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- [发明专利]一种便携式石墨舟校准工具的设计方法-CN201811556068.2在审
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李健
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浙江鸿禧能源股份有限公司
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2018-12-19
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2020-06-26
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H01L21/68
- 本发明公开了一种便携式石墨舟校准工具的设计方法，包括齿（1），齿槽（2）和手柄（3），所述的手柄（3）位于该校准工具的两侧；所述的齿（1）和齿槽（2）为相间排列。其中：所述的齿槽中左侧边缘和右侧边缘齿槽间的长度（d）等于石墨舟的宽度（A），齿槽的数量与石墨舟的舟片数量相同；所述的齿槽宽度（D）大于等于石墨舟舟片的厚度（C），且小于C+0.03mm，齿槽的数量与石墨舟的舟片间隔数量相同；所述的齿的宽度（M）小于等于石墨舟舟片间距（B），且大于B‑0.03mm。本发明的有益效果是通过采用本发明提供的技术方案，可以便携地对生产现场的石墨舟进行校准，减少因为石墨舟精度偏差导致的异常碎片。
- 一种便携式石墨校准工具设计方法
- [发明专利]一种石墨舟饱和工艺-CN202110320556.9在审
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邢显邦;李海波
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江苏润阳世纪光伏科技有限公司
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2021-03-25
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2021-07-20
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C23C16/02
- 本发明公开一种石墨舟饱和工艺：(1)用氢氟酸去除石墨舟表面氮化硅；(2)用纯水漂洗石墨舟；(3)使用热水对石墨舟表面进行预脱水；(4)在烘干槽内先通入低温气流对石墨舟预烘干，再通入高温气流彻底烘干；(5)将炉管升温预热，用CDA对饱和炉管吹扫，将待饱和的石墨舟置于炉管内，关闭炉门；(6)炉管继续升温，并通入氮气；(7)将炉管抽真空，测试炉管漏率，测漏后再抽真空；(8)通入氨气，开放射频功率，对石墨舟第一次预处理；(9)通入氨气和硅烷，打开射频电源，使用PECVD对所述石墨舟表面进行饱和处理；(10)通入氨气，打开射频电源，对石墨舟后处理；(11)抽真空，通入氮气将炉管恢复到常压；(12)取出饱和好的石墨舟。
- 一种石墨饱和工艺
- [实用新型]一种石墨舟-CN202320022777.2有效
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张永;梁立维;张建军
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晶澳太阳能有限公司
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2023-01-05
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2023-06-27
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C23C16/458
- 本申请公开了一种石墨舟，包括：若干依次交错分布的石墨舟片和位于石墨舟片的两端且用于为其提供承载支点的承载装置；承载装置包括上下设置的两组导电安装架，导电安装架包括正极连接部和负极连接部，正极连接部和所述负极连接部之间通过绝缘件进行绝缘；正极连接部和负极连接部均包括多个石墨块以及石墨杆，在相邻的两个石墨舟片端部之间设置所述石墨块，石墨杆穿设于石墨舟片和石墨块将位于同一正极连接部或者负极连接部上的所有石墨舟片和石墨块串联固定；通过用两根石墨杆替换整根陶瓷杆，在不短路的情况下，起到增强导电性同时兼具支撑、带有韧性效果的作用，从而改善石墨舟因舟片与石墨块接触不好导致喷舟的现象，降低现场制程的返工率。
- 一种石墨
- [实用新型]石墨舟片以及石墨舟-CN202222855182.3有效
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周公庆;马列;刘宗刚;袁桃生
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通威太阳能（眉山）有限公司
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2022-10-27
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2023-02-28
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C23C16/458
- 本申请涉及镀膜设备技术领域，具体而言，涉及一种石墨舟片以及石墨舟。石墨舟片包括：舟片本体和石墨卡点。舟片本体上设置有安装孔，舟片本体的材质为石墨。石墨卡点可拆卸安装于安装孔内，石墨卡点用于将硅片固定于舟片本体的表面；石墨卡点内嵌设有导电金属件，且石墨卡点的用于接触硅片的部位的材质为石墨。本申请的石墨舟片通过在石墨卡点内嵌设导电金属件，导电金属件的设置可以提高石墨卡点处对硅片的导电性，弥补石墨卡点所在区域缺失的电场强度，进而有利于提高硅片与石墨卡点接触的区域的氮化硅膜层厚度，提高硅片表面的氮化硅膜层的厚度一致性
- 石墨以及
- [实用新型]一种石墨舟震舟器的加固结构-CN202122514239.9有效
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刘金端
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天合光能（宿迁）光电有限公司
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2021-10-19
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2022-05-13
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F16M11/04
- 本实用新型公开了一种石墨舟震舟器的加固结构，涉及石墨舟震舟器技术领域，包括石墨舟震舟器、罗伯特科插片机固定架和节流阀，所述石墨舟震舟器设置在罗伯特科插片机固定架的上方，所述节流阀设置在石墨舟震舟器的一侧，所述石墨舟震舟器的上表面活动安装有调气机构。本实用新型通过采用L型气管接头、气管、节流阀、轴承杆、固定板、固定杆和螺杆的配合，通过L型气管接头和气管的配合，使得节流阀免受震动影响，同时利用固定杆和螺杆的配合，将石墨舟震舟器上震动分散，防止中心位置偏离震源中心，使得装置出现损坏，避免了长时间震动造成节流阀松动损坏，轴承杆断裂的问题，减少了震舟器的使用成本。
- 一种石墨舟震舟器加固结构
- [发明专利]一种石墨舟接驳缓存方法-CN201810554160.9有效
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邓金生;黄元俊;周宏业;张勇
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2018-06-01
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2020-07-24
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H01L21/677
- 本发明公开了一种石墨舟接驳缓存方法，包括以下步骤:S1、在石墨舟装卸片机与PECVD设备之间设置一个具有第一缓存工位、第二缓存工位和第三缓存工位的接驳缓存机构；S2、将石墨舟装卸片机中的第一石墨舟运输至第一缓存工位；S3、将PECVD设备中的第二石墨舟运输至第三缓存工位；S4、将第一缓存工位上的第一石墨舟运输至第二缓存工位，然后再将第二缓存工位上的第一石墨舟运输至PECVD设备；S5、将第三缓存工位上的第二石墨舟运输至第二缓存工位，然后再将第二缓存工位上的第二石墨舟运输至石墨舟装卸片机。本发明可以先将第二石墨舟放置在第三缓存工位进行充分冷却后，再运输至石墨舟装卸片机进行卸片处理，从而提高生产效率。
- 一种石墨接驳缓存方法
- [发明专利]一种双拼多框石墨舟-CN202010171006.0在审
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张孟彤;张勇
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上海弘枫实业有限公司
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2020-03-12
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2020-05-22
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C23C16/458
- 本发明公开的一种双拼多框石墨舟，包括两个多框石墨舟，每一个多框石墨舟的相邻两片石墨舟片末端之间通过一个石墨隔块以及螺栓杆连接；其特征在于，在每一石墨隔块中设置有至少一与该多框石墨舟的相邻两片石墨舟片之间的气流通道连通的气流通孔和一个导电插杆孔，两个多框石墨舟之间相邻的两个石墨隔块通过导电插杆电连接且所述导电插杆插入到每个石墨隔块的导电插杆孔中，两个多框石墨舟上的相邻两个石墨隔块上的气流通道相互连通。本发明两个石墨舟在炉管里的巧妙的配合使用，提升产能，减小膨胀延长累积偏差，降低不良品率。
- 一种双拼多框石墨
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