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[发明专利]热蒸发镀膜设备的热蒸发源-CN201210544335.0有效
发明人：张撷秋;肖旭东;陈旺寿;宋建军;刘壮;顾光一;杨春雷 -专利权人：深圳先进技术研究院;香港中文大学
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种热蒸发镀膜设备的热蒸发源，包括用于沉积薄膜的衬底、用于装载蒸发材料的坩埚，及用于加热所述坩埚的加热组件；所述坩埚上设有多个与所述衬底相对的喷嘴，所述多个喷嘴中的每两个相邻喷嘴之间的距离不全相等。采用非均匀分布的喷嘴排列方式，改变了每个喷嘴喷射到衬底平面上的位置，而衬底上的总的喷射材料是各个喷嘴喷射材料的叠加，从而改善蒸发镀膜的均匀性。
蒸发镀膜设备

[发明专利]一种原位形貌和光学性能监控蒸发源及真空沉积设备-CN201410070043.7有效
发明人：迟力峰;王文冲 -专利权人：苏州大学
申请日： 2014-02-27 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种原位形貌和光学性能监控蒸发源，它包括真空法兰、支撑于所述真空法兰任一侧面上的热屏蔽组件、嵌设于所述热屏蔽组件远离真空法兰一端的加热组件、内置于所述加热组件内的材料容器、安装于所述材料容器附近用于测量其温度的温度测量组件、分别与所述加热组件和温度测量组件相电连接且安装于真空法兰上的真空电连接器、与所述真空电连接器相连接的控制电源，所述的蒸发源还包括安装于热屏蔽组件内的显微镜，所述的真空法兰上设有与显微镜位置相对的观察窗口通过在热屏蔽组件内设置显微镜并且真空法兰上设有与显微镜位置相对的观察窗口，能够在沉积蒸发材料的同时实时监控沉积材料在衬底表面形貌和光学性能。
一种原位形貌光学性能监控蒸发真空沉积设备

[发明专利]聚对苯二亚甲基或聚取代的对苯二亚甲基薄层的沉积方法和装置-CN200980120900.7有效
发明人：马库斯·格斯多夫;巴斯卡·P·戈皮;尼科·迈耶 -专利权人：艾克斯特朗股份公司
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： B05D7/24 文献下载
摘要：本发明涉及用于沉积一层或多层聚对苯二亚甲基薄层的装置和方法，其包括用于蒸发固态或液态起始材料的加热蒸发器(1)，在所述蒸发器(1)中连接了载气用的载气供应管(11)，通过该载气供应管(11)将蒸发的起始材料、特别是蒸发的聚合物的载气运送至下游的热解室(2)，在该热解室(2)中起始材料发生分解，所述装置还包括分解室(2)下游的沉积室(8)，所述沉积室(8)包括进气口(3)、基座(4)和出气口(5)，从载气运送的分解产物由此为了可以沉积大面积的、薄的并特别是层厚均匀的聚合物层。
苯二亚甲基取代薄层沉积方法装置

[发明专利]一种具有微孔膜蒸发源的真空沉积装置-CN202210796240.1在审
发明人：李宰卿 -专利权人：扬州韩思半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有微孔膜蒸发源的真空沉积装置，包括蒸发源、供应单元、源存储单元和外壳，本发明涉及真空沉积技术领域。该具有微孔膜蒸发源的真空沉积装置，通过汽化的汽化源喷射的末端会形成热唇，从而有效防止由于汽化源的冷凝而引起的堵塞，同时能防止由于汽化源凝固而形成的粉末状落到基板上，具有均匀真空沉积到基板的效果，通过调节微孔膜中形成的气孔大小来控制汽化源的扩散速度，并且微孔膜形成的气孔只能通过均匀粒子的汽化源，因此能更有效的均匀真空沉积到基板上，多个直径不同的多数的非导电容器以多段通过结构结合到导电坩埚上，从而延长了汽化源的扩散路径，因此具有均匀真空沉积到基板的效果
一种具有微孔蒸发真空沉积装置

[发明专利]一种基于磁控溅射的非常规折射率混合薄膜制备方法-CN201911147803.9有效
发明人：陆丹枫;唐乾隆;査家明;李斯成;汶韬 -专利权人：江苏北方湖光光电有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明中非常规折射率混合材料使用脉冲直流磁控溅射沉积，具体为使用阴极共同溅射钽、硅靶材，在同一腔室中利用射频离子源离化氧气，使其共同在基底表面反应成膜。因磁控溅射技术制备的薄膜较热蒸发而言具有更加致密的结构，因此其耐久性与稳定性优于热蒸发沉积的膜层。
一种基于磁控溅射常规折射率混合薄膜制备方法

[发明专利]宽波段太阳能电池的制备方法-CN201410605235.3在审
发明人：卢晓宇 -专利权人：西安昕罗新能源科技有限公司
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：宽波段太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：(1)在衬底上对透明导电氧化物进行热蒸发，制得透明导电膜；(2)采用射频溅射方法在多晶硅薄片上沉积p型层和n型层；(3)采用共蒸发法，在p型层和n型层上沉积吸收层；(4)用真空热蒸发的方法制备上下表面金属栅线，完成器件制备。
波段太阳能电池制备方法

[发明专利]制造图案化气相沉积膜的方法-CN200810003314.1无效
发明人：河村幸则;寺本亮平;川口刚司 -专利权人：富士电机控股株式会社
申请日： 2008-01-16 - 公布日： 2008-07-23 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：一种在不使用难以实现高分辨率的金属掩模或昂贵的激光扫描设备的情况下制造具有高分辨率图案的气相沉积膜的方法。图案化气相沉积膜通过一种方法来制造，该方法包括以下步骤：制备包括衬底、多个加热元件以及形成于多个加热元件上的沉积材料层的沉积面板，该沉积材料层形成最外面的表面；布置沉积面板和器件衬底使得沉积材料层面向器件衬底；以及使多个加热元件中的至少某些生成热，选择地蒸发设置在已生成热的加热元件上的沉积材料层，在器件衬底的表面上气相沉积以形成气相沉积膜。
制造图案化气相沉积方法

[发明专利]一种环路热管用蒸发器的一体化制备方法-CN202211007100.8在审
发明人：杨坤;王昊;石英;荆鹏 -专利权人：西北有色金属研究院
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B22F7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种环路热管用蒸发器的一体化制备方法，包括以下步骤：一、将羰基镍粉进行冷等静压成型；二、将多孔毛细芯压坯进行外形加工；三、将多孔毛细芯压坯在氢气气氛下进行烧结；四、以金属粉末为原料在多孔毛细芯表面原位沉积致密外壳，然后按照蒸发器的特征尺寸再次进行加工后，得到环路热管用蒸发器。本发明采用冷等静压成型获得多孔毛细芯压坯，采用原位沉积在多孔毛细芯表面原位沉积致密外壳，沉积层与多孔毛细芯表面形成了冶金结合，获得了具有小孔径、高孔隙率的多孔毛细芯，实现了多孔毛细芯渗透阻力和毛细力之间的平衡，消除了现有环路热管用多孔毛细芯与蒸发器壳体之间的额外热阻，有效提高了环路热管用蒸发器的换热效率。
一种环路管用蒸发器一体化制备方法

[实用新型]具有热氨冲霜回路的冷库氨制冷系统-CN201721589309.4有效
发明人：廉丽娟 -专利权人：宁夏马莲商贸有限责任公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： F25B15/04 文献下载
摘要：一种具有热氨冲霜回路的冷库氨制冷系统，包括高压储氨罐、节流阀、低压循环桶、液氨泵、蒸发器、制冷压缩机、冷凝器、放油装置、热氨冲霜回路；本实用新型设置的放油装置能有效排出低压循环桶内沉积的油，有效避免了油进入蒸发器而影响氨制冷设备的制冷性能；热氨冲霜回路可配合放油装置除去少量进入蒸发器的油，进一步提高了蒸发器的传热性能，且热氨冲霜回路还能有效对蒸发器盘管外壁冲霜，进而提高提高蒸发器的传热效率，提高设备制冷性能；本装置通过放油装置和热氨冲霜回路分别从内、外同时消除影响蒸发器制冷性能的影响因素，与单纯的利用放油装置或热氨冲霜回路相比，设备的制冷效果以及制冷稳定性更好。
冲霜热氨放油装置蒸发器制冷性能氨制冷系统低压循环桶冷库本实用新型影响蒸发器蒸发器盘管制冷压缩机传热效率传热性能影响因素制冷效果氨制冷储氨罐节流阀冷凝器液氨泵沉积排出外壁制冷配合

[发明专利]一种金属有机化学源液体的蒸发输运装置-CN201810678888.2有效
发明人：陈一民;姜平;章曙东 -专利权人：东北大学
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属有机化学源液体的蒸发输运装置，用于实现金属有机化学源液体的长时间稳定输运。金属有机化学源液体的蒸发输运装置，包括液体注入装置和热蒸发气化装置。本发明的金属有机化学源液体的蒸发输运装置能够将液态金属有机源经液体注入装置长时间速度稳定、配比精确的送到热蒸发气化装置内，在MOCVD反应室内完成薄膜沉积，能够满足工业化长时间连续、稳定、快速生产的需求
一种金属有机化学液体蒸发输运装置

[实用新型]沉积蒸发系统及沉积蒸发传动装置-CN201520433342.2有效
发明人：乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉 -专利权人：杭州士兰集成电路有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种沉积蒸发系统以及沉积蒸发系统的传动装置，沉积蒸发系统用于对基片进行倾斜蒸发沉积，包括动力机构、沉积蒸发传动装置和真空蒸发器，所述动力机构与所述沉积蒸发传动装置相连接，用于驱动所述沉积蒸发传动装置转动；所述真空蒸发器位于所述沉积蒸发传动装置的下方；所述真空蒸发器的蒸发源面向所述沉积蒸发传动装置放置，所述蒸发源的纵向中心线与基片所在平面平行。本实用新型提供的沉积蒸发系统具有多片蒸发、基片旋转等优点，可有利于产能提升和生产成本的降低，更适用于倾斜角蒸发纳米结构薄膜的批量生产。
沉积蒸发系统传动装置

[发明专利]碲化镉薄膜沉积的蒸发源及其制备方法-CN201110263471.8无效
发明人：蒋猛;刘志强 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2011-09-07 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种碲化镉（CdTe）薄膜沉积的蒸发源及其制备方法，属于薄膜太阳电池技术领域。该制备方法包括以下步骤：（1）按比例混合形成包括镉金属粉末和碲单质粉末的粉末混合物；（2）将所述粉末混合物平铺于热蒸发设备的热蒸发源上；以及（3）在500℃至900℃的温度条件下蒸镀至平整的蒸发源衬底上形成碲化镉化合物应用该制备方法制备形成该发明的蒸发源。该制备方法和蒸发源具有成本低的特点。
碲化镉薄膜沉积蒸发及其制备方法

[发明专利]沉积源及具有此沉积源的沉积装置-CN201880007893.9在审
发明人：曹生贤;安成一 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-01-17 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：根据本公开内容的沉积源被设置在用于蒸发沉积材料的工艺腔室内部，以将沉积材料沉积在基板上。沉积源包括：扩散容器，所述扩散容器具有预定长度且在其中限定扩散空间，在所述扩散空间中扩散经蒸发的沉积材料；至少一个开口，所述至少一个开口形成在所述扩散容器中；喷嘴部分，所述喷嘴部分耦接至扩散容器的开口并且包括沿着扩散容器的纵向方向设置的多个喷嘴，以便注入在扩散容器中扩散的沉积材料；以及加热部分，所述加热部分安装在所述扩散容器的外部且包括加热器和热屏蔽部分，所述加热器经配置成通过加热所述扩散容器来加热容纳在所述扩散容器中的所述沉积材料，所述热屏蔽部分环绕所述加热器安装以防止加热器产生的热量向外发散因此，可提高沉积源在沉积腔室内的布置方面的利用率，且可改进薄膜沉积的均匀性。
扩散容器喷嘴沉积源加热加热器沉积材料开口扩散空间热屏蔽耦接沉积材料沉积蒸发沉积材料纵向方向设置加热器安装纵向中心线薄膜沉积沉积装置扩散沉积腔工艺腔均匀性室内部发散基板环绕蒸发容纳室内配置外部改进

[发明专利]钕铁硼细粉的制备方法-CN201710624675.7在审
发明人：孙良成;李静雅;娄树普;鲁飞;刘树峰;李慧;刘小鱼 -专利权人：包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H01F1/057 文献下载
摘要：本发明公开了一种钕铁硼细粉的制备方法，包括按设计成分配料、熔炼、速凝铸片，钕铁硼铸片经氢破碎、歧化反应、气流磨制粉，获得钕铁硼细粉；采用热阻蒸发沉积方法，将重稀土元素粒子或者高熔质元素粒子沉积在钕铁硼细粉上本发明在低真空下进行合金材料的蒸发，瞬间产生大量金属汽化粒子，材料利用率高，设备造价低，可实现低压、大电流、高功率操作，无热传导和热对流过程，热损失小。
钕铁硼细粉制备方法

[发明专利]可调色混合白光有机发光器件的制备方法-CN201010598648.5无效
发明人：牟海川;毛启明;姜来新 -专利权人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2010-12-21 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：可调色混合白光有机发光器件的制备方法，以玻璃衬底上的铟锡氧化物半导体透明膜薄膜为阳极；对于黄色磷光发光层，将掺杂物载体及各色磷光掺杂物分别溶解于有机溶剂中；将空位传输物与电子传输物与p型和n型掺杂物分别溶解于有机溶剂中；采用旋镀的方法沉积空位激发层，空位传输层，黄光发光层和电子传输层；旋镀沉积的各种有机层采用加热的方法进行交联；采用真空热蒸发的方法制备透明阴极；采用真空热蒸发的方法沉积电子传输层，蓝色荧光发光层和空位传输层；采用磁控溅射的方法沉积反射阳极
调色混合白光有机发光器件制备方法