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[发明专利]混合等离子体源阵列-CN202210560233.1在审
发明人：龙茂林 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种等离子体源阵列。等离子体源阵列包括设置在基板上的多个混合等离子体子源。每个混合子源包括：具有内部区域和外部表面的介电管；感应耦合等离子体源，感应耦合等离子体源用于产生感应耦合等离子体并靠近介电管的外部表面设置；电容耦合等离子体源，电容耦合等离子体源用于产生电容耦合等离子体并设置在介电管的内部区域内还提供了包含等离子体源阵列的等离子体处理设备和使用方法。
混合等离子体阵列

[发明专利]一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法-CN201510389611.4有效
发明人：王波;苏星;张鹏;辛强;王骏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，它属于精密光学零件加工的技术领域。它的步骤一：启动加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬；步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧；步骤三：被加工件的上表面被加工件吸热，微裂纹发生融化修复作用；然后加工电感耦合等离子体炬对火抛光电感耦合等离子体炬作用区进行去除加工。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差条件下部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。
一种抛光辅助电感耦合等离子体加工方法

[发明专利]一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置-CN201510389614.8有效
发明人：王波;苏星;张鹏;李娜;王骏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工装置，本发明属于精密光学零件加工的技术领域。它的加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬都安装在双炬连接组件上；加工电感耦合等离子体炬通入的工作气体为含氟气体，具有去除效果；火抛光电感耦合等离子体炬通入的气体为不含氟气体，无去除效果；使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差，部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。
一种抛光辅助电感耦合等离子体加工装置

[发明专利]一种射频感应耦合等离子体中和器-CN201711446538.5在审
发明人：陈庆川;聂军伟;黄琪;石连天 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种射频感应耦合等离子体中和器。本发明包括用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔、高压绝缘气路装置、射频耦合天线、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极、屏蔽外壳和用于从等离子体放电腔中抽取电子束的阳极，该射频感应耦合等离子体中和器结构一方面可有效屏蔽射频耦合天线和放电等离子体间的容性耦合，降低射频容性耦合效应对等离子体放电腔内壁的溅射，减少放电等离子体中的杂质污染，同时也可有效减少射频感应耦合等离子体中和器陶瓷绝缘件上的污染，提高射频感应耦合等离子体中和器的寿命和稳定性，具有结构简单、
射频感应耦合等离子体中和器等离子体放电腔放电等离子体容性耦合电子束射频耦合射频天线低温等离子体技术阴极陶瓷绝缘件阳极高压绝缘工作稳定屏蔽外壳气路装置有效减少有效屏蔽杂质污染无电极屏蔽溅射内壁束流污染离子抽取洁净容纳

[实用新型]一种射频感应耦合等离子体中和器-CN201721863054.6有效
发明人：陈庆川;聂军伟;黄琪;石连天 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种射频感应耦合等离子体中和器。本实用新型包括用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔、高压绝缘气路装置、射频耦合天线、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极、屏蔽外壳和用于从等离子体放电腔中抽取电子束的阳极，该射频感应耦合等离子体中和器结构一方面可有效屏蔽射频耦合天线和放电等离子体间的容性耦合，降低射频容性耦合效应对等离子体放电腔内壁的溅射，减少放电等离子体中的杂质污染，同时也可有效减少射频感应耦合等离子体中和器陶瓷绝缘件上的污染，提高射频感应耦合等离子体中和器的寿命和稳定性，具有结构简单、
射频感应耦合等离子体中和器等离子体放电腔放电等离子体容性耦合电子束本实用新型射频耦合射频天线低温等离子体技术阴极陶瓷绝缘件阳极高压绝缘工作稳定屏蔽外壳气路装置有效减少有效屏蔽杂质污染无电极屏蔽溅射内壁束流污染离子抽取洁净容纳

[发明专利]结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器-CN200710086254.X无效
发明人：崔大圭 -专利权人：新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-03-09 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
结合多重电感耦合等离子体反应器

[发明专利]感应耦合等离子体装置-CN201010590661.6有效
发明人：彭东阳 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-12-15 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H05H1/16 文献下载
摘要：本发明公开一种感应耦合等离子体装置，主要是为了解决地磁场对ICP等离子体的影响以及如何灵活调节等离子体分布的问题而设计。本发明所述感应耦合等离子体装置至少包括：感应耦合发生装置和等离子体工作室，所述感应耦合发生装置设置在所述等离子体工作室的顶端开口处，在所述感应耦合等离子体装置上设置有一补偿调节装置，所述的补偿调节装置设置在所述感应耦合发生装置的外部或内部，且该补偿调节装置用于补偿地磁场影响且调节等离子体密度分布。本发明能够有效的补偿地磁场对等离子体密度分布的影响，并能够通过调节磁体的磁性强弱和磁场方向来灵活调节等离子体密度分布。
感应耦合等离子体装置

[发明专利]用于电感耦合等离子体源的内部分离法拉第屏蔽-CN201210396411.8有效
发明人： T.米勒;S.张 -专利权人： FEI公司
申请日： 2012-10-18 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于聚焦射束系统的电感耦合等离子体离子源。一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室内的导电屏蔽以便减少到等离子体的电容耦合。内部导电屏蔽被偏置电极或被等离子体被保持在与等离子体源基本上相同的电位。内部屏蔽允许等离子体室的外部上的更多种冷却方法。
用于电感耦合等离子体内部分离法拉第屏蔽

[发明专利]一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置与方法-CN201610984073.8在审
发明人：龚革联;游利兵;李聪隐;方晓东;孙卫东;徐成;徐红云 -专利权人：中国科学院广州地球化学研究所
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置和方法。沿电感耦合等离子体发生装置产生的电感耦合等离子体轴向设有接收电感耦合等离子体的质谱仪，沿电感耦合等离子体发生装置产生的电感耦合等离子体径向设有接收电感耦合等离子体的光纤探头，光纤探头与光纤的一端相连，光纤的另外一端与光栅光谱仪相连由于本发明的光栅光谱仪与等离子质谱仪共享同一个ICP光源，在提高元素测量精度的同时，也减少了成本消耗。本发明的共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置还具有结构紧凑、便于模块化组装等特点。
一种共享电感耦合等离子体光源光谱测定装置方法

[发明专利]石墨烯等离子体激元通信链路-CN201410076481.4有效
发明人： P·阿沃里斯;V·佩列贝诺斯;M·B·斯坦纳;A·瓦尔德斯伽西亚 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2014-03-04 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H04B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨烯等离子体激元通信链路。一种信号传输链路包括第一等离子体激元耦合器和第二等离子体激元耦合器，所述第二等离子体激元耦合器与所述第一等离子体激元耦合器具有间隔以形成间隙。在所述第一和第二等离子体激元耦合器的端部之上以及在所述间隙之中和之上形成绝缘体层。在所述绝缘体层上的所述间隙之上形成等离子体激元导电层以激发等离子体激元，以便在所述第一和第二等离子体激元耦合器之间提供信号传输。
石墨等离子体通信

[发明专利]容性耦合等离子体反应器-CN200810108452.6有效
发明人：魏淳任 -专利权人：新动力等离子体株式会社
申请日： 2008-05-30 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。
耦合等离子体反应器

[发明专利]电感耦合等离子体装置及半导体薄膜设备-CN202210002453.2有效
发明人：余先炜;田才忠;林保璋 -专利权人：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种电感耦合等离子体装置及半导体薄膜设备，该电感耦合等离子体装置包括：等离子体装置本体和隔离盖板，隔离盖板盖设于等离子体装置本体上；隔离盖板包括：隔离盖板本体；凸起结构，设置于隔离盖板本体朝向电感耦合等离子体装置腔室内的内侧面上本发明通过在电感耦合等离子体装置的隔离盖板朝向腔室内侧的一面增加凸起结构，在不改变电感耦合等离子体装置的天线等装置的情况下，改变电感耦合等离子体装置腔室内的电场强度分布，进而通过磁场强度分布的调整来使得腔室内的等离子体径向分布的均匀性
电感耦合等离子体装置半导体薄膜设备

[发明专利]使用含硫工艺气体的含碳硬掩模去除工艺-CN201980044844.7在审
发明人：戴芬;T·王;O·D·简;M-H·基姆;马绍铭;Z·刘 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：在一个示例实施中，工艺可包括允许工艺气体进入等离子体腔室，使用感应耦合的等离子体源从工艺气体在等离子体腔室中生成等离子体，和将含碳硬掩模暴露于等离子体以去除至少一部分的含碳硬掩模。感应耦合的等离子体源可通过接地的静电屏蔽与等离子体腔室分开以减少感应耦合的等离子体源和等离子体之间的电容耦合。
使用工艺气体含碳硬掩模去除

[发明专利]高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置-CN201210461279.4无效
发明人：佐佐木和男;里吉务 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置，高频天线电路能够抑制匹配电路的发热，而且能够提高具备分割天线的感应耦合等离子体处理装置的功率效率。高频天线电路用于在感应耦合等离子体处理装置中、在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该高频天线电路具有：等离子体生成天线，其用于在处理室内生成等离子体；高频电源，其对等离子体生成天线提供高频电力；匹配电路，其存在于高频电源与等离子体生成天线之间；多个分割天线，其构成等离子体生成天线，被分配通过匹配电路之后的高频电力；以及并联谐振电容电路，其被设置成与多个分割天线中的各个分割天线并联。
高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置

[发明专利]多电感耦合等离子体反应器及其方法-CN201010164265.7有效
发明人：许鲁铉;金奎东;南昌祐;朴成民;崔大圭 -专利权人：株式会社新动力等离子体
申请日： 2010-04-09 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：公开了一种多电感耦合等离子体反应器及其方法。在多电感耦合等离子体反应方法中，用于增进待处理衬底中特定部分的蚀刻方法包括：蚀刻待处理衬底中特定部分；和在被蚀刻的特定部分的表面上沉积钝化层，其中重复进行蚀刻和沉积步骤，当存在由中心等离子体源和外围等离子体源形成的等离子体时执行这两个步骤之一根据本发明的多电感耦合等离子体反应器及其方法，由于中心等离子体源和外围等离子体源被分开设置，因此在衬底的整个区域上可以均匀地处理等离子体。另外，可以使用在中心等离子体源和外围等离子体源之间接地的防干扰电极来在等离子体反应器中形成没有电干扰的独立的复等离子体区。另外，由中心等离子体源和外围等离子体源形成的等离子体用于深蚀刻待处理衬底中的特定部分。
电感耦合等离子体反应器及其方法

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