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[实用新型]气体流量控制装置-CN201120493799.4有效
发明人：张智博;崔欢;毕雪林 -专利权人：北京北分瑞利分析仪器（集团）有限责任公司
申请日： 2011-12-01 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体流量控制装置，包括控制单元、以及与所述控制单元分别连接的比例阀和质量流量传感器。本实用新型通过采用质量流量传感器实时测量气体的流量，并使控制单元对所述流量信息进行处理后向比例阀发出控制命令，比例阀对气体的流量进行调节，本实用新型控制精度较高，稳定性较好，并且其体积小巧、结构紧凑。本实用新型由于采用了质量流量传感器，其在工作过程中既不受环境温度影响，又不受前后端气压的影响。
气体流量控制装置

[实用新型]气体流量控制装置-CN202020064116.2有效
发明人：廖晗 -专利权人：广州市欣大津焊接材料有限公司
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： B23K9/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了气体流量控制装置，包括集中控制单元、焊接电流检测单元以及气路执行单元，气路执行单元包括进气口接头、出气口接头、压力调节阀、流量控制阀以及用于检测输出气路管道压力的压力开关，进气口接头与压力调节阀连接，压力调节阀与流量控制阀连接，出气口接头与流量控制阀连接，流量控制阀上设有通讯接口，流量控制阀的出口与出气口接头连接且压力开关设在二者之间，集中控制单元与流量控制阀上的通讯接口连接，集中控制单元还与压力开关信号连接，焊接电流检测单元包括电流互感器，集中控制单元与电流互感器信号连接。本实用新型用于消除焊接气流峰值，节省保护气体，监控焊接电流与气流及流量输出异常报警功能。
气体流量控制装置

[实用新型]气体流量控制装置-CN202123173429.5有效
发明人：汤成远;汤千;付春燕 -专利权人：江苏特瑞达信息技术有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及控制装置领域，尤其是气体流量控制装置。该装置包括机壳、控制机、电池包、电机、主动齿轮、被动齿轮、气管、传感器、球阀，所述机壳内固定有控制机、电池包、电机，电池包和电机均电连接在电机上，机壳内转动连接有被动齿轮，电机的输出轴上固定有主动齿轮，本实用新型通过传感器来感应使用者，当传感器感应不到使用者时，通过控制机来控制电机，配合齿轮来自动关闭气管上的球阀。本申请可实现气管的自动开关，并通过控制机来计算通过的气体流量，从而提高了使用的方便度。
气体流量控制装置

[实用新型]气体流量控制装置-CN202223321233.0有效
发明人：王雁冰;姜琛;张奎;林敏;孙丽敏;沈超;倪良玉 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司天然气榆济管道分公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G05D7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体流量控制装置，涉及气体流量检测、控制技术领域，包括：壳体，具有一端开口的容纳腔；管接头，设置在容纳腔内，具有一个进气口和两个出气口，进气口与气源连通；第一流量检测调节器，安装在壳体的外侧壁上，用于检测和调节检测气路的气体流量；第二流量检测调节器，安装在壳体的外侧壁上，用于检测和调节旁通气路的气体流量；盖板，设置在容纳腔的开口端。本实用新型提供的气体流量控制装置，第一流量检测调节器、第二流量检测调节器以及管接头集成到壳体上，避免了检测现场管路布局杂乱，方便工作人员工作，解决了现有技术中的检定现场管路杂乱所带来的检测不便以及因管路中的滞留气导致的检定结果不准确的问题
气体流量控制装置

[实用新型]气体流量控制装置-CN200820202569.6无效
发明人：熊鸿;刘英亮 -专利权人：汕头市远东轻化装备有限公司
申请日： 2008-10-24 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： F24F11/02 文献下载
摘要：一种气体流量控制装置，包括风门、风叶调节机构、至少两个风叶，所述风叶的两端均设有转轴，风叶两端的转轴分别可转动的固定在风门上，其特征在于：所述风叶调节机构包括风叶调节驱动机构和至少两个主动齿轮，主动齿轮的数目与风叶的数目相同本实用新型对照现有技术的有益效果是，由于设有风叶调节机构，因此可以精确的调节经过两个相邻风叶之间的气体的流量；撞块、可调节限位块可以限制风叶转动的角度范围；而指针、刻度盘可以让使用者及时了解风叶转动的角度
气体流量控制装置

[实用新型]气体流量控制装置-CN03244656.X无效
发明人：叶俊林 -专利权人：北京市科海龙华工业自动化仪器有限公司
申请日： 2003-04-15 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： G05D7/01 文献下载
摘要：本实用新型气体流量控制装置，涉及仪器仪表技术领域。有前后气孔、前后扩孔，还有孔板套、孔板、前后滑芯、前后滑管、前后螺母、前后胶垫、弹簧、螺纹管、调节母。用于对各种气体的直接与间接、稳压与恒压、压力与压差、流量与流速不同目标的控制与测试。具有更换孔板快捷、应用广泛等特点。
气体流量控制装置

[实用新型]气体流量控制装置-CN200320101867.3无效
发明人：高建明;闻岩;苏占远;董全林;李晓梅;刘彬;陈东 -专利权人：燕山大学;唐山冀东水泥股份有限公司
申请日： 2003-10-15 - 公布日： 2004-12-29 - 主分类号： G05D7/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水泥熟料箅式冷却机的冷却空气流量控制装置，特别是涉及一种自适应机械式气体流量控制装置。技术方案是：由缸体(1)、压力补偿弹簧(2)和活塞(3)组成，采用间隙活塞式结构，活塞与缸体之间留有一定间隙，缸体(1)上开口(4)，使壳体本身兼起另一个节流装置的作用，弹簧(2)的一端固定在缸体1上，采用本实用新型，当压力P₂发生变化时，利用弹簧的拉伸或压缩力控制活塞的位移量，补偿压力P₁和P₂的差值，同时改变开口4的气体过流面积。活塞与缸体之间的间隙避免活塞与缸体之间产生接触摩擦，本实用新型将两个以上节流装置简化成一个节流装置，具有结构简单，加工制作容易等特点，采用间隙活塞式结构，无接触摩擦。
气体流量控制装置

[实用新型]一种气体分析仪管路气体流量均衡装置-CN201521119275.3有效
发明人：廖天星;曾旭腾;范铭钢;曾昭健;余阳;梁文智 -专利权人：广东长天思源环保科技股份有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体分析仪管路气体流量均衡装置，包括输气管、气体检测装置、样气流量控制装置、缓冲流量控制装置及采样泵，所述气体检测装置、样气流量控制装置、缓冲流量控制装置及采样泵安装于输气管上并通过输气管进行连通；所述气体检测装置的输出端与样气流量控制装置的输入端相连通，所述样气流量控制装置的输出端及缓冲流量控制装置的输出端分别与采样泵的输入端相连通。采用本实用新型，通过将缓冲流量控制装置与样气流量控制装置相结合，在缓冲流量控制装置中冲入缓冲气体，并同时调节缓冲气体的流速，有效地稳定输气管中的气体流速，达到减少检测误差的效果。
一种气体分析管路流量均衡装置

[实用新型]低压化学气相淀积反应系统-CN200720144353.4有效
发明人：朴松源;白杰;何有丰;唐兆云 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种LPCVD反应系统，包含提供反应气体的气体源、流量控制器、气体喷放装置以及反应腔室，所述气体源、流量控制器和气体喷放装置通过气体管路顺序相接；所述反应气体由所述气体源流出，经由所述流量控制器及气体喷放装置进入所述反应腔室；所述反应系统还包含压力控制器，所述压力控制器与连接气体源和流量控制器的气体管路以及连接流量控制器和气体喷放装置的气体管路分别相连；所述流量控制器为低压流量控制器。可增强进入其内的流量控制器的氟化氢气体的稳定性。
低压化学气相淀积反应系统

[发明专利]气体质量流量控制方法及装置-CN202111010673.1在审
发明人：杜井庆;王瑞;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体质量流量控制方法及装置，包括：设定目标流量值；控制进气流量控制单元接通进气管路，同时控制出气流量控制单元断开出气管路，以使进气管路能够向流量控制腔室内输送气体，直至流量控制腔室的内部气体压力达到第一预设压力值；控制进气流量控制单元断开进气管路，同时控制出气流量控制单元接通出气管路；实时检测流量控制腔室的内部气体压力，并根据流量控制腔室的内部气体压力变化，实时计算流量控制腔室的当前出气流量值；控制出气流量控制单元调节流量控制腔室的当前内部气体压力，以使当前出气流量值等于目标流量值。本发明提出的气体质量流量控制方法及装置具有对信号响应快和调节速度快等优点。
气体质量流量控制方法装置

[发明专利]一种控制反应气体进入真空反应腔的方法-CN201910406800.6有效
发明人：周旭升 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制反应气体进入真空反应腔的方法，所述方法包括：提供一刻蚀气体源和一沉积气体源，在所述刻蚀气体源和所述沉积气体源后端分别连接一气体流量控制装置，在每个所述气体流量控制装置后端分别连接两个控制阀门，每个所述气体流量控制装置后端的一个控制阀门连接一排气装置，另一控制阀门与真空反应腔相连；控制所述气体流量控制装置在小于1秒的时间内在高、低气体流量状态之间切换；当所述气体流量控制装置切换到高气体流量状态时，控制该所述气体流量控制装置后端与所述排气装置连接的控制阀门关闭，同时控制该所述气体流量控制装置后端与所述真空反应腔相连的控制阀门的打开时间延迟一定时间，以避开反应气体的激增状态。
一种控制反应气体进入真空方法

[发明专利]腔室气体供给装置及采用它的腔室内压控制方法-CN200480022484.4有效
发明人：河南博;宇野富雄;土肥亮介;西野功二;中村修;松本笃咨;池田信一 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-07-28 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明防止流量的控制精度在小流量域显著降低，在整个流量控制域进行高精度流量控制，同时通过高精度流量控制可以控制宽广的腔室压力范围。具体地说，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，向由真空泵排气的腔室流量控制地供给期望的气体的腔室气体供给装置中，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置。
气体供给装置采用室内控制方法

[实用新型]低压化学气相淀积反应系统-CN200720144360.4有效
发明人：朴松源;白杰;何有丰;唐兆云 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种LPCVD反应系统，包含提供反应气体的气体源、流量控制器、气体喷放装置以及反应腔室，所述气体源、流量控制器和气体喷放装置通过气体管路顺序相接；所述反应气体由所述气体源流出，经由所述流量控制器及气体喷放装置进入所述反应腔室；所述反应系统还包含压力控制器，所述压力控制器与连接气体源和流量控制器的气体管路以及连接流量控制器和气体喷放装置的气体管路分别相连；在所述气体源和流量控制器之间的气体管路外壁还连接有用以加热流经所述气体管路的反应气体的控温装置可增强进入其内的流量控制器的氟化氢气体的稳定性。
低压化学气相淀积反应系统

[发明专利]流量控制装置以及处理装置-CN201210384397.X有效
发明人：冈部庸之;守谷修司;松野一成 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-10-11 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：主气体管；检测流向该主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；基于从外部输入的气体种类选择信号，从多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于流量指示信号求出上述目标流量，并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体
流量控制装置以及处理

[实用新型]一种气体流量控制装置-CN201821335331.0有效
发明人：邵恒 -专利权人：北京康威能特环境技术有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气体流量控制装置，包括气体定向导入模块，所述气体定向导入模块与气体流量控制模块连接，所述气体流量控制模块与控制单元连接，所述气体流量控制模块与控制阀连接，所述控制阀与气体定向导出模块连接；本实用新型采用模块化的气体流量控制装置，整体体积较小、反应时间快，应用气体流量控制模块、控制单元、控制阀多模块组合的形式，是一种能够实现在大气监测、化学反应配气试验过程中精准控制气体流量的在线监测智能化仪器；此外，本实用新型还设置了显示窗，能够实时显示气体流量状态。
气体流量控制装置气体流量控制本实用新型导入模块气体流量控制阀流量控制模块化学反应控制阀连接智能化仪器大气监测导出模块精准控制模块连接实时显示试验过程应用气体在线监测多模块模块化显示窗

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