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- [发明专利]共晶键合方法-CN201510397140.1有效
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丁刘胜;王旭洪;徐元俊
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上海新微技术研发中心有限公司
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2015-07-08
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2018-04-27
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H01L21/50
- 本申请提供一种共晶键合方法,该方法包括在第一基片表面形成第一突起部和第一键合材料图形;在第二基片表面形成第二突起部和第二键合材料图形;将所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形对齐,并在预定压力和预定温度下按压所述第一基片和所述第二基片,以使所述第一基片和所述第二基片通过所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形发生共晶键合;其中,在将所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形对齐的情况下,所述第一突起部的位置相对于所述第二突起部的位置具有偏移根据本申请,能够使两个基片的突起部在键合时形成彼此交叉的梳齿结构,能够达到防止溢流的效果,并且不会影响到键合的效果。
- 共晶键合方法
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