形成在衬底上的过渡层或绝缘层,依次形成在过渡层或绝缘层上的第一应变宽禁带半导体层、应变窄禁带半导体层、第二应变宽禁带半导体层,以及形成在第二应变宽禁带半导体层之上的栅堆叠,和形成在第一应变宽禁带半导体层、应变窄禁带半导体层和第二应变宽禁带半导体层之中的源极和漏极。该半导体结构不仅能抑制两种BTBT漏电的产生,另外还能在中间的应变窄禁带半导体层(例如应变Ge层或应变SiGe层)中产生空穴势阱,提高载流子的迁移率,改善器件性能。
- 半导体结构
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