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- [发明专利]单层锗基石墨烯低温后固化转移方法-CN202111354758.1有效
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胡开明;屠尔琪;张文明;李修远;辛宜航;邓心陆
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上海交通大学
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2021-11-16
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2023-01-24
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B32B9/00
- 一种单层锗基石墨烯低温后固化转移方法,在通过CVD工艺生长的锗基石墨烯表面旋涂载体材料,并三层复合结构以载体材料面朝上置于容器中,浇入未固化的PDMS与气泡法剥离得到的多层石墨烯(beGr)的混合物进行低温后固化工艺,然后对三层复合结构上的锗片进行刻蚀处理并最后进行触发加热实现三层复合结构的平坦化。本发明利用低温后固化构筑柔性目标基底,将大面积、高质量单层锗基石墨烯有效地转移,构建三层结构体系,既能够保证石墨烯与PMMA界面处、PMMA与PDMS界面处有足够的界面粘附能,也能避免高温后固化工艺引起PMMA与PDMS之间形成梯度界面层,从而构筑石墨烯/PMMA/beGr‑PDMS三层系统,并制备出单一尺度、失稳模式可控的石墨烯共型褶皱图案。
- 单层基石低温固化转移方法
- [发明专利]高密度锗纳米线的制备方法-CN201811245546.8有效
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狄增峰;杨悦昆;薛忠营;张苗
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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2018-10-24
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2020-10-20
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C23C16/26
- 本发明提供一种高密度锗纳米线的制备方法,包括如下步骤:1)提供一锗衬底,锗衬底包括相对的第一表面及第二表面;2)于锗衬底的第一表面生长石墨烯;3)于锗衬底的第一表面形成铟催化剂层,且铟催化剂层至少覆盖石墨烯;4)于铟催化剂层远离锗衬底的表面生长锗纳米线。本发明无需采用电子束蒸发的方式沉积金属,大大简化了锗纳米线制备的工艺流程,并降低成本,非常适合于大规模低成本的锗纳米线的制备;本发明采用铟作为催化剂生长的锗纳米线具有较高的长宽比,同时具有较高的表面密度,这些特点使得该方法更便于锗纳米线的转移与应用,从而为基于四族纳米线的器件制备奠定工艺基础;同时,本发明制备的锗纳米线具有很好的稳定性和重复性。
- 高密度纳米制备方法
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