专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]真空腔室密封结构-CN202310800245.1在审
  • 满卫东 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2023-06-30 - 2023-09-29 - C23C16/44
  • 本发明提供了一种用于真空腔室的密封结构、一种用于等离子体反应室,以及一种微波等离子体化学气相沉积装置。该真空腔室包括从外部伸入腔体的基台结构,基台结构能绕轴线旋转并上下运动,密封结构用于基台结构与腔体壁之间的动密封,密封结构至少包括设于基台结构与腔体壁之间的第一密封圈,第一密封圈表面涂覆有润滑剂以构成湿式密封,在第一密封圈的真空端一侧设有吸附性填充物。本发明提供的用于真空腔室的密封结构能够提高真空腔室的密封性能、延长密封材料的使用寿命,同时还可以减少密封结构所带来的污染。
  • 空腔密封结构
  • [实用新型]一种钢珠装填工具-CN202222724003.2有效
  • 崔京伟;顾海霞 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2022-10-17 - 2023-06-06 - B25B27/00
  • 本实用新型公开了一种钢珠装填工具,包括钢珠槽、钢珠槽底部连通设置的活动腔体、活动腔体侧壁连通的真空发生器和活动腔体底部连接的气缸,真空发生器在活动腔体内部设有真空腔室,真空腔室内设有中空连接杆,真空连接杆一端与气缸的气缸杆连接,另一端伸入钢珠槽连通保持架,保持架通过底部连接的转接头与中空连接杆连通,保持架顶部设有堵头,气缸连接有控制其气缸杆下行的脚踏板,当踩下脚踏板后,保持架下行,直至钢珠槽内钢珠淹没保持架,松开脚踏板后,保持架上升,套上套筒完成钢珠的装填,本实用新型显著提高以往手工装填效率,适用于中小批量的加工生产,且解决了安装过程带入产品的灰尘以及杂物问题,使产品可靠性更高一筹。
  • 一种钢珠装填工具
  • [发明专利]一种附带气动密封的CVD真空反应器-CN202310051204.7在审
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2023-02-02 - 2023-05-09 - C23C16/52
  • 本发明属于化学气相沉积技术领域,具体为一种附带气动密封的CVD真空反应器,包括:壳体、进气管、调节单元和置物单元,所述置物单元包括弹簧,通过判断置物单元中弹簧的变形量,若弹簧的压缩量较大,则需要镀膜的基材较多,基材从置物单元的中心分布至置物单元的边缘,此时工作人员通过正向调节调节单元,增大进气流量,增大喷射面积,若弹簧的压缩量较小,则需要镀膜的基材较少,且基材集中分布于置物单元的中心,此时工作人员通过反向调节调节单元,减小进气流量,减小喷射面积,使处于置物单元中心处的基材能够与气态物质均匀接触,喷头边缘处的喷射孔不会分散进气量,从而提高了基材覆膜效果,降低了气态物质的浪费。
  • 一种附带气动密封cvd真空反应器
  • [发明专利]一种CVD金刚石生长在线检测装置-CN202211580519.2在审
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2022-12-06 - 2023-04-18 - C23C16/27
  • 本发明公开了一种CVD金刚石生长在线检测装置,属于金刚石生长检测技术领域。本发明包括沉积器、底座,所述沉积器设置在底座上,沉积器的上方设置有输气管、转动盘,沉积器的外侧缠绕有电磁线圈,所述输气管向沉积器中输入高温等离子气体,所述转动盘与沉积器转动连接,所述转动盘上设置有检测塔架,所述检测塔架上滑动设置有升降板,所述升降板的下方设置有检测机构,所述底座内设置有装载台及置换机构,所述装载台上设置有生长基板,所述检测机构对生长基板进行检测,所述置换机构对生长基板进行替换,所述装载台内设置有清洁器,所述清洁器对沉积器及检测机构进行清洁。
  • 一种cvd金刚石生长在线检测装置
  • [发明专利]一种非接触式光学高温计-CN202211597314.5在审
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2022-12-12 - 2023-04-07 - G01J5/00
  • 本发明公开了一种非接触式光学高温计,涉及光学高温计技术领域,包括主体和滑动变阻器,所述主体的内部设置有物镜,所述主体内部设置有颜色匹配部件,所述颜色匹配部件内部设置有若干个灯丝,所述颜色匹配部件包括有选择组件和控制组件,主体的下端安装有稳定部件,所述稳定部件内部设置有握柄,所述稳定部件包括有随动组件和吸能组件,所述随动组件用于连接主体和吸能组件。本发明通过灯丝和选择组件减少灯丝在对比期间所需调节的时间,降低使用者的操作难度,控制组件减小光学高温计在使用期间的能源消耗,提高本光学高温计控制结构的集成度,随动组件提高稳定部件的吸能效果,降低光学高温计在使用期间的晃动。
  • 一种接触光学高温
  • [发明专利]一种具有均布生长功能的MPCVD设备-CN202211642389.0在审
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2022-12-20 - 2023-03-21 - C23C16/511
  • 本发明公开了一种具有均布生长功能的MPCVD设备,属于金刚石生长技术领域。本发明包括机座,所述机座上设置有生长室,所述生长室上安装有燃烧器,生长室的内壁中设置有主线圈,所述燃烧器与含碳气体源相连接,燃烧器与生长室之间设置有若干个进气管,燃烧器对含碳气体进行加热,所述生长室的底部设置有锥形台,生长室的顶部安装有成像仪,所述锥形台上设置有生长基板,所述机座上还设置有调节机构,所述燃烧器、成像仪及调节机构均与控制系统电路连接,所述调节机构上设置有若干个小线圈,若干个所述小线圈对等离子体的运动进行控制。
  • 一种具有生长功能mpcvd设备
  • [实用新型]一种全自动外圆抛光设备-CN202222633026.2有效
  • 崔京伟;翁旗强;邹益;顾海霞 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2022-10-08 - 2023-03-21 - B24B21/02
  • 本实用新型公开了一种全自动外圆抛光设备,包括机架和机架两侧中部一体向上延伸的集尘管道,机架上表面中部向内凹设有第一接尘盘,机架内部设有集尘仓和电柜仓,第一接尘盘和集尘仓连通,第一接尘盘的两侧的机架表面固定有两个十字滑轨平台,两个十字滑轨平台固定有相对设置的两个砂带机,集尘管道向内设有第二接尘盘,第二接尘盘通过集尘管道接通集尘仓,第二接尘盘两端的集尘管道表面分别设置有中空旋转平台和气动尾座,砂带机包括主动轮、涨紧调节轮和从动轮,涨紧调节轮通过液压顶杆实现高度上调整,进而实现调整砂带或羊毛带的松紧的功能,本实用新型通过涨紧调节轮解决了椭圆、正圆柱形产品外圆镜面抛光难题,实现了非正圆的外壁抛光。
  • 一种全自动抛光设备
  • [实用新型]一种全自动内圆抛光设备-CN202222681996.X有效
  • 崔京伟;翁旗强;邹益;顾海霞 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2022-10-12 - 2023-02-03 - B24B29/08
  • 本实用新型公开了一种全自动内圆抛光设备,包括机架以及固定在机架框架上的第一传动机构和第二传动机构,第一传动机构上固定且传动连接有主轴总成;第二传动机构固定且传动连接有第一工件夹持模块和第二工件夹持模块,第一工件夹持模块和第二工件夹持模块通过固定在第二工件夹持模块上的连接气缸相连接,工件固定在第一工件夹持模块中回转支承法兰内的前内仿形治具和第二工件夹持模块的中空旋转平台之间,本实用新型通过PLC精确控制,并通过回转支承法兰和中空旋转平台夹持工件,配备主轴总成解决了椭圆、正圆柱形产品内圆镜面抛光难题,且抛光效率远高于手工研磨;中空旋转平台的1:18速比满足大部分产品的反拉力旋转,并保证高精确分度。
  • 一种全自动抛光设备
  • [发明专利]一种用于真空腔体的密封结构-CN202110795072.X有效
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2021-07-14 - 2022-11-04 - F16L23/16
  • 本发明公开了一种用于真空腔体的密封结构,包括:第一上盖及与所述第一上盖通过真空法兰密封连接的第二下盖;所述真空法兰包括第一真空法兰以及与所述真空法兰密封连接的第二真空法兰,所述第二真空法兰靠近第一真空法兰的端面上至少开设有两个凹槽,所述凹槽中嵌合有密封件,所述第一真空法兰靠近第二真空法兰的端面为平滑面。根据本发明,提供双层密封结构的真空密封作用,同时能监控密封效果,并能及时发现真空密封失效而对软质密封圈进行及时更换,同时还能延长软质密封圈的使用寿命。
  • 一种用于空腔密封结构
  • [发明专利]一种提高微波CVD窗口耐热性的复合窗口结构-CN202110645829.7有效
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2021-06-10 - 2022-09-09 - C23C16/54
  • 本发明公开了一种提高微波CVD窗口耐热性的复合窗口结构,包括:真空组件及固接于所述真空组件上的复合窗口组件;所述真空组件包括多个金属反射挡板及用于封盖金属反射挡板,多个所述金属反射挡板构成一密封腔室,所述密封腔室的上端通过端盖进行密封,所述金属反射挡板上一体式连接于平面板,所述平面板上开设有微波孔;所述复合窗口组件包括固定于所述平面板上的第一窗口件及固接于所述平面板远离第一窗口件一端面上的第二窗口件,所述第一窗口件与所述第二窗口件平行且间隔设置。根据本发明,自身良好的散热特点,形成一个较低温度的热屏蔽层,避免传统的微波窗口过热,可以大幅度提高微波馈入真空腔的功率值。
  • 一种提高微波cvd窗口耐热性复合结构
  • [实用新型]一种车床自动送料装置-CN202121187121.3有效
  • 胡常青;崔京伟 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2021-05-31 - 2022-07-15 - B23B15/00
  • 本实用新型公开了一种车床自动送料装置,包括气缸、气缸支架、吹气嘴、送料通道、液压卡盘和配电柜,气缸包括第一气缸气管和第二气缸气管;吹气嘴设有吹气管;配电柜包括开关电源、液压站和延时继电器,延时继电器包括第二和第三电磁阀,本实用通过气缸和吹气嘴的设置将送料通道的物料输送至加工位置,并也配电柜信号连通,通过配电柜实现自动送料的目的,本实用新型气缸和吹气嘴组成的吹气架构的主轴非跟转式设计不受主轴高转速的影响,增加延时调节器,使材料长度定位更精准,避免造成加工尺寸错误,第二和第三电磁阀的双电磁阀控制使较大材料在套筒内滑动顺畅,及时响应,不会影响加工速度。
  • 一种车床自动装置
  • [实用新型]一种小型轴卡簧安装器-CN202121467917.4有效
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2021-06-30 - 2022-07-12 - B25B27/20
  • 实用新型公开了一种小型轴卡簧安装器,包括压套、螺纹固定于压套上端面的顶盖,以及设于牙套内由上往下同轴依次布置的弹簧、滑杆连接件和滑杆,滑杆下端伸出压套,且下端面内倒角设计,弹簧套设于滑杆连接件顶部外周,且设于滑杆连接件和顶盖之间,滑杆连接件设于预设于压套的沉孔底面,伸出压套的侧边设有对称设置的凹槽,凹槽底部刀口式设计,压套下端侧面设有观察窗,本实用新型结构一体式设计,方便操作,减少卡簧损坏率,滑杆底部开槽方便卡簧安装,效率高,槽底刀口式设计利于卡簧通过;观察窗的设置方便观察卡簧安装情况,使安装更准确,快速,滑杆底部内倒角设计利于轴端面完美贴合,使卡簧安装连贯,效率更高。
  • 一种小型卡簧安装
  • [发明专利]一种MPCVD生长台的升降装置-CN202110743448.2有效
  • 胡常青;赵建海 - 上海铂世光半导体科技有限公司
  • 2021-07-01 - 2022-02-11 - C23C16/458
  • 本发明公开了一种MPCVD生长台的升降装置,包括固定装置、动力装置、调节装置和检测装置,固定装置和动力装置连接,动力装置和调节装置传动连接,调节装置一侧设有若干检测装置,检测装置和调节装置活动连接,固定装置包括框架、工作台和反应室,工作台置于框架上侧,框架和工作台紧固连接,工作台上侧设有反应室,工作台上设有通孔,反应室底侧设有进口,工作台通孔和反应室进口连通,反应室上设有反应腔,调节装置和检测装置置于反应腔内,调节装置上侧设有生长台,生长台和调节装置紧固连接,固定装置还包括底座,底座和框架紧固连接,底座一侧设有动力装置。
  • 一种mpcvd生长升降装置

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