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- [发明专利]质量控制装置及其控制方法-CN201010208498.2无效
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杉原史郎;藤井彻;园峰男
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欧姆龙株式会社
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2005-04-30
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2010-11-24
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G05B19/418
- 所述质量控制装置控制设置在制造过程中的控制目标设备，以便制造预定质量的产品，所述装置包括：存储模块，收集和存储设定成所述控制目标设备的目标值的控制值的设定值，控制数据，以及由中间特性检查器测量的中间产品的中间特性数据；中间特性推定模块，当控制值的设定值变更时，推定中间特性数据的数据分布中的变动；次品数推定模块，基于推定的中间特性数据的数据分布中的变动和中间特性规格界限，推定次品的数量；变更量确定模块，确定用于所述控制值的设定值的变更量，以使由所述次品数推定模块推定的次品的数量最小；以及控制变更模块，基于确定的变更量，变更所述控制目标设备的控制值的设定值。
- 质量控制装置及其方法
- [发明专利]曝光装置及物品制造方法-CN202010556563.4在审
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漆原宏亮
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佳能株式会社
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2020-06-17
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2020-12-18
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G03F7/20
- 曝光装置具有：投影光学系统，将掩模的图案投影到基板；供给部，将折射率互不相同的多种气体以预先设定的混合率即设定混合比来混合而得的混合气体供给到投影光学系统的内部的光学元件间的空间；控制部，通过控制设定混合比来对投影光学系统的成像特性进行校正并对基板进行曝光控制部获取表示供给部以固定的混合比供给混合气体时的成像特性的演变的响应特性，控制部在将设定混合比设定为目标混合比并对基板进行曝光时，在成像特性转变为稳定状态之前的过渡期间中，将设定混合比设定为基于响应特性对目标混合比进行校正而得的值并对基板进行曝光
- 曝光装置物品制造方法
- [发明专利]用于热处理单元的校正方法-CN201610320253.6有效
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S·穆热尔;D·马斯兰
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SOITEC公司
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2016-05-13
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2021-07-06
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H01L21/324
- 用于确定温度设定点修正值的校正方法，该修正值将应用到具有L个衬底位置的热处理单元的N个加热区中的每个的额定温度设定点，热处理单元和额定设定点限定了旨在建立衬底的目标特性的方法。该校正方法的特征在于，其包括以下步骤：建立敏感度模型，其将L个位置的M个代表性位置中的每个处的衬底特性变化联系到应用在N个加热区中的每个的温度设定点变化，这些变化分别反映相对于目标特性的差值以及相对于额定设定点的差值；基于额定设定点在热处理单元中执行工艺；至少在单元的每个加热区的代表性测量位置测量衬底特性，以提供M个测量值；根据敏感度模型、测量值以及目标衬底特性来确定温度设定点修正值。
- 用于热处理单元校正方法
- [发明专利]车辆的控制装置-CN202210428402.6在审
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水上树;熊谷国宪;山中聪;星屋一美
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丰田自动车株式会社
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2022-04-22
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2022-11-11
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B60K26/02
- 车辆的控制装置推定加速器操作时的驾驶员的脚踝负荷，在脚踝负荷小的情况下，设定标准的第1驱动力特性，在脚踝负荷大的情况下，设定目标驱动力比第1驱动力特性小而能够减轻脚踝负荷的第2驱动力特性，基于目标驱动力来对车辆的驱动力进行控制，在该控制装置中，与设定了第1驱动力特性的情况下的目标驱动力相比，减小设定了第2驱动力特性的情况下的目标驱动力，减少设定了第1驱动力特性的情况下的与踏力对应地产生的车辆加速度相对于该踏力的比率和设定了第2驱动力特性的情况下的与踏力对应地产生的车辆加速度相对于该踏力的比率的差异。
- 车辆控制装置
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