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[发明专利]真空腔室-CN201610494478.3在审
发明人：刘思洋 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种真空腔室，通过在密封门与腔体之间设置由内环密封圈及外环密封圈组成的两层密封圈，实现所述腔体与密封门共同形成一密闭空间，并在内、外环密封圈、腔体与密封门之间形成一辅助空间，同时设置一通道连通该辅助空间以用于对该辅助空间抽真空及破真空，在对密闭空间进行抽真空时，同步对辅助空间进行抽真空，使密封门受力平衡，能够减小密封门的形变，进而增强真空腔室的气密性，减少颗粒、及水汽进入真空腔室，并可以改善因密封门形变造成的金属接触问题，提高产品良率
空腔

[发明专利]真空腔室及真空腔室加热系统-CN202310970625.X在审
发明人：罗先刚;龙云;汪孟珂;鲜汶秀 -专利权人：天府兴隆湖实验室
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G21K1/00 文献下载
摘要：本申请涉及冷原子技术领域，具体涉及一种真空腔室及真空腔室加热系统。真空腔室包括腔室侧壁和由腔室侧壁围成的真空腔，在腔室侧壁的外壁或内壁设有反射层，反射层对第一波段的光具有高反射率、低透过率，在反射层上设有通光区，通光区用于供第一波段的光通过，反射层可将射至反射层的第一波段的光反射回真空腔内本申请实施例的真空腔室和真空腔室加热系统，通过直接对真空腔室外侧壁照射第一波段的光来加热真空腔，不会引入电流，因此从根本上消除了磁场噪声的干扰，且加热均匀、加热稳定性高。
空腔加热系统

[实用新型]真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链-CN202020953038.1有效
发明人：程实然;郭颂;刘海洋;王铖熠;李娜;张军;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： E05D3/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链装置。因此，本实用新型开合时，腔室门既可以沿某一转轴伸缩，也可以沿某一转轴旋转，可实现腔室门拉伸开合与旋转开合，从而减小负载旋出空间，使设备整体结构紧凑，节省设备空间。
空腔及其转轴重载铰链

[发明专利]用于真空腔室的闸门阀以及真空腔室-CN200880121748.X有效
发明人： P·瓦格纳;A·迈耶;C·埃格利 -专利权人：欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： F16K3/18 文献下载
摘要：一种用于真空腔室的闸门阀包括两个托架(5a)，其中每个托架通过两个平行的链接(6)连接到提供基本上平的前部的框架结构并通过平行杆(14)连接到致动杆(12a)。
用于空腔闸门以及

[发明专利]真空腔室装置-CN201510874701.2在审
发明人：赵芝强;梁冠雄;刘玉平;卢永锦 -专利权人：珠海宝丰堂电子科技有限公司
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空腔室装置，其包括内可抽真空的腔室，其进一步包括有设置在腔室内的安装板，在该腔室的底板上设有至少三个安装组件，该安装板通过该至少三个安装组件安装在腔室底板上，并且该安装板与腔室的底板之间留有间距该安装板在腔室内依靠安装组件的最少三点支撑和材料自身强度完成单独无变形的基准面，其与腔室底板之间留有间距，在真空腔室内形成内腔室，原本安装在腔室底板的所有的机构都安装在内腔室的该安装板上，腔室的变形只会使得内腔室的该安装板整体偏移、倾斜，不会影响内部零件，使零件调试和生产效率更高，消除因为腔室变形导致的报废成本，该发明的真空腔室装置能够减小以至消除真空腔室内部基准丢失。
空腔装置

[发明专利]真空腔室和真空腔室的门的上锁方法-CN201711458470.2有效
发明人：富田尚宏;伊藤毅;浅川正人;末木英人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种真空腔室和真空腔室的门的上锁方法，进一步提高在FPD等的制造装置的内部工作的操作者的安全性。搬送腔室(10)包括容器、顶板(13)、排气装置(41)、门(32)、电磁锁和控制装置(51)。容器具有收纳被处理基板的空间，在上部具有上部开口。顶板(13)开闭上部开口。
空腔上锁方法

[实用新型]真空腔室和具有该真空腔室的基板传送系统-CN200820105233.8无效
发明人：斯里兰·克里士纳瓦米;洪·T·纽恩;乔治·曾;马提亚·布伦纳 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-04-11 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型包含一种用于传送基板进出配置成容纳多块基板的腔室的系统。
空腔具有传送系统

[发明专利]真空腔室密封结构-CN202310800245.1在审
发明人：满卫东 -专利权人：上海铂世光半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于真空腔室的密封结构、一种用于等离子体反应室，以及一种微波等离子体化学气相沉积装置。该真空腔室包括从外部伸入腔体的基台结构，基台结构能绕轴线旋转并上下运动，密封结构用于基台结构与腔体壁之间的动密封，密封结构至少包括设于基台结构与腔体壁之间的第一密封圈，第一密封圈表面涂覆有润滑剂以构成湿式密封，在第一密封圈的真空端一侧设有吸附性填充物。本发明提供的用于真空腔室的密封结构能够提高真空腔室的密封性能、延长密封材料的使用寿命，同时还可以减少密封结构所带来的污染。
空腔密封结构

[实用新型]水泵真空腔室结构-CN201621087619.1有效
发明人：张福长;张源;张渠;林萍 -专利权人：周宁县善长祥农业机械研发有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： F04D9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水泵真空腔室结构，包括一泵体，所述泵体上设置有汲水口和与汲水口相连通的出水口，还包括一罩住汲水口的筒体，所述筒体上端与泵体相对接，所述泵体上还设置有连通筒体的进水口，所述汲水口上设置有防止泵体内水倒流回筒体的单向阀
水泵空腔结构

[发明专利]可拆分式真空腔室-CN202111298014.2有效
发明人：高中彭;刘相波;张鸣;成荣;朱煜 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种可拆分式真空腔室，包括可拆分的上真空腔室和下真空腔室，在所述上真空腔室的外部设置有用于固定所述上真空腔室的支撑机构；在所述下真空腔室的下方设置有升降机构，所述升降机构用于将所述下真空腔室与所述上真空腔室对接和分离，在所述上真空腔室和所述下真空腔室的对接处设置有间距控制机构，所述间距控制机构与所述升降机构电性连接，用于控制所述上真空腔室和所述下真空腔室之间的间距；在所述下真空腔室的下方设置有行走机构和行走导向机构本发明实现了真空腔室的轻松拆分，存放物与下真空腔室一起稳定地移入移出，避免了外部装备的拆卸，保证了外部装备的稳定运行。
拆分空腔

[发明专利]真空处理系统、支撑结构和用于运输基板的方法-CN202180076621.6在审
发明人：托马斯·格比利;沃尔夫冈·布什贝克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于处理基板的真空处理系统(100)，所述真空处理系统包括：第一真空腔室(105)，所述第一真空腔室具有第一气体压力；第二真空腔室(106)，所述第二真空腔室具有第二气体压力；以及气体分隔单元(120)，所述气体分隔单元在所述第一真空腔室(105)与所述第二真空腔室(106)之间。所述气体分隔单元提供在所述第一真空腔室与所述第二真空腔室之间的连接。所述气体分隔单元(120)被适配成与一个或多个支撑结构(110)相互作用，以便最小化从所述第一真空腔室(105)到所述第二真空腔室(106)和/或从所述第二真空腔室到所述第一真空腔室的气体流动。
真空处理系统支撑结构用于运输方法

[实用新型]真空设备-CN202221836789.0有效
发明人：张建文 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空设备，包括设备本体，设备本体设有真空泵组，设备本体具有第一真空腔室和第二真空腔室，第一真空腔室和第二真空腔室通过第一连接管分别与两个真空泵组连接，用于抽出第一真空腔室和第二真空腔室内的气体，两个第一连接管之间设有第二连接管，两个第一连接管通过第二连接管连通，以使每个真空泵组均能对第一真空腔室和第二真空腔室进行抽真空。本实用新型真空设备的每个真空泵组通过第一连接管能与其中一个真空腔室连通，通过第一连接管和第二连接管与另一个真空腔室连通，当第一真空腔室或第二真空腔室进行抽真空时，两个真空泵组能够同时对第一真空腔室或第二真空腔室通过抽真空，从而提高每个真空腔室抽真空的效率。
真空设备

[发明专利]光伏组件层压装置及光伏组件层压机-CN201910309180.4在审
发明人：傅家勤 -专利权人：上海迪伐新能源设备制造有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及光伏生产设备技术领域，公开了一种光伏组件层压装置包括上真空腔室、下真空腔室和工作真空腔室，所述上真空腔室、下真空腔室和工作真空腔室均连接至抽真空单元，所述上真空腔室的下部为上硅胶板，所述下真空腔室的上部为下硅胶板，所述工作真空腔室由所述上硅胶板和下硅胶板封闭而成，所述工作真空腔室中放置光伏组件，利用上下真空腔室与工作真空腔室的压力差，对光伏组件进行层压。
真空腔室光伏组件工作真空腔室硅胶板层压装置层压机层压抽真空单元层压过程加热问题生产设备有效解决压力差光伏封闭

[实用新型]光伏组件层压装置及光伏组件层压机-CN201920521937.1有效
发明人：傅家勤 -专利权人：上海迪伐新能源设备制造有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及光伏生产设备技术领域，公开了一种光伏组件层压装置包括上真空腔室、下真空腔室和工作真空腔室，所述上真空腔室、下真空腔室和工作真空腔室均连接至抽真空单元，所述上真空腔室的下部为上硅胶板，所述下真空腔室的上部为下硅胶板，所述工作真空腔室由所述上硅胶板和下硅胶板封闭而成，所述工作真空腔室中放置光伏组件，利用上下真空腔室与工作真空腔室的压力差，对光伏组件进行层压。
真空腔室光伏组件工作真空腔室硅胶板本实用新型层压装置层压机层压抽真空单元层压过程加热问题生产设备有效解决压力差光伏封闭

[发明专利]真空腔室的真空平衡结构-CN201910839352.9在审
发明人：黄奕宏;刘驰;秦超;尹国伟;刘瑶林;方明登;韩宁宁;曹术;陈锦杰;杨杰;庄庆波;林锋;邓慧建;黄露;徐星明;温业锋;陈浩;林伟龙 -专利权人：深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空贴合的技术领域，公开了真空腔室的真空平衡结构，包括处于真空腔室内的治具板，治具板内设有内腔室；治具板上具有吸合面，吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，真空吸孔与内腔室连通；治具板上设有连通孔以及平衡孔，连通孔及平衡孔分别连通内腔室及外部，真空发生器通过连接管与连通孔连接；平衡孔上设置有自动平衡结构，内腔室内的压力大于真空腔室内的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通；治具板处于真空腔室，内腔室的压力大于真空腔室的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通，使内腔室与真空腔室的压力一致，工件的表面没有压差，治具板通过静电吸片吸附工件，实现对工件的固定。
真空腔室内腔室治具板平衡孔自动平衡连通孔连通真空吸孔静电真空腔室内吸片真空发生器连通内腔吸附工件真空平衡真空贴合连接管吸合面内腔吸合压差外部

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