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- [发明专利]闪存的制造方法-CN01110528.3无效
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黄水钦
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华邦电子股份有限公司
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2001-04-10
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2002-11-13
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H01L21/8239
- 一种闪存的制造方法,提供一基底,在基底上形成数个浮置栅极结构,其中浮置栅极由介电层所包覆,且浮置栅极之间的间隔主要是作为源极或是漏极与控制栅极信道的预定位置。接着再形成多晶硅层覆盖于介电层与浮置栅极上,之后再依序形成顶盖层与缓冲层覆盖于多晶硅层上。其中浮置栅极之间较大的间隔,由于上述多层的覆盖将造成明显的凹陷处,此凹陷处会自行对准较大间隔的中央处,使得两旁预留的控制栅极信道长度一致。之后再以数道微影、蚀刻制程同时形成控制栅极、漏极与源极的位置。
- 闪存制造方法
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