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[实用新型]一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构-CN202021239616.1有效
发明人：周玉龙;刘景博;王玉明 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，包括：传送线；以及设于所述传送线上的石墨舟缓存组件，所述石墨舟缓存组件包括：缓存底板，其与所述传送线滑动连接；以及至少三片缓存支撑板，其在底板与所述缓存底板相固接；其中，所述缓存支撑板的侧边敞开形成有缓存让位口以使得所述缓存支撑板呈C字形结构；两两所述缓存支撑板等距间隔设置以形成位于相邻两片所述缓存支撑板之间的石墨舟缓存空间。根据本实用新型，其在传送线上设置至少两个石墨舟缓存空间来提高石墨舟缓存上料机构缓存上料多个石墨舟的能力，从而通过多个普通石墨舟的配合使用来避免由于延长石墨舟跨度而导致的石墨舟强度可靠性降低的问题。
一种适用于 pecvd 石墨缓存机构

[实用新型]一种石墨舟移动装置及石墨舟清洗装置-CN202121290987.7有效
发明人：王辉;吴章平;崔水炜;杨标;万肇勇 -专利权人：苏州昊建自动化系统有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：一种石墨舟移动装置及石墨舟清洗装置，属于清洁设备技术领域。包括门式机架本体；升降机构，设置于门式机架本体；拾取部，与升降机构相连，并受升降机构驱动地沿门式机架本体的竖直方向移动；料台，为镂空结构的筐体，与拾取部可拆卸地相连，且料台用于容置石墨舟。本实用新型在门式机架本体设置升降机构以带动容置石墨舟的料台移动，进而带动石墨舟进入清洗液，或者将石墨舟从清洗液中取出，从而避免清洗液对人工造成损伤，并提升工作效率；同时，本实用新型设置料台容置石墨舟，并托持石墨舟进行移动，能够避免夹具的夹持力对石墨舟造成变形或者损伤，从而保证石墨舟在移动过程中的安全性。
一种石墨移动装置清洗

[实用新型]一种石墨舟用陶瓷环及石墨舟-CN202122280335.1有效
发明人：刘赖生;邢国强;姚骞;吴伟梁 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请提供一种石墨舟用陶瓷环及石墨舟，陶瓷环包括陶瓷环本体，陶瓷环本体的外壁设置有沿其周向且朝其内壁凹陷的环状凹槽；石墨舟包括多根陶瓷固定柱、多个石墨舟页以及多个陶瓷环，每个石墨舟页上设置有固定通孔，陶瓷固定柱穿过每个石墨舟页的固定通孔以固定多个石墨舟页，陶瓷环套设于陶瓷固定柱上以支撑隔离相邻两个石墨舟页。环状凹槽降低非晶硅在其内部沉积的概率，减少沉积在陶瓷环表面的非晶硅的量，并将陶瓷环本体周壁沉积的非晶硅层隔断，避免陶瓷环本体周壁沉积沿其轴向连续的非晶硅，进而降低相邻两片石墨舟页导通、短路的概率，降低石墨舟页损坏的风险
一种石墨陶瓷

[发明专利]一种可调节厚度和间距的石墨舟-CN201710690122.1有效
发明人：刘文国;苏世杰;李强强;张玉前;周守亮 -专利权人：通威太阳能（安徽）有限公司
申请日： 2017-08-14 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调节厚度和间距的石墨舟，包括若干平行设置的石墨舟页以及若干垂直插设于石墨舟页中的石墨棒，每两片石墨舟页之间均设置有调节装置；所述调节装置包括依次间隔设置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之间通过连接块固定本发明在每两片石墨舟页之间增加了调节装置，并且配合着可以活动插接于陶瓷套内的陶瓷管，可以非常简便的对石墨舟页的厚度以及石墨舟页之间的间距进行调整，以方便对石墨舟页片数进行增加或者减少的调节，操作简单，可以节约大量调节时间，而且不需要更换不同厚度的石墨舟页，大大节约了材料，非常有效。
一种调节厚度间距石墨

[实用新型]一种可调节厚度和间距的石墨舟-CN201721009222.5有效
发明人：刘文国;苏世杰;李强强;张玉前;周守亮 -专利权人：通威太阳能（安徽）有限公司
申请日： 2017-08-14 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节厚度和间距的石墨舟，包括若干平行设置的石墨舟页以及若干垂直插设于石墨舟页中的石墨棒，每两片石墨舟页之间均设置有调节装置；所述调节装置包括依次间隔设置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之间通过连接块固定本实用新型在每两片石墨舟页之间增加了调节装置，并且配合着可以活动插接于陶瓷套内的陶瓷管，可以非常简便的对石墨舟页的厚度以及石墨舟页之间的间距进行调整，以方便对石墨舟页片数进行增加或者减少的调节，操作简单，可以节约大量调节时间，而且不需要更换不同厚度的石墨舟页，大大节约了材料，非常有效。
一种调节厚度间距石墨

[发明专利]一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法-CN201710213787.3在审
发明人：仇加亮;夏守慧 -专利权人：太极能源科技（昆山）有限公司
申请日： 2017-04-01 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： G06F17/30 文献下载
摘要：本发明提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，包括以下步骤S1当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；S2通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据本发明通过对镀膜机台系统进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES系统进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES系统内，可以及时、精确管控石墨舟使用次数，从而降低镀膜色差不良率
一种基于 mes 系统石墨使用次数统计方法

[发明专利]一种双料盘自动校正石墨卡点装卸机-CN202310511270.8在审
发明人：蒋祥 -专利权人：昆山集晨智能装备有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双料盘自动校正石墨卡点装卸机，涉及装卸机技术领域，该双料盘自动校正石墨卡点装卸机，包括壳体，所述壳体分为上腔和下腔，壳体上腔的内壁开设有两个舟片槽，两个舟片槽的内壁均开设有卡点槽，卡点槽将壳体的上腔和下腔连通通过校准机构的设置，在对石墨舟片上的卡点进行更换时，能够将石墨舟片压制在舟片槽中，从而达到对石墨舟片进行定位的目的，保证了所有卡点的安装精度一致，从而避免了在对石墨舟片上的卡点进行更换时，石墨舟片发生偏移，从而提高石墨舟片碎片率的情况，进而提高了石墨舟片卡点装卸的成功率，提高了石墨舟片的成品率，提高了装置的使用效果。
一种双料自动校正石墨装卸

[实用新型]一种石墨舟自动拍舟装置-CN201922373307.7有效
发明人：李健 -专利权人：浙江鸿禧能源股份有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟自动拍舟装置，所述石墨舟通过托板轨道在插片机和镀膜主机台之间移动运输，所述自动拍舟装置包括有设置在托板轨道旁的支架、固定在支架上的气缸、安装在气缸的活塞杆上的拍舟垫，所述气缸的活塞杆竖直朝下，拍舟垫位于托板轨道正上方，所述支架上安装有感应器，感应器用于感应拍舟垫下方的托板轨道上是否有石墨舟，感应器连接有控制器，控制器控制气缸工作。本实用新型的石墨舟自动拍舟装置，对在线运输的石墨舟进行拍打，不用停机人工操作排舟，对产能没影响，节约人力成本，拍舟效果更好，排舟过程更加安全。
一种石墨自动装置

[实用新型]改善EL边角发黑和卡点发黑的管式PERC电池石墨舟-CN201721188616.1有效
发明人：方结彬;林纲正;赖俊文;何达能;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司
申请日： 2017-09-15 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改善EL边角发黑和卡点发黑的管式PERC电池石墨舟，包括绝缘棒和若干个单元舟片，所述单元舟片为片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒贯穿各单元舟片的周缘而将全部的单元舟片连接固定在一起，石墨舟的端部通过若干个石墨块将单元舟片隔开，并通过连接棒贯穿石墨块和单元舟片，以将石墨块和单元舟片连接固定；至少一个石墨块为中空石墨块。所述单元舟片上设有若干组用于固定硅片的卡点，每一组卡点包括位于上部的第一卡点、位于底部的第二卡点和位于中间的第三卡点，所述第一卡点位于靠近石墨舟炉口一端，所述第二卡点、第三卡点位于远离石墨舟炉口一端。
改善 el 边角发黑 perc 电池石墨

[实用新型]一种便于操作的石墨卡点自动装卸机-CN202320762408.7有效
发明人：蒋祥 -专利权人：昆山集晨智能装备有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B25B27/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于操作的石墨卡点自动装卸机，涉及装卸机技术领域，该便于操作的石墨卡点自动装卸机，包括装卸机，所述装卸机的内壁固定连接有呈L形的放置板，放置板的表面放置有石墨舟片，石墨舟片的表面设置有卡点通过夹持机构的设置，能够对石墨舟片进行两个夹持定位，保证了石墨舟片在放置板上始终位于同一位置，避免了工作人员在对石墨舟片进行摆放时，需要来回挪动石墨舟片的位置，才能将石墨舟片摆放到准确位置的情况，方便了工作人员对石墨舟片的安放，提高了对石墨舟片上卡点的更换效率。
一种便于操作石墨自动装卸

[实用新型]用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备-CN202220193563.7有效
发明人：李时俊;杨宝立;王凯;林金雨 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备，用于PECVD设备的石墨舟包括：炉口石墨舟组，炉口石墨舟组左边的前端上下分别设有第一炉口电极和第二炉口电极，炉口石墨舟组左边的后端上下分别设有第三炉口电极和第四炉口电极，炉口石墨舟组的右边上下分别设有第五炉口电极和第六炉口电极，炉口石墨舟组右边的后端上下分别第七炉口电极和第八炉口电极；第四炉口电极和第六炉口电极输入正电极电流，第二炉口电极和第八炉口电极输入负电极电流；炉尾石墨舟组，炉尾石墨舟组连接于炉口石墨舟组；绝缘组件，绝缘组件设置于炉口石墨舟组的中间。
用于 pecvd 设备石墨

[发明专利]一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法-CN201810510945.6在审
发明人：姜明理;马里奥;李为兵;苗晓东;张江城;李文江;董凤荣 -专利权人：山东伟基炭科技有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜，包括以下步骤：先把石墨原材料放置在真空炉内高温纯化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍；石墨舟毛坯料固化处理形成坯体；固化后的坯体加工成成品；加工完的成品高温处理，树脂炭化，在成品表面形成薄膜；本发明能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜使用寿命长
石墨舟毛坯料树脂浸渍抗氧化涂层表面形成高温处理固化处理炭化管式坯体薄膜加工抗氧化薄膜石墨原材料成品表面高温纯化石墨舟片使用寿命真空炉放入毛坯固化制造调配维护

[发明专利]一种石墨舟移载AGV小车-CN201811250203.0在审
发明人：周晓谋;高定湘 -专利权人：苏州和自兴智能科技有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： B66F7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨舟移载AGV小车，属于光伏加工领域。该石墨舟移载AGV小车包括车体和设置在所述车体上方的石墨舟，车体上设置有用于支撑石墨舟的旋转升降机构，旋转升降机构包括连接在车体上的旋转盘和连接在旋转盘上的石墨舟托举侧倾装置，石墨舟托举侧倾装置上端连接在石墨舟上本发明的有益之处在于：该石墨舟移载AGV小车采用麦克纳姆轮作为驱动装置，可以全向自动行走，实现不同机台间的石墨舟自动搬运。
石墨舟车体移载旋转升降机构麦克纳姆轮侧倾装置运动平台支撑框架旋转盘支撑板托举机台驱动装置万向脚轮行走机构自动搬运自动行走驱动组上端光伏全向承载加工支撑

[发明专利]优化石墨舟饱和效果的方法-CN202111214807.1在审
发明人：程平;朱露;张凯胜;孙铁囤 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明涉及石墨舟技术领域，尤其是涉及一种优化石墨舟饱和效果的方法，包括以下步骤：a、去除旧石墨舟上氮化硅；b、水洗；c、烘干；d、进饱和炉管预热；f、抽空除残酸和水蒸气；g、重复步骤d、f两次，将预热时间改为5min；h、氮化硅高密度沉积；i、残留氮化硅吸附；j、氮化硅均匀性层；k、碳化硅保护步；l、氮化硅外层修饰硅步：m、抽真空；n、出舟。本发明提供的一种优化石墨舟饱和效果的方法，充分利用了石墨材料分子内空间较大性质；通过过量反应保证石墨舟有较好均匀性；增加石墨舟的膜厚均匀性；在里层增加了碳化硅在工艺射频时候充分保护了石墨舟，增加了石墨舟的使用寿命
优化石墨饱和效果方法

[发明专利]一种硅片搬运设备和方法-CN202310144435.2有效
发明人：董晓清;安迪;金磊;唐炼蓉;朱烽;王献飞;周煜杰;郑琦;熊波;高刘;王加龙;顾庆龙;申俊宇;王小彬;陆文轩;杨义;沈强强;詹尔豪 -专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种硅片搬运设备和方法，对于本发明的硅片搬运设备，通过让一条输送线输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的石墨舟、让另一条输送线接受缓存架上装配好未镀完膜的硅片的石墨舟，并将该石墨舟输送到镀膜设备中，实现镀膜设备的石墨舟输送；而通过设置六个中转石墨舟，这样在两个中转石墨舟进行检测时，有两个中转石墨舟在镀膜设备中镀膜、有两个石墨舟在进行硅片装卸，这样在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的石墨舟输送
一种硅片搬运设备方法