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[发明专利]一种电化学添加剂反应控制装置-CN202310345570.3在审
发明人：马丁·施莱 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C25D21/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学添加剂反应控制装置，该装置包括用于对生产板进行电镀处理的电镀槽和可照射至所述生产板上的光学组件；所述电镀槽盛有用于与所述生产板发生电镀反应的电镀液和用于促进电镀反应的电化学添加剂；所述光学组件用于发射光线，并将光线照射至所述生产板上以使光线与所述生产板周围的电化学添加剂进行相应的反应，从而调节所述电化学添加剂的有机物活性。本发明通过光学组件发射的光与电化学添加剂发生相应的化学反应，以对电化学添加剂的有机物活性进行调节，从而通过抑制或加速电化学电镀添加剂的方式获得对微小的电镀附着区域更好的厚度变化控制，如此便可以提高对于生产板的电镀处理精度
一种电化学添加剂反应控制装置

[发明专利]在一电镀处理器中于电化学电镀后减少或消除数个沉积物的方法-CN202010576751.3有效
发明人：艾里克·J·伯格曼;斯图尔特·克兰;特里西亚·A·扬布尔;蒂莫西·G·斯托特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：数种在电化学电镀期间减少半导体电化学电镀设备中或其一表面的数个不溶解沉积物的方法及设备，包括：从一电镀液移除电化学电镀设备或其一表面，其中残留电镀液系设置于电化学电镀设备或其一表面上，及其中残留电镀液系具有一第一酸碱度；接触残留电镀液于一清洗剂，以形成一清洗液，清洗剂具有一第二酸碱度，第二酸碱度类似于第一酸碱度；以及从电化学电镀设备或其一表面移除清洗液。
电镀处理器电化学减少消除沉积物方法

[实用新型]环保电镀拖缸板-CN202123299930.6有效
发明人：吴敬丰 -专利权人：江西鑫懋电子科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种环保电镀拖缸板，包括：基体层；导电化学有机膜，其涂覆在所述基体层的前、后两面，所述导电化学有机膜的剥离强度为0.5磅/英寸至5.0磅/英寸；电镀铜层，其电镀在所述导电化学有机膜上。本实用新型的环保电镀拖缸板通过在所述基体层上设置导电化学有机膜，使得电镀铜层可以随着所述导电化学有机膜的厚度剥离，使得基体层重复利用，对环境更加友好。
环保电镀拖缸板

[发明专利]一种电化学添加剂反应控制装置及方法-CN202210381414.8在审
发明人：马丁·施莱 -专利权人：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C25D21/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学添加剂反应控制装置及方法，该装置包括用于对生产板进行电镀处理的电镀槽和可照射至所述生产板上的光学组件；所述电镀槽盛有用于与所述生产板发生电镀反应的电镀液和用于促进电镀反应的电化学添加剂；所述光学组件用于对所述电化学添加剂的有机物活性进行控制。本发明通过光学组件实现对电镀过程中的有机物活性进行控制，通过电化学添加剂加速或抑制电化学过程，进而实现对高密度电镀附着区域更好的厚度变化控制如此便可以提高对于生产板的电镀处理性能。
一种电化学添加剂反应控制装置方法

[发明专利]一种电絮凝/电化学氧化耦合工艺处理电镀废水的方法-CN202010774747.8有效
发明人：王同华;宋成文;李琳;潘宗林;石中砚;冯国卿 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C02F9/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种电絮凝/电化学氧化耦合工艺处理电镀废水的方法，属于电镀废水处理技术领域。一种电絮凝/电化学氧化耦合工艺处理电镀废水的方法，所述方法包括将待处理电镀废水依次进行电絮凝处理和电化学氧化处理的步骤，所述电絮凝处理于电絮凝处理单元中进行，具体为：将待处理电镀废水置于容器中，将煤基炭膜组件和阳极连通电源，同时向待处理电镀废水中通入含氧气体，电絮凝处理；所述电化学氧化处理于电化学氧化处理单元中进行，具体为：将煤基炭膜组件和阴极连通电源，使经电絮凝处理的电镀废水流经容器，进行电化学氧化处理。本发明处理后的电镀废水，各项水质指标符合《电镀污染物排放标准(GB21900‑2008)》中的排放限值。
一种絮凝电化学氧化耦合工艺处理电镀废水方法

[发明专利]多用途电化学池装置及电镀和分析方法-CN201410193474.2在审
发明人：沈彩;赵冲冲;韩伟强 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2014-05-08 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多用途电化学池装置及电镀和分析方法，将工作电极作为样品并水平载放在水平面上，通过设计电化学池的构造，使得电镀过程中电镀的面积大小可以精确控制，通过设计可移动平台，可以快速更换样品，提高效率,通过隔绝使得该装置适合对一些特殊基底进行电化学沉积和电化学分析,还可以在防止电解液挥发的情况下在气氛保护下对样品进行电化学分析。
多用途电化学装置电镀分析方法

[发明专利]一种电化学抛光/电镀装置及方法-CN201210292690.3有效
发明人：王坚;金一诺;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学抛光/电镀装置，包括一夹具、一喷嘴、一电源、一切换电路及一运动控制器。本发明通过使用具有外电极及内电极的夹具进行电化学抛光/电镀，能够提高抛光/电镀速率，并且能够消除抛光/电镀工艺中晶圆边缘金属铜聚集现象，提高抛光/电镀工艺中晶圆边缘均匀性。本发明还公开了一种电化学抛光/电镀方法。
一种电化学抛光电镀装置方法

[实用新型]一种磁场超声波复合电化学沉积镀膜装置-CN201620534578.X有效
发明人：许建平;陈晶;杨闯 -专利权人：黑龙江工程学院
申请日： 2016-06-03 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：一种磁场超声波复合电化学沉积镀膜装置，它涉及一种镀膜装置，具体涉及一种磁场超声波复合电化学沉积镀膜装置。本实用新型为了解决纳米复合电化学沉积镀膜工艺中的纳米粒子分散性差的问题。本实用新型包括超声波发生器、电镀电源、磁场、阳极、电镀槽、换能器和调幅杆，阳极和工件并排设置在电镀槽内，电镀槽内填充电镀液，阳极通过线路与电镀电源的正极连接，工件通过线路与电镀电源的负极连接，所述磁场设置在电镀槽的外侧壁上属于表面工程、功能材料制备及电化学沉积镀膜领域。
一种磁场超声波复合电化学沉积镀膜装置

[发明专利]一种电化学用可回收电解液的电镀装置-CN202210384655.8在审
发明人：邓冬冬 -专利权人：邓冬冬
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明涉及电化学领域，尤其涉及一种电化学用可回收电解液的电镀装置。一种电化学用可回收电解液的电镀装置，包括有带导向槽电镀框、伸缩驱动部件、上下活动支撑部件、收放线部件等；带导向槽电镀框顶部设有伸缩驱动部件，带导向槽电镀框中部设有上下活动支撑部件，带导向槽电镀框一侧设有收放线部件本发明提供了一种电化学用可回收电解液的电镀装置，通过设有伸缩驱动部件、上下活动支撑部件和电镀液收集部件等部件，通过利用待镀工件进行电镀的时间，对前一个完成了电镀的工序的待镀工件夹持架进行静置安放，达到有序地将待镀工件夹持架表面附着的电解液回收
一种电化学可回收电解液电镀装置

[发明专利]用于制作印刷电路板上电化学传感器的方法,-CN98122755.4无效
发明人：徐添财;张景裕;王纪文 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 1998-12-03 - 公布日： 2000-06-07 - 主分类号： H05K3/02 文献下载
摘要：透露电化学传感器之新制法。先制作有多个电化学传感器之PCB,每个传感器皆至少有两个由高反应性材料制成之电极。电化学传感器之全部电极皆以并联方式电连接于一个电镀电极。电镀之后,使电化学传感器与PCB分离,并清除电极之电连接接点。从而制成以低反应性层保护之电化学传感器。它们适合电化学应用,例如生物传感器、可随意使用之试片、血糖试片等。
用于制作印刷电路板电化学传感器方法

[发明专利]使用PCVD着色的电化学沉积产品制作工艺-CN201911395778.6在审
发明人：马晓明 -专利权人：惠州建邦精密塑胶有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明公开了使用PCVD着色的电化学沉积产品制作工艺，在塑胶基材上电化学沉积金属镀层形成电化学沉积原件，而后在电化学沉积原件上进行PCVD着色，获得PCVD着色的电化学沉积产品，从而增强湿法电镀金属层与喷漆膜层的结合力，从而将PCVD着色技术与电化学沉积原件相结合，提高PCVD着色产品的功能性，同时完整保留了电化学沉积层的金属外观以及冷触感，适合作为高端车型内饰。
使用 pcvd 着色电化学沉积产品制作工艺

[发明专利]快速评估微孔填充用电镀配方性能的装置和方法-CN201410006927.6有效
发明人：孙耀峰;高铭徽;丘树坚;高敏 -专利权人：香港应用科技研究院有限公司
申请日： 2014-01-07 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种电化学分析装置和一种用于评估微孔填充用电解液电镀配方性能的方法。电化学分析装置包括：电力产生装置、电输出信号测量装置、电化学测量装置和运动发生器。本发明的电化学测量装置包括一支撑结构、一空腔、一腔电极和一表面电极。在电镀期间，测量腔电极和表面电极的电输出信号，用于计算填充性能值。本发明提供了一种准确、快速和成本有效的方法，用于评估电镀配方的性能，以选择最高填充性能值的电镀配方用于实际微孔填充过程。
快速评估微孔填充用电配方性能装置方法

[发明专利]一种用于同步去除电镀废水中总氮的电化学反应装置及方法-CN201911336075.6有效
发明人：冒冉;孙拓;朱海洋;赵旭 -专利权人：中国科学院生态环境研究中心
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本发明提出一种同步去除电镀废水中总氮的电化学反应装置及方法，属于电化学技术领域。该电化学反应装置包括反应器；至少一个阴极板，设在反应器内；至少一个阳极板，设在反应器内；阴极板和阳极板与外接直流电源连接；根据待处理电镀废水中氨氮、有机氮的浓度和阳极氧化反应速率，硝酸盐氮的浓度和阴极还原反应速率的高低本发明提出的同步去除电镀废水中总氮的电化学反应装置主要用于电镀废水领域，总氮去除率可达99％，节能省时，且不受电镀废水浓度、水质波动及重金属毒害、盐分高等影响。
一种用于同步去除电镀水中电化学反应装置方法

[发明专利]电化学电镀设备与制程及制造半导体元件的方法-CN202210383708.4在审
发明人：侯国隆;林明贤;吴宗晟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：一种电化学电镀设备与制程及制造半导体元件的方法，用于在晶圆上沉积导电材料的电化学电镀设备包括槽室。电镀液自槽室的底部提供至槽室中。多个开口穿过槽室的侧壁。流量调节器与多个开口中的每一者一起布置，配置以调节经由多个开口中的每一者流出的电镀液的溢流量。电化学电镀设备进一步包含控制器，以控制流量调节器，以使得经由多个开口流出的电镀液的溢流量彼此实质上相等。
电化学电镀设备制造半导体元件方法

[发明专利]电化学方法及其装置-CN201210519147.2无效
发明人：郑文锋;许吉昌;游辉鑫;陈昆民;林建利;林建中 -专利权人：先丰通讯股份有限公司;辛耘企业股份有限公司
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： C25D5/02 文献下载
摘要：本发明所述的电化学方法及其装置于被加工对象表面进行电镀、电抛或电抛等电化学加工，尤其是应用于大尺寸的被加工对象时，不需要大电流，并可利用连续批次性完成，亦兼具有效节省人力、空间与时间，以及加工均匀性佳等优点及功效；本发明的电化学方法主要利用电镀槽模组中容置有电极板以及电解液，利用电镀槽模组与被加工对象间形成相对移动，让被加工对象与电解液接触而产生电解反应，对被加工对象的表面进行电化学加工。
电化学方法及其装置

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