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[发明专利]分流器及其制造方法、质量流量测量装置和控制装置-CN202310500871.9在审
发明人：何漫丽;苏乾益;闫昭臣 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01F1/84 文献下载
摘要：本发明提供一种分流器及其制造方法、质量流量测量装置和质量流量控制装置，该分流器包括圆柱形主体，圆柱形主体中形成有沿圆柱形主体的径向间隔分布的多个用于供流体通过的流动空间，每个流动空间均沿圆柱形主体的圆周方向延伸设置；每个流动空间均在相互平行的内周壁面和外周壁面之间构成，内周壁面和外周壁面的径向间距和有效过流面积被设置为使流经流动空间的流体流动状态为层流。本发明的方案可以在适用于大流量或超大流量的基础上，减小整体尺寸，从而可以降低生产制造、调试标定和安装、维修等的难度。
分流器及其制造方法质量流量测量装置控制

[发明专利]一种流体测量传感器及质量流量控制器-CN202011532748.8有效
发明人： 苏乾益;何漫丽;杨宗林 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01F15/00 文献下载
摘要：一种流体测量传感器及质量流量控制器，流体流量传感器包括传感器底座、盖板、外壳、传感管和保温层；外壳连接于传感器底座，盖板从外壳的一侧嵌入外壳中，外壳的内侧壁上设有第一半槽，盖板的内侧壁上设有第二半槽，第一半槽与第二半槽拼接成安装槽；传感管具有缠绕于其上的绕组，被保温层包裹的传感管设于安装槽内，传感管的两端穿过传感器底座。本发明涉及的流体测量传感器，盖板从一侧嵌入外壳中，形成安装槽，包裹保温层的传感管放置于安装槽内，从而可以避免热量从腔室接缝中逸散，造成零漂。
一种流体测量传感器质量流量控制器

[发明专利]气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法-CN202110579201.1有效
发明人：何漫丽;牟昌华;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：本发明实施例提供的气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法，其流量传感器用于实时检测气体通道中的气体流量值；流量调节阀用于调节气体通道中的气体流量；压力传感器用于实时检测气体通道中指定位置处的气体压力值；温度传感器用于实时检测在气体通道的入口处的气体温度值；控制单元用于根据气体压力值、气体温度值和设定流量值，以及预先存储的气体流量与驱动参数在不同的气体压力和气体温度下的对应关系，获得驱动参数的输出值，并将输出值输出至流量调节阀，以控制流量调节阀开启与输出值对应的阀门开度。本发明实施例提供的气体质量流量控制器，可以实现气体流量控制的快速响应，并实现气体流量快速达到稳定。
气体质量流量控制器控制方法

[实用新型]半导体工艺设备及其流量调节阀-CN202220766812.7有效
发明人： 苏乾益;宋志辉;关骜 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F16K1/36 文献下载
摘要：本实用新型提供一种流量调节阀，包括阀体、调节杆和套管，阀体上形成有进液孔和出液孔，进液孔包括相互连接的导向段和进液段，进液段的一端贯穿至阀体的表面形成进液口，出液孔的一端与导向段连通，另一端贯穿至阀体的表面形成出液口；调节杆包括导向部和伸缩杆；导向部能够沿导向段往复运动，以带动伸缩杆由进液段进入导向段或从导向段退出，进液段的横截面尺寸小于导向段，套管套设并固定在伸缩杆上且外径与进液段对应、内径与伸缩杆对应，其上形成有至少一个轴向延伸的进液缺口，进液缺口的宽度沿靠近导向部方向逐渐减小。本实用新型提供的流量调节阀能够对微小流量进行连续调节。本实用新型还提供一种半导体工艺设备。
半导体工艺设备及其流量调节

[实用新型]流量控制装置-CN202221708721.4有效
发明人：关骜;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F16K3/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种流量控制装置，包括流动块、驱动组件和活塞，流动块内部设置有流体通路，驱动组件用于驱动活塞进入或离开流体通路，以改变流体通路的流通截面积，驱动组件包括支架、驱动机构、转接机构、弹性连接件和至少一个导杆，驱动机构和导杆固定设置在支架上；转接机构活动设置在导杆上，且转接机构通过弹性连接件与活塞连接；驱动机构用于驱动转接机构沿导杆运动，以使转接机构通过弹性连接件带动活塞进入或离开流体通路。本实用新型中利用导杆结构对弹性连接件及活塞进行导向，提高了活塞运动方向的稳定性，进而提高了流量控制装置控制流体流量的精确性及稳定性。
流量控制装置

[发明专利]半导体工艺设备及其集成供气系统-CN202010812173.9有效
发明人：郑波;魏景峰;杨宗林;苏乾益;宋志辉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司;北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种半导体工艺设备及其集成供气系统。该集成供气系统设置于半导体工艺设备的气源及工艺腔室之间，用于向工艺腔室内输送气体，包括：多个气路输送模块，且每个气路输送模块之间可拆卸连接；气路输送模块包括第一基块及第一控制部件，第一基块内开设有第一气路；至少一个第一控制部件设置于第一基块上，第一控制部件与第一气路连接。本申请实施例的集成供气系统可以任意组合气路输送模块以适用于不同类型的半导体工艺设备，从而不仅大幅提高整体的通用性，还避免了定制化程度高的问题。此外，当某一气路输送模块被污染后只需单独更换即可，从而大幅降低应用及维护成本。
半导体工艺设备及其集成供气系统

[发明专利]气体流量控制器的分流器组件及气体流量控制器-CN202210757581.8在审
发明人：李春玉;史文军;张海洋;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： F16L55/00 文献下载
摘要：本发明提供一种气体流量控制器的分流器组件，包括进气接头；分流器组件本体，与进气接头密封连接；分流器轴向管，设置在分流器组件本体的内部；以及分流器，设置在分流器组件本体的内部，其中，分流器轴向管的第一端与进气接头的端面相抵接，分流器轴向管的第二端与分流器的第一端抵接，分流器的第二端与分流器组件本体的内侧台面密封抵接，其中，分流器包括分流器本体和设置在分流器本体上的层流通道。本发明提供的气体流量控制器的分流器组件，可以有效降低加工和装配难度，从而可以提高气体流量控制器的一致性。
气体流量控制器分流器组件

[实用新型]压力测量装置-CN202220731211.2有效
发明人： 苏乾益;武旭东;赵寒阳 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种压力测量装置，包括：底座，具有容置腔和流体通道，容置腔的底壁设有流通口，流体通道与流通口连通；隔膜和压力传感器，设置在容置腔内，隔膜具有相对设置的第一侧和第二侧，第一侧设有定位凹槽，第二侧设有测压凹槽，其中，压力传感器的测压端设置在定位凹槽内，测压端的测压面与定位凹槽的槽底贴合，且测压端的周向侧壁与定位凹槽的槽壁贴合，压力传感器将隔膜压紧至容置腔的底壁，流通口与测压凹槽相对设置，测压凹槽与容置腔的底壁共同围成测压密封腔，测压密封腔通过流通口与流体通道连通。上述压力测量装置的测压面与定位凹槽的槽底紧密贴合，有利于流体压力更加准确地传递至测压面，从而提高流体压力测量精度。
压力测量装置

[发明专利]气体质量流量控制器及其流量标定方法-CN202010455457.7有效
发明人：杜井庆;王瑞;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01F1/76 文献下载
摘要：本发明提供一种气体质量流量控制器及其流量标定方法，该气体质量流量控制器中的流量标定装置包括标定腔、第一流量调节阀和第一状态检测单元，标定腔的输入端和输出端分别与第一气体管路的输出端和第二气体管路的输入端连接；第一状态检测单元用于检测标定腔中的气体状态；第一流量调节阀设置在第一气体管路上；控制单元用于根据标定腔中的气体状态以及流量控制装置检测到的第二气体管路中的气体状态进行计算，以获得流量控制装置的流量标定值和流量检测值，并基于流量标定值和流量检测值进行流量标定。本发明的技术方案，不仅可以对MFC进行流量标定，且算法简单、实时性与准确性较好，而且还可以用作MFC的减压器。
气体质量流量控制器及其标定方法

[发明专利]电磁阀及质量流量控制器-CN202010719137.8有效
发明人： 苏乾益;杜井庆;杨宗林 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本发明提供一种电磁阀及质量流量控制器，电磁阀包括电磁件、阀体组件、阀芯组件、堵头组件、阀口部件，其中，阀芯组件、堵头组件、阀口部件依次叠置在阀体组件的容置腔中，阀芯组件可移动地设置在容置腔中，堵头组件包括磁座、堵头，磁座固定设置在容置腔中，堵头可移动地设置在磁座的安装孔中，阀芯组件与堵头点接触，阀口部件朝向堵头组件的端面上设置有阀口，堵头与阀口相对设置；电磁件用于磁化阀芯组件及磁座，使磁座吸引阀芯组件移动，进而带动堵头移动，调节堵头与阀口之间的距离。本发明提供的电磁阀及质量流量控制器能够提高工作可靠性，并降低装配难度，从而提高一次装配合格率，降低零部件加工难度，降低加工成本，减小自身体积。
电磁阀质量流量控制器

[发明专利]流量检测装置及气体质量流量控制器-CN202210129263.7在审
发明人：何漫丽;牟昌华;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量检测装置及气体质量流量控制器，该装置包括主通道、旁通通道和MEMS流量传感器，其中，主通道用于传输被测气体，且在主通道中设置有分流器；旁通通道的两端分别在分流器的进气端和出气端两侧与主通道连通，且旁通通道包括沿气体传输方向依次设置的渐缩段、直管段和渐扩段，其中，直管段的水力直径满足使通过直管段的气体流动状态为层流；MEMS流量传感器设置于直管段的通道壁上，且MEMS流量传感器的检测面暴露于直管段中，用于检测直管段中的气体流量。
流量检测装置气体质量控制器

[实用新型]流量测量装置及质量流量控制器-CN202122403356.8有效
发明人：王海亮;杨玉婧;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：本实用新型提供一种流量测量装置及质量流量控制器，其中，流量测量装置包括测量管、密封件、第一安装座和第二安装座，测量管包括主管段和位于主管段两端的连接管段，主管段上具有对称设置的两个绕组；第一安装座包括主体部和固定部，主体部和固定部为一体结构且两者之间呈角度设置；第二安装座设置于固定部，且与主体部相对设置，主体部与第二安装座之间形成容置腔；密封件位于容置腔内并包覆在两个绕组和至少部分主管段上；连接管段穿过并连接于固定部。采用上述加工精度、装配精度、固定可靠性及保温性能较高的结构，能够有效地保证散热均匀性，从而避免或减小“零漂”，提高工作可靠性。
流量测量装置质量控制器

[实用新型]流体控制装置-CN202121483761.9有效
发明人：武旭东;苏乾益;邹义涛 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种流体控制装置，包括：安装底座，内设有气体通道，安装底座的一端为气体通道入口端，安装底座的另一端为气体通道出口端；前端压力传感器、流量传感器、控制阀和后端压力传感器沿气体通道入口端至气体通道出口端方向依次设置在安装底座上；前端压力传感器用于检测气体通道入口端的第一气体压力值，流量传感器用于检测气体通道内的气体流量值，控制阀用于控制流过气体通道的气体流量，后端压力传感器用于检测气体通道出口端的第二气体压力值；控制板与前端压力传感器、流量传感器、控制阀和后端压力传感器连接。实现提高对气体压力的控制精度和测控准确度。
流体控制装置

[实用新型]用于质量流量控制器的常开式电磁阀及质量流量控制器-CN202121211766.6有效
发明人：杨宗林;苏乾益;宋志辉 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： F16K31/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于质量流量控制器的常开式电磁阀及质量流量控制器。该电磁阀包括：从内到外依次套设的套筒、线包和阀罩；套筒内设有定芯轴筒和磁性材料的活动芯轴，定芯轴筒设置于套筒内的底部，套筒的顶部形成一容纳腔；活动芯轴包括可移动地设置于定芯轴筒内的轴杆和设置于容纳腔中的主体，轴杆与主体连接，主体的外壁沿周向等间隔设有多个通气槽，通气槽沿活动芯轴的轴向贯穿主体的两端；套筒的底端和定心轴筒的底端通过锁紧环固定；锁紧环的下方设有阀芯组件，阀芯组件与轴杆的底端连接；锁紧环与定芯轴筒底端之间设有与定心轴连接的弹性组件。本实用新型方案能够有效降低活动芯轴在活动过程受到的空气阻力，提高电磁阀的响应时间。
用于质量流量控制器常开电磁阀

[实用新型]压力传感器的封装结构及压力传感器-CN202121893022.7有效
发明人：杨玉婧;苏乾益;张海洋 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种压力传感器的封装结构及压力传感器，封装结构的封装件中设有用于封装压力敏感元件的第一封装腔，第一封装腔具有供压力敏感元件的压力感应部露出的第一开口；连接件中设有供封装件装配的装配腔，并设有分别与外界和第一开口连通的导流通道，用于将外界的流体导流至第一开口与压力感应部接触；第一紧固件与连接件固定连接，并与封装件相抵，用于将封装件紧固在装配腔中；防松件与连接件配合，并与第一紧固件接触，用于向第一紧固件施加一防止第一紧固件松动的力。本实用新型提供的压力传感器的封装结构及压力传感器能够提高封装稳定性，从而提高压力传感器的使用稳定性，使压力传感器的测压精度能够保持更长时间。
压力传感器封装结构

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