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[发明专利]在感应耦合等离子体处理室内以低偏压产生近衬底补充等离子体密度-CN201780088506.4在审
发明人：谭忠魁;张依婷;符谦;徐晴;吴垠;萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼;亚历克斯·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-10-20 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：衬底定位于电感耦合等离子体处理室的等离子体处理容积空间内的衬底支撑结构上。从第一射频信号发生器向设置在等离子体处理容积空间外部的线圈提供第一射频信号，以产生暴露于衬底的等离子体。第二射频信号在等离子体处理容积空间内的衬底的水平处产生补充等离子体密度，同时在衬底的水平处产生小于约200伏的偏压。
射频信号射频信号发生器等离子体处理容积空间衬底等离子体衬底支撑水平处电感耦合等离子体彼此独立衬底定位电极暴露外部补充

[发明专利]元件表面损伤修复装置及元件表面损伤修复方法-CN202210378002.9在审
发明人：邓辉;李如林 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种元件表面损伤修复装置及元件表面损伤修复方法，本申请的元件表面损伤修复装置包括石英炬管、气体管道、电火花发生器、电感线圈、电源模块和工作台。电火花发生器与石英炬管之间留有空隙；电感线圈缠绕设置在石英炬管外表面的下端；电源模块与电感线圈电连接；工作台位于石英炬管设置有电感线圈的一侧，并与石英炬管之间设置有空隙。本申请通过将电感耦合等离子体投射至待加工元件表面，在表面张力与等离子体气流的作用下原子团簇会发生迁移和重新排列，使得损伤区域的裂纹闭合，从而完成待加工元件的表面修复，并且不会引入新的损伤；此外，由于热源为电感耦合等离子体
元件表面损伤修复装置方法

[发明专利]一种同时测定土壤中硒和镉的方法-CN201810296494.0有效
发明人：魏益华;张金艳;邱素艳;涂田华;熊艳;陈庆隆;戴廷灿 -专利权人：江西省农业科学院农产品质量安全与标准研究所
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明属于环境分析检测技术领域，公开了一种利用动态反应池‑电感耦合等离子体质谱法同时测定土壤中硒和镉的方法，具体包括：(1)对待测样品进行消解处理；(2)用动态反应池‑电感耦合等离子体质谱法检测消解后的溶液本发明通过消解处理待测样品，采用动态反应池‑电感耦合等离子体质谱法对土壤中硒和镉同时测定，通过优化动态反应池的反应气流速与RPq值，有效降低了干扰和改善了检出限，提高了检测的准确度和灵敏度。
一种同时测定土壤方法

[发明专利]蚀刻方法-CN201310277467.6在审
发明人：斯蒂芬·R·伯吉斯;亚历克斯·西奥多西尓 -专利权人： SPTS科技有限公司
申请日： 2013-07-03 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种在电感耦合等离子体腔内的台板上蚀刻连续的基片的方法，其中，蚀刻过程在该腔内产生碳质沉积物，该方法包括：(a)中断基片的蚀刻加工；(b)在该腔内运行氧气等离子体或含氧等离子体，并去除气态副产物；以及(c)重新开始基片的蚀刻加工，其特征在于，该方法进一步包括步骤：(d)在步骤(b)之后，在对台板施加偏压的状态下在该腔中运行氩气等离子体。
蚀刻方法

[实用新型]一种电感耦合型等离子体处理装置-CN201820009131.X有效
发明人：钟荣福 -专利权人：南昌航辉科技有限公司
申请日： 2018-01-02 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合型等离子体处理装置，其结构包括控制面板、箱壳、支撑底座、处理主箱、保护外壳、连接环、贮存盒、桁架、放置箱、等离子点火装置、防护罩壳、出风管、出粉管、安装板、连接板，控制面板嵌入安装于箱壳上，本实用新型一种电感耦合型等离子体处理装置，结构上设有等离子点火装置，在使用该处理装置时，通过处理主箱的作用，使得出风管与出粉管开始工作，从而传输到进风管与进粉管的两次进粉，在通过阴极棒与阳极环的作用下与感应线圈进行配合，送料装置为其提高所需材料，从而在混合反应室中形成一个火炬状的稳定的等离子体焰矩，通过这样的感应线圈与磁极的配合下，使等离子处理更加稳定与快速。
等离子体处理装置电感耦合型等离子点火装置本实用新型感应线圈控制面板出粉管箱壳主箱磁极等离子处理等离子体焰混合反应室处理装置防护罩壳嵌入安装送料装置支撑底座桁架安装板出风管放置箱进粉管进风管连接板连接环阳极环阴极棒贮存盒风管配合火炬传输

[发明专利]等离子体改性氟化碳正极材料及制备方法和用途-CN202011623831.6有效
发明人：周海平;陈国涛;吴孟强;张庶;杨俭 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C01B32/10 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体改性氟化碳正极材料及其制备方法和用途，在真空腔体中放入氟化碳粉末，通入氮气、氢气至少一种，使用电感耦合等离子体发生装置产生氮、氢等离子体对氟化碳进行改性，得到改性后的氟化碳。本发明使用等离子体去除了氟化碳材料的部分氟原子，增强了材料的导电性，制备的等离子体改性氟化碳材料正极应用在锂氟化碳一次电池上，电池的容量及倍率性能较原材料有所提高。本发明工艺简单，易于实现大批量等离子体改性氟化碳材料的制备，有利于工程应用。
等离子体改性氟化正极材料制备方法用途

[实用新型]一种分离提纯制纳米级金属导线的装置-CN202121806542.X有效
发明人：龙宽伟;龙宽志 -专利权人：龙宽伟
申请日： 2021-08-04 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G01N1/40 文献下载
摘要：包括电感耦合等离子体质谱仪、限位电场发生装置、金属筒以及接收板；所述金属筒为两端开口的筒体结构，所述金属筒包括入口端和出口端，所述金属筒内侧壁上均匀设有多个正电荷，所述接收板设置在所述出口端外，所述限位电场发生装置产生的限位电场位于所述电感耦合等离子体质谱仪和所述金属筒之间，所述限位电场可将所述电感耦合等离子体质谱仪中的离子气流引出，并使得所述离子气流从所述金属筒的入口端进入所述金属筒，沿所述金属筒的轴线朝出口端移动，最终由所述接收板接收。
一种分离提纯纳米金属导线装置

[发明专利]用于元素分析的稳定细胞采集-CN201980039049.9在审
发明人：弗拉迪米尔·巴拉诺夫;亚历山大·洛博达;迈克尔·沙利文 -专利权人：富鲁达加拿大公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： G01N33/50 文献下载
摘要：分析注入到电感耦合等离子体源中的样品可以通过在注入之前与样品可混合的稳定化溶液和加热的注入器中的一种或多种来改进。这些改进可能在元素分析诸如电感耦合等离子体质谱或电感耦合等离子体光发射光谱中特别有用。
用于元素分析稳定细胞采集

[发明专利]电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置-CN200610112658.7有效
发明人：宋巧丽;南建辉 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2006-08-28 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： H01F5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电感耦合线圈及应用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置，包括内部线圈和外部线圈，内部线圈与外部线圈相互独立且同轴线布置；内部线圈由多个结构相同的内部独立分支嵌套构成，多个内部独立分支相对轴线中心对称布置电感耦合线圈设于电感耦合等离子体装置的反应室上部，并与射频电源连接。可以使工艺气体在反应腔室的晶片上方分布均匀，使晶片表面发生的化学反应速度差异较小，刻蚀速率均匀，提高刻蚀晶片的质量。
电感耦合线圈等离子体装置

[发明专利]用于制造高纯硅的等离子体沉积装置和方法-CN201180016641.0无效
发明人： M.阿斯拉米;武韬;C.德卢卡;P.汉森;E.丹尼洛夫 -专利权人：美国太阳能技术有限公司
申请日： 2011-01-31 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： C01B33/033 文献下载
摘要：本发明提供用于制造高纯硅的等离子体沉积装置，其包括用于沉积所述高纯硅的腔室，所述腔室包括基本限定模腔的上端的顶部；具有上端和下端的一个或多个侧面，所述顶部基本密封连接所述一个或多个侧面的上端；基本限定所述腔室的下端的基底，所述基底基本密封连接所述一个或多个侧面的下端；和布置在所述顶部的至少一个感应耦合的等离子体焰炬，在基本垂直的位置取向的所述至少一个电感耦合的等离子体焰炬产生自所述顶部向下朝向所述基底的等离子体火焰，所述等离子体火焰限定使一种或多种反应物反应以产生高纯硅的反应区
用于制造高纯等离子体沉积装置方法

[发明专利]石墨烯等离子体激元通信链路-CN201410076481.4有效
发明人： P·阿沃里斯;V·佩列贝诺斯;M·B·斯坦纳;A·瓦尔德斯伽西亚 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2014-03-04 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H04B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨烯等离子体激元通信链路。一种信号传输链路包括第一等离子体激元耦合器和第二等离子体激元耦合器，所述第二等离子体激元耦合器与所述第一等离子体激元耦合器具有间隔以形成间隙。在所述第一和第二等离子体激元耦合器的端部之上以及在所述间隙之中和之上形成绝缘体层。在所述绝缘体层上的所述间隙之上形成等离子体激元导电层以激发等离子体激元，以便在所述第一和第二等离子体激元耦合器之间提供信号传输。
石墨等离子体通信

[发明专利]一种二维原子晶体分子超晶格的制备方法-CN201911163336.9有效
发明人：肖少庆;张露芳;南海燕;顾晓峰 -专利权人：江南大学
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： C30B29/68 文献下载
摘要：所述制备方法包括以下步骤：将过渡金属硫族化合物薄层样品水平放置于由平面式螺旋电感天线产生的非平行板式电容耦合等离子体的等离子体腔室中，或垂直放置于由两平行板电极产生的电容耦合等离子体的等离子体腔室中，在低压环境下通入氧气，打开射频电源产生温和氧气等离子体，对过渡金属硫族化合物薄层样品进行等离子体插层处理，该方法在常温下调控过渡金属硫族化合物的插层程度来构造二维原子晶体分子超晶格，反应条件温和，操作简单，可控性强，环保无污染
一种二维原子晶体分子晶格制备方法

[发明专利]氧化铝的成膜方法及溅射装置-CN201410014269.5有效
发明人：尾崎一人 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-01-13 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明的氧化铝的成膜方法，包括第一等离子体发生步骤，使导入有溅射气体和反应性气体的真空容器内发生等离子体；第二等离子体发生步骤，对铝靶外加溅射电压、通过静磁场发生磁控等离子体；以及，控制步骤，控制反应性气体向真空容器内的导入量并且，在第二等离子体发生步骤中，对溅射电压进行恒电压控制；在控制步骤中，控制第二等离子体发生步骤中反应性气体的导入量，以使溅射电流值成为目标电流值。第一等离子体发生步骤，是使用由圈数低于一圈的导体构成的高频天线，至少使第二等离子体发生步骤中发生高频电感耦合等离子体的步骤。
氧化铝方法溅射装置

[发明专利]用于产生均匀的处理速率的方法和设备-CN200810178065.X有效
发明人： A·M·霍瓦尔德;A·库蒂;M·H·维尔科克森;A·D·拜利三世 -专利权人：兰姆研究有限公司
申请日： 2003-07-17 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及用于产生均匀的处理速率的方法和设备，其中一种用于在等离子体处理设备的处理腔室的腔室壁内的等离子体产生区域中产生射频场分布的天线装置，其包括：射频电感天线，射频电源连接到其上，以供应射频电流来产生延伸进入等离子体产生区域内的第一射频场；及无源天线，无源天线电感性耦合到射频电感天线并且配置为产生第二射频场来修改第一射频场，使得在等离子体产生区域的射频场分布与没有无源天线时相比增加了处理设备的处理均匀性，其中，无源天线提供电传导路径，感应电流可以在该路径上流动
用于产生均匀处理速率方法设备

[实用新型]一种电感耦合等离子体发射光谱仪进样系统-CN202220042405.1有效
发明人：崔海峰;衣涛;宋鉴达 -专利权人：延边朝鲜族自治州产品质量检验所
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合等离子体发射光谱仪进样系统，包括安装在电感耦合等离子体发射光谱仪一侧的安装板，所述安装板的正面通过螺栓固定连接有泵体，所述泵体的正面固定连接有限位盘，本实用新型中，通过设置预处理结构方便使用者对处理管进行快速拆卸和安装，通过设置过滤腔、初级粗滤网和二级滤网的配合，可对进入进样软管内待检测污水样本中的大颗粒杂质进行预先过滤处理，避免大颗粒杂质对进样软管造成堵塞，利于进样软管的正常进样操作，提高电感耦合等离子体发射光谱仪对污水样本的检测效率
一种电感耦合等离子体发射光谱仪系统