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[发明专利]腔室的内压控制装置和内压被控制式腔室-CN200480029178.3有效
发明人：大见忠弘;寺本章伸;宇野富雄;土肥亮介;西野功二;中村修;松本笃咨;永濑正明;池田信一 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘
申请日： 2004-09-14 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室内压控制装置，通过防止流量的控制精度在小流量范围大幅下降，并在整个流量控制范围可以进行高精度的流量控制，来调节向腔室供给的气体流量并在较大压力范围高精度控制腔室内压。具体来说，向腔室供给气体的装置，由并列状连接的多台压力式流量控制装置，和控制多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，一边控制流量一边向由真空泵排气的腔室供给所希望的气体，其中，把一台压力式流量控制装置作为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量范围的装置，把其余的压力式流量控制装置作为控制其余的气体流量范围的装置，进而在腔室上设置压力检测器并且向控制装置输入该压力检测器的检测值，调节向压力式流量控制装置的控制信号来控制向腔室的气体供给量，由此来控制腔室内压。
控制装置被控制式

[发明专利]腔室气体供给装置及采用它的腔室内压控制方法-CN200480022484.4有效
发明人：河南博;宇野富雄;土肥亮介;西野功二;中村修;松本笃咨;池田信一 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-07-28 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明防止流量的控制精度在小流量域显著降低，在整个流量控制域进行高精度流量控制，同时通过高精度流量控制可以控制宽广的腔室压力范围。具体地说，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，向由真空泵排气的腔室流量控制地供给期望的气体的腔室气体供给装置中，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置。
气体供给装置采用室内控制方法

[发明专利]差压式流量计及差压式流量控制装置-CN200480018993.X有效
发明人：大见忠弘;杉山一彦;宇野富雄;池田信一;西野功二;中村修;土肥亮介;松本笃谘 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘
申请日： 2004-06-18 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： G01F1/42 文献下载
摘要：本发明的课题在于使差压式流量计的构造简化而实现制造成本的降低，并且能够在100％～1％的较广的流量范围内实时地且以在线状态进行误差(E)为(1％SP)以下的高精度的流量计测。为此，在包括孔口测流计、孔口测流计上游侧的压力(P₁)的检测器、孔口测流计下游侧的流体压力(P₂)的检测器、孔口测流计上游侧的流体温度(T)的检测器、利用来自上述各检测器的检测压力(P₁、P₂)及检测温度(T)运算流过孔口测流计的流体流量(Q)的控制运算电路的差压式流量计中，根据(其中，C₁为比例常数，m和n为常数)来运算前述流体流量(Q)。
差压式流量计流量控制装置

[发明专利]簇化流体的流量控制方法以及该方法中所使用的簇化流体用流量控制装置-CN200480002284.2有效
发明人：大见忠弘;杉山一彦;水泽兼悦;高桥荣治;宇野富雄;西野功二;土肥亮介;池田信一;永濑正明 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘
申请日： 2004-01-16 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在3～300SCCM左右的流量范围内，对供给真空腔室等的HF气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力P₁与节流孔下游侧的气体的压力P₂之比P₂/P₁保持在气体的临界压力比以下的状态下，在节流孔中流通的气体的流量Q按照Q＝KP₁(其中，K为常数)进行运算，其中，将前述压力式流量控制装置加温到40℃以上，或者向簇化流体中添加稀释气体使之达到分压以下，从而使得缔合的分子离解，之后使得变成了单分子状态的簇化流体通过所述节流孔流通。
流体流量控制方法以及使用装置

[发明专利]压力式流量控制装置的流量异常检知方法-CN00801645.3有效
发明人：大见忠弘;饭田精一;加贺爪哲;广濑润;深泽和夫;小泉浩;长冈秀树;宇野富雄;西野功二;池田信一;土肥亮介;出田英二 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;饭田精一;东京毅力科创株式会社
申请日： 2000-07-27 - 公布日： 2004-07-07 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：在利用节流孔的压力式流量控制装置上，一面进行流体的流量控制，一面简便地检测节流孔的堵塞的方法。即在将上游侧压力P_i保持在下游侧压力P₂的约2倍以上，按Q_C＝KP₁(K为常数)计算下游侧流量Q_S，根据该计算流量Q_C与设定流量Qs的差信号Q_y对控制阀CV进行开闭控制的流量控制装置FCS中，由另外设置的检定回路或流量设定回路向控制阀CV输出具有检定振幅V_O的检定用信号ΔQ_S，测定应答该控制阀CV的开闭而产生的上游侧压力P₁的脉动压力ΔP₁的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅V_t时，报知节流孔堵塞的方法。将检定用信号ΔQ_S叠加在正常设定流量信号Q_SO上向控制阀CV输出时，能一面根据正常设定流量信号Q_SO进行流量控制一面检知流量异常。
压力流量控制装置异常方法

[发明专利]压力式流量控制装置的流量异常检知方法-CN03178745.2有效
发明人：大见忠弘;饭田精一;加贺爪哲;广濑润;深泽和夫;小泉浩;长冈秀树;宇野富雄;西野功二;池田信一;土肥亮介;出田英二 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;饭田精一;东京毅力科创株式会社
申请日： 2000-07-27 - 公布日： 2004-06-23 - 主分类号： F17D3/00 文献下载
摘要：一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P₁的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P₁保持为下游侧压力P₂的约2倍以上的状态下，根据Q_c＝KP₁(K为常数)计算下游侧流量Q_c，根据该计算流量Q_c与设定流量Q_s之差信号Q_y对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V₀的检定用信号ΔQ_s，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P₁的脉动压力ΔP₁的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅V_t时，报知节流孔堵塞。
压力流量控制装置异常方法

[发明专利]压力传感器、压力控制装置及压力式流量控制装置的温度漂移修正装置-CN02808689.9有效
发明人：大见忠弘;宇野富雄;中村修;池田信一;土肥亮介;西野功二;松本笃咨;杉山一彦 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘
申请日： 2002-11-22 - 公布日： 2004-06-09 - 主分类号： G01L19/04 文献下载
摘要：开发一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置，可以自动地修正压力传感器的温度漂移，且即使温度变动，仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用的温度漂移修正装置，该压力式流量控制装置在节流装置4与控制阀22之间设有检测上游侧压力P₁用的上游侧压力传感器10，在根据上游侧压力P₁运算通过节流装置4的流量的同时，还通过控制阀22的开闭来控制通过节流装置4的流量，该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器14、存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出漂移的关系的存储机构64、以及温度漂移修正机构构成，其中，温度漂移修正机构是在流体温度T发生变化的情况下，根据存储机构64的数据运算上游侧压力传感器10的输出漂移量，根据该运算输出漂移量消除上游侧压力传感器10的输出漂移，从而修正温度漂移。利用该结构，可自动地修正压力传感器的温度漂移，进行正确的流量控制。
压力传感器压力控制装置流量温度漂移修正

[发明专利]压力式流量控制装置的节流孔的制造方法-CN98801149.2无效
发明人：大见忠弘;加贺爪哲;杉山一彦;深田収;尾泽进;佐藤义浩;土肥亮介;宇野富雄;西野功二;福田浩幸;池田信一;山路道雄 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;东京电子株式会社
申请日： 1998-08-13 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： F15D1/08 文献下载
摘要：一种压力式流量控制装置中使用的节流孔，节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2，该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中，将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状；并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4，该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
压力流量控制装置节流制造方法

[发明专利]改良型压力式流量控制装置-CN02805589.6有效
发明人：大见忠弘;宇野富雄;中村修;池田信一;土肥亮介;西野功二;松本笃咨;杉山一彦;乾秀二郎;酒井泰治;植山将宜 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社
申请日： 2002-11-22 - 公布日： 2004-05-05 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明的解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制装置，其以Qc＝KP₂^m(P₁－P₂)ⁿ表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc＝KP₂^m(P₁－P₂)ⁿ(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制装置，其经常将上游侧压力P₁及下游侧压力P₂所得压力比P₂/P₁＝r与临界值r_c比较，在临界条件(r≤r_c)下以Qc＝KP₁，在非临界条件(r＞r_c)下以Qc＝KP₂^m(P₁－P₂)ⁿ运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。
改良压力流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置的孔板堵塞检测方法及其检测装置-CN99801434.6有效
发明人：大见忠弘;饭田精一;加贺爪哲;广濑润;西野功二;池田信一;山路道雄;土肥亮介;吉川和博;小艾睦典;宇野富雄;出田英二;广濑隆 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社
申请日： 1999-08-09 - 公布日： 2003-07-16 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：对于使用孔板的流量控制装置，可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞，可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是，在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC＝KP1(K：常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中，其堵塞检测装置由：储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M，在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14，对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU，以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
压力流量控制装置堵塞检测方法及其

[发明专利]具备压力式流量控制装置的气体供给设备-CN99800859.1有效
发明人：大见忠弘;加贺爪哲;池田信一;西野功二;吉川和博;出田英二;土肥亮介;宇野富雄;山路道雄 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社
申请日： 1999-05-27 - 公布日： 2000-11-01 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：使半导体制造装置等所使用的具备压力式流量控制装置的气体供给设备更小型化而降低制造成本,同时改善过度流量特性,防止气体供给开始时的气体的过调节现象的发生,提高流量控制精度与设备可靠性,由此,减少半导体制品质量的不均一,同时提高半导体制品的制造效率。具体地讲,是在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下,一边进行气体的流量控制,一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体,在上述具备压力式流量控制装置的气体供给设备上,气体供给设备的构成包括从气体供给源接受气体的控制阀,设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀,设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器,设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔,在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc=KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。
具备压力流量控制装置气体供给设备

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