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[实用新型]一种电感耦合等离子体检测微流控芯片-CN02257346.1无效
发明人： -专利权人：
申请日： 2002-09-18 - 公布日： 2003-08-27 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：一种电感耦合等离子体检测微流控芯片，其特征在于该芯片具有电感耦合等离子体检测接口。本实用新型可以与电感耦合等离子体－光谱/质谱仪联用，实现对元素形态的分析检测。
一种电感耦合等离子体检测微流控芯片

[发明专利]一种银精矿中砷、锑、铋元素的检测方法-CN201811310686.9在审
发明人：卞大勇;刘淑香;姚旭;左良;赵海珍;高蕾;张文武;于建华 -专利权人：天津华勘商品检验有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：一种银精矿中砷、锑、鉍元素的检测方法，其步骤为：(1)样品处理；(2)绘制标准曲线溶液配置；(3)电感耦合等离子体发射光谱仪测定；(4)谱线选择；(5)标准曲线绘制和检出限测定；本发明用电感耦合等离子体发射光谱仪检测银精矿中砷、锑、鉍元素，形成一套完善、准确、快速的检测方法，并为日后探索使用电感耦合等离子体发射光谱仪检测银精矿中的其它元素以及与银精矿类似产品的检测打下坚实的基础。
银精矿检测电感耦合等离子体发射光谱仪标准曲线绘制标准曲线溶液耦合等离子体发射光谱仪样品处理检出限铋元素谱线绘制配置探索

[发明专利]电感耦合等离子体处理系统及处理方法-CN201510253317.0有效
发明人：罗伟义;刘骁兵;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2015-05-18 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种电感耦合等离子体的处理系统，其包括射频电源系统，所述射频电源系统包括源射频电源系统和偏置射频电源系统，所述源射频电源系统包括源射频电源和源匹配网络，所述偏置射频电源系统包括偏置射频电源和偏置匹配网络本发明提供的电感耦合等离子体处理系统能够实现射频电源和等离子体之间的阻抗快速准确地匹配。此外，本发明还提供了一种电感耦合等离子体的处理方法。
电感耦合等离子体处理系统方法

[发明专利]电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置及方法-CN200910071869.4有效
发明人：田修波;汪志健;杨士勤 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2009-04-23 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置及方法，它涉及一种表面处理装置和处理方法。本发明为解决现有管筒内表面离子注入处理时因采用电容耦合等离子体使得放电间距大而难以对细管内表面进行处理的问题。方法：一、将真空室内抽真空；二、向真空室内充入气体；三、螺线管内外产生轴向均匀的电感耦合等离子体；四、脉冲负高压施加到管筒上使管筒内形成径向电场；五、关闭脉冲负高压电源和射频电源，完成电感耦合等离子体管筒内表面离子注入本发明具有等离子体源放电均匀的优点，螺线管起到地电极钳制电位的作用，本发明可以对直径更细小的管筒内表面进行离子注入处理。
电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置方法

[发明专利]一种利用电感耦合等离子体发射光谱仪测定钼钛合金中钼含量和钛含量的方法-CN202011099155.7在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;俞晗 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用电感耦合等离子体发射光谱仪测定钼钛合金中钼含量和钛含量的方法，所述方法先将钼钛合金样品加入浓硝酸和氢氟酸的混合溶液，并在90‑110℃下加热，使得所述钼钛合金样品完全溶解，然后加水稀释定容，得到试样溶液；随后利用所述电感耦合等离子体发射光谱仪测定所述试样溶液中的钼含量和钛含量，进而得到所述钼钛合金样品中钼含量和钛含量。本发明所述方法开发出了一种有效的可以溶解钼钛合金的酸液，进而配制成可以用于电感耦合等离子体发射光谱仪的试样溶液，满足了利用电感耦合等离子体发射光谱仪同时测定钼钛合金中钼含量和钛含量的需求。
一种利用电感耦合等离子体发射光谱仪测定钛合金含量方法

[实用新型]一种电感耦合等离子处理设备及电感耦合线圈组件-CN202221848457.4有效
发明人：唐观扬;杨宽;左涛涛;倪图强;刘身健 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电感耦合等离子处理设备及电感耦合线圈组件，属于等离子刻蚀技术领域，为了解决刻蚀工艺过程中基片表面不同区域刻蚀速率不均匀的问题，本实用新型的电感耦合等离子处理设备及电感耦合线圈组件包括在反应腔内产生等离子体的射频线圈；位于射频线圈上方的通入直流电流的直流线圈，以及位于直流线圈和射频线圈之间的屏蔽层，通过设置屏蔽层，避免在等离子体工艺过程中射频线圈在直流线圈中产生感应电流，以保护直流源，减少射频损失。
一种电感耦合等离子处理设备线圈组件

[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN201010525423.7有效
发明人：山泽阳平;齐藤昌司;传宝一树;輿水地盐;山涌纯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-10-27 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法，在电感耦合型的等离子体处理装置中，提高方位角方向乃至径向的等离子体密度分布的均匀性或控制性。在该电感耦合型等离子体蚀刻装置中，设置在腔室(10)的顶部的电介质壁(52)上的RF天线(54)，在天线室(56)内离开电介质窗(52)配置在其上方，具有与来自高频供电部(58)的RF供电线(60)、(68)连接的一次线圈(62)，和在能够通过电磁感应与一次线圈(62)耦合、且比该一次线圈(62)更靠近电介质窗(52)的下表面(与处理空间相对的面)的位置上配置的二次线圈(64)。
等离子体处理装置方法

[发明专利]用于等离子体反应器的远程等离子体与电子束生成系统-CN201680051912.9有效
发明人： R·丁德萨 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供装置的实施例，所述装置具有改良的线圈天线组件，所述改良的线圈天线组件有远程等离子体源与电子束生成系统，可在处理腔室提供增强的等离子体。一个实施例中，一种等离子体处理腔室包括：腔室主体、盖、衬底支撑件、双电感耦合源、以及远程等离子体源，所述盖围住所述腔室主体的内部空间，所述衬底支撑件配置在所述内部空间中，所述双电感耦合源包括通过所述盖耦接所述腔室主体的线圈天线组件，而所述远程等离子体源通过所述盖耦接所述腔室主体。
用于等离子体反应器远程电子束生成系统

[发明专利]电感耦合等离子体处理装置-CN201210119474.9有效
发明人：佐佐木和男;东条利洋 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-04-20 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种电感耦合等离子体处理装置，该电感耦合等离子体处理装置能够对应被处理基板的大型化，并且能够使得处理室内中的等离子体分布的控制性良好。所述装置具备：用于在处理室内的等离子体生成区域产生电感耦合等离子体的高频天线(11a、11b)；以及配置于等离子体生成区域与高频天线之间的金属窗(3)，金属窗(3)被进行第一分割、并且被进行第二分割(3a1
电感耦合等离子体处理装置

[实用新型]一种电感耦合等离子体质谱仪-CN201922500555.3有效
发明人：陈英;龚霞;汪谦;胡蝶;游思南;黄燕丽;江美丽;舒丽丽 -专利权人：湖北洁源检测有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： H01J49/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合等离子体质谱仪，包括操作台，所述操作台的顶端左侧固定连接有电感耦合等离子体质谱仪本体，所述电感耦合等离子体质谱仪本体的顶端固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端固定连接有真空压缩机，所述真空压缩机的底端固定连接有抽气管，所述抽气管的另一端固定连接在电感耦合等离子体质谱仪本体的顶端，所述真空压缩机的左端固定连接有排气管，所述电感耦合等离子体质谱仪本体的右下端插接有数据传输管，所述数据传输管的另一端插接有电脑输出端该电感耦合等离子体质谱仪，稳定性较强，防震效果好，可检测装置是否水品，增加装置测量的精准度。
一种电感耦合等离子体质谱仪

[实用新型]一种电感耦合等离子体质谱仪的进样装置-CN202223308794.7有效
发明人：邢金松;龚佑祥 -专利权人：上海熙华药物研究开发有限公司
申请日： 2022-12-10 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及电感耦合等离子体质谱仪进样技术领域，尤其为一种电感耦合等离子体质谱仪的进样装置，包括电感耦合等离子体质谱仪本体，所述电感耦合等离子体质谱仪本体的顶部一端拐角处安装有超声波雾化器，所述超声波雾化器的排放端口上连接有进料管，所述超声波雾化器的外侧面进料端口上安装有液体流量计，本实用新型通过设计的一种电感耦合等离子体质谱仪的进样装置，能够在进样时通过进料斗上的容量刻度线清楚的观察到样品容量，同时可以设定样品导入超声波雾化器的容量，达到设定容量后水泵自动关闭，从而实现定量进样，有效解决了在向电感耦合等离子体质谱仪进样时需要先测量样品容量再进行进样的问题。
一种电感耦合等离子体质谱仪装置

[发明专利]具有电感耦合放电清洗功能的样品台-CN202111170284.5在审
发明人：汪建;杜寅昌;李成;程厚义;赵巍胜 -专利权人：北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有电感耦合放电清洗功能的样品台，包括样品架，所述样品架下方设有等离子体源机构，所述等离子体源机构包括绝缘壳体、容纳于所述绝缘壳体的电感线圈；所述绝缘壳体具有与样品台外部连通的开口，所述电感线圈的输出引线穿过所述开口并与样品台外部的射频电源连接此外，相对于样品架加负偏压的方案，本发明采用电感线圈激发产生的电感耦合等离子体密度更高，且该等离子体主要聚集在样品上方，对样品清洗效果更佳。
具有电感耦合放电清洗功能样品

[发明专利]用于制造多晶硅的等离子体沉积装置和方法-CN200780033206.2无效
发明人： M·A·阿斯拉米;武韬;C·徳卢卡 -专利权人：硅石技术责任有限公司
申请日： 2007-03-06 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： C23C16/24 文献下载
摘要：用于制造多晶硅的等离子体沉积装置(100)，包括用于沉积所述多晶硅的室，该室具有用于回收未沉积气体的排放系统；位于沉积室内的用于支承具有沉积表面(106)的靶基底(104)的载体(103)，该沉积表面划定了沉积区(105)；位于沉积室内并与该载体(103)隔开的至少一个电感耦合等离子体炬(107)，该至少一个电感耦合等离子体炬(102)产生基本垂直于沉积表面(106)的等离子体火焰，该等离子体火焰划定了用于使至少一种前体气体源反应产生多晶硅的反应区
用于制造多晶等离子体沉积装置方法

[发明专利]电感耦合天线和等离子体处理装置-CN202110179866.3在审
发明人：齐藤均;东条利洋 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供使等离子体密度的均匀性提高的电感耦合天线和等离子体处理装置。一种电感耦合天线，其为矩形框状，在对载置于载置台的载置面的矩形基板进行等离子体处理的处理容器内形成生成所述等离子体的感应电场，并具有与所述载置面相对的相对面，其中，该电感耦合天线具有：平面部，其位于所述相对面且将
电感耦合天线等离子体处理装置

[发明专利]等离子体处理装置-CN201110301545.2有效
发明人：山泽阳平 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种妥善地抑制RF天线内的波长效应并且在圆周方向上和直径方向上容易地实现均匀的等离子体工序的电感耦合型等离子体处理装置。在该电感耦合型等离子体处理装置中，为了生成电感耦合等离子体，在电介质窗(52)上设置的RF天线(54)在直径方向上分割为内侧线圈、中间线圈和外侧线圈(62)。
等离子体处理装置