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[发明专利]一种提高低辐射镀膜玻璃生产效率的方法-CN201210271553.1无效
发明人：郭明;杨建社 -专利权人：金堆城洛阳节能玻璃有限公司
申请日： 2012-08-02 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高低辐射镀膜玻璃生产效率的方法，玻璃在镀膜室中的靶材下移动，每一块的靶材下方具有两块挡板，所述的两块挡板为可调节式的，在玻璃基片移动速度一定的情况下，通过调节靶材下方的两块挡板之间的开口宽度提高镀膜效率；当在玻璃上需要沉积的膜层厚度较薄时，将其靶材下方的两块挡板开口调窄；当玻璃上需要沉积的膜层厚度较厚时。采用本发明所述的方法，只需将靶材下方的挡板设置成调节式的即可，可在投资成本很小的前提下，生产某些品种的低辐射镀膜玻璃时，大幅度提高生产效率，或者降低靶材和电能消耗。
一种提高辐射镀膜玻璃生产效率方法

[实用新型]移动磁极式扫描溅射源-CN200620017975.6无效
发明人：许生;徐升东;庄炳河 -专利权人：深圳豪威真空光电子股份有限公司
申请日： 2006-08-28 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种移动磁极式扫描溅射源，该溅射源包括：溅射源安装座；设置在溅射源安装座上的用于承托靶材的靶材承托板；设置在靶材承托板与靶材相对一侧并用于在靶材表面产生水平磁场的磁极装置以及设置在溅射源安装座上的传动装置，传动装置传动磁极装置在与靶材平行的平面内移动。通过采用上述结构，使基片载体(基片架)静止，通过往复平稳移动磁极使刻蚀轨迹在大幅面靶材上移动以达到扫描刻蚀的作用。最终实现对基板的均匀沉积制得优良的薄膜产品。
移动磁极扫描溅射

[发明专利]一种靶材垂直度检测装置-CN201910998472.3在审
发明人：何建进;陈江伟;何凌男 -专利权人：苏州精美科光电材料有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材垂直度检测装置，包括底座和透光台，底座和透光台的两侧间安装升降机构，底座上安装多个照明灯，透光台顶部两个邻边间安装固定定位块，透光台顶部另两个邻边处均安装固定板，固定板两端开有导向孔靶材的两个邻边紧贴固定定位块的两个内壁，推动气缸推动活动定位块，活动定位块将靶材的另两个邻边定位压紧，便于对不同大小的靶材固定，照明灯的光线从透光台底部照射到靶材四边，便于人眼观察，通过升降机构带动透光台升降，调节透光台高度，便于控制靶材与照明灯间距，便于对不同高度的靶材进行检测观察。
透光靶材活动定位块邻边推动气缸照明灯底座升降机构导向杆导向孔定位块垂直度检测装置四边安装固定板固定板外壁安装固定紧贴固定人眼观察推杆连接一端连接固定板内壁内套外壁压紧升降照射检测观察

[实用新型]一种磁场辅助激光诱导等离子体加工装置-CN202220081962.4有效
发明人：江安娜;李卓;陈嘉林;卢希钊;姜峰 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C30B33/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁场辅助激光诱导等离子体加工装置，包括加工工作台部分和激光器部分；加工工作台部分包括工作台、电磁铁装置、金属靶材、夹具和工件；电磁铁装置包括磁轭和直流电源控制系统，磁轭的每一侧部都固装有极柱和线圈，直流电源控制系统电接线圈以使极头中心区域产生磁场；金属靶材直接固装在磁轭的中间部上，工件位于金属靶材之上且二者平行间隔布置，工件与金属靶材之间的间隔始终处于磁场区域内；激光器发出激光束，激光束经扫描振镜转向后通过聚焦透镜聚焦在工件下方的金属靶材上并与金属靶材发生相互作用
一种磁场辅助激光诱导等离子体加工装置

[实用新型]靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具-CN201120002588.6无效
发明人：房瑞晓;柴林 -专利权人：成都超纯应用材料有限责任公司
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，属于薄膜生产领域，旨在提供一种能够满足不同大小靶材金属化镀膜的需求且能重复利用的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具；包括支架和数根夹条，所述支架上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架上均设置有导轨，夹条通过螺丝固定连接于导轨间。由于本实用新型的夹条间的距离能够通过螺丝的松紧自由在支架上调节，在适用最大尺寸的范围内，能够满足不同大小及形状的靶材金属化镀膜需求，扩大了夹具的实用范围，减少了夹具的需求量；而且加工方便，成本低廉，操作简单
金属化蒸发镀膜多功能夹具

[发明专利]一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法-CN201810569823.4有效
发明人：张晓宇;石煜;王志强;曾探 -专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本发明涉及ITO圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。本发明提供了一种用于ITO圆筒靶材外侧壁研磨的定位支撑工装，通过简单的机械机构定位杆IE，能够100％保证不会对ITO靶材造成磕碰伤，而且效率非常高，操作简单，在生产成本低廉的同时，还具有很好的使用效果
一种 ito 圆筒外侧研磨定位支撑工装及其使用方法

[发明专利]易换靶材组件式旋转靶装置-CN201110177151.0无效
发明人：黄峰 -专利权人：黄峰
申请日： 2011-06-28 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，加工箱体底部设置有底板，其特点是：底板的一侧安装有驱动端头组件，底板的另一侧安装有水电端头组件。同时，驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。通过有伸缩式轴用挡圈的存在，可以有效控制驱动端头组件与水电端头组件之间的靶材组件安装间距。由此，能够有效适应各种规格程度不同靶材组件进行安装。亦可以通过调整间距，令靶材组件安装到位，提升其使用寿命。
易换靶材组件旋转装置

[实用新型]易换靶材组件式旋转靶装置-CN201120222618.4有效
发明人：黄峰 -专利权人：黄峰
申请日： 2011-06-28 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种易换靶材组件式旋转靶装置，包括有加工箱体，加工箱体底部设置有底板，其特点是：底板的一侧安装有驱动端头组件，底板的另一侧安装有水电端头组件。同时，驱动端头组件与水电端头组件的工作衔接端中安装有靶材组件。通过有伸缩式轴用挡圈的存在，可以有效控制驱动端头组件与水电端头组件之间的靶材组件安装间距。由此，能够有效适应各种规格程度不同靶材组件进行安装。亦可以通过调整间距，令靶材组件安装到位，提升其使用寿命。
易换靶材组件旋转装置

[实用新型]一种激光镀膜装置-CN201821511098.7有效
发明人：张培明 -专利权人：济南工程职业技术学院
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光镀膜装置，包括密封舱，密封舱内设置有靶材工位，靶材工位上安装有靶材，密封舱设置有氧气入口，密封舱连接质谱仪、抽真空系统b，所述激光镀膜装置还设置有反射式高能电子衍射仪、激光发射装置、电子源，靶材工位的位置与镀膜工位正对，电子源设置在镀膜工位的前方侧面，反射式高能电子衍射仪与电子源相对镀膜工位中心对称，激光发射装置设置在靶材工位的前方侧面。
工位靶材密封舱激光镀膜装置电子源镀膜反射式高能电子衍射仪激光发射装置能量转换效率本实用新型抽真空系统激光镀膜氧气入口中心对称侧面质谱仪正对薄膜制备

[发明专利]一种磁控溅射镀膜用阴极-CN201410783685.1在审
发明人：李震 -专利权人：张家港市铭斯特光电科技有限公司
申请日： 2014-12-16 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控溅射镀膜用阴极，安装在磁控溅射镀膜真空室内，包括安装在真空室侧壁上的靶座、设于靶座正面的靶背板、固设在靶座内腔中的磁体、焊接在靶背板正面的靶材，阴极还包括用于防止靶座与真空室侧壁间泄漏的密封机构，该密封机构包括设于靶座背面的多个密封件、一端固设在靶座背面的锁紧杆，锁紧杆的另一端上还套设有锁紧螺母，锁紧杆沿其轴向依次穿设通过密封件、真空室侧壁后与锁紧螺母相锁紧，锁紧杆在数量上与密封件相等，通过设置密封机构确保了靶座与真空室侧壁间的密封性，降低了真空室内的漏气率、提高了溅射效率，同时通过焊料焊接的方式将靶材固定在靶背板上，简化了阴极的机构，提高了所镀薄膜的质量。
一种磁控溅射镀膜阴极

[实用新型]一种磁控溅射镀膜用阴极-CN201420801801.3有效
发明人：李震 -专利权人：张家港市铭斯特光电科技有限公司
申请日： 2014-12-16 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜用阴极，安装在磁控溅射镀膜真空室内，包括安装在真空室侧壁上的靶座、设于靶座正面的靶背板、固设在靶座内腔中的磁体、焊接在靶背板正面的靶材，阴极还包括用于防止靶座与真空室侧壁间泄漏的密封机构，该密封机构包括设于靶座背面的多个密封件、一端固设在靶座背面的锁紧杆，锁紧杆的另一端上还套设有锁紧螺母，锁紧杆沿其轴向依次穿设通过密封件、真空室侧壁后与锁紧螺母相锁紧，锁紧杆在数量上与密封件相等，通过设置密封机构确保了靶座与真空室侧壁间的密封性，降低了真空室内的漏气率、提高了溅射效率，同时通过焊料焊接的方式将靶材固定在靶背板上，简化了阴极的机构，提高了所镀薄膜的质量。
一种磁控溅射镀膜阴极

[发明专利]一种多极耳裸电芯及其制备方法、多极耳电池-CN202110374803.3在审
发明人：苏轼;韩冰;纪荣进;李聪;陈贤锐;郑明清;陈杰;李载波 -专利权人：惠州锂威新能源科技有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01M50/533 文献下载
摘要：本发明属于锂离子电池技术领域，尤其涉及一种多极耳裸电芯，包括：裸电芯本体；多层箔材极耳，与裸电芯本体连接并从裸电芯本体引出；至少一导电片，与多层箔材极耳通过激光焊接；金属带极耳，与所述导电片固定连接。本发明提供了一种多极耳裸电芯，将多层箔材极耳看成一个整体，将导电片与多层箔材极耳通过激光焊接在一起，能够保证多层箔材极耳焊接的可靠性，避免了超声波焊接多层箔材极耳时的虚焊问题；而且，激光焊接能够降低焊印高度另外，导电片作为激光焊的靶材，也起到固定多层箔材极耳的目的，防止多层箔材极耳变形，后续多层箔材极耳弯折时能够防止反弹，提高多极耳裸电芯极耳焊接的良品率。
一种多极耳裸电芯及其制备方法电池

[实用新型]一种多极耳裸电芯、多极耳电池-CN202120705874.2有效
发明人：苏轼;韩冰;纪荣进;李聪;陈贤锐;郑明清;陈杰;李载波 -专利权人：惠州锂威新能源科技有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01M50/533 文献下载
摘要：本实用新型属于锂离子电池技术领域，尤其涉及一种多极耳裸电芯，包括：裸电芯本体；多层箔材极耳，与裸电芯本体连接并从裸电芯本体引出；至少一导电片，与多层箔材极耳通过激光焊接；金属带极耳，与所述导电片固定连接本实用新型提供了一种多极耳裸电芯，将多层箔材极耳看成一个整体，将导电片与多层箔材极耳通过激光焊接在一起，能够保证多层箔材极耳焊接的可靠性，避免了超声波焊接多层箔材极耳时的虚焊问题；而且，激光焊接能够降低焊印高度另外，导电片作为激光焊的靶材，也起到固定多层箔材极耳的目的，防止多层箔材极耳变形，后续多层箔材极耳弯折时能够防止反弹，提高多极耳裸电芯极耳焊接的良品率。
一种多极耳裸电芯电池

[发明专利]一种采用磁控溅射技术处理聚酯材料汽车内饰阻燃的工艺方法-CN202010930438.5在审
发明人：程贤生 -专利权人：苏州贤辉新纺织科技有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请公开了一种采用磁控溅射技术处理聚酯材料汽车内饰阻燃的工艺方法，所述磁控溅射技术处理聚酯材料汽车内饰阻燃的工艺方法包括如下步骤：靶材挑选，将欲沉积的混合阻燃材料制成板材靶，距靶定距离；基片清洁，使基片镀膜面清洁无脏污备用；镀膜室预处理，先向真空腔内充气一段时间，然后升钟罩，装好基片，清理镀膜室；气体制备，充入工艺气体；镀膜、优化，在阴极和阳极间施加电压，两极间即产生辉光放电进行镀膜，对镀膜进行优化，包裹在移动的工件表面
一种采用磁控溅射技术处理聚酯材料汽车阻燃工艺方法

[实用新型]一种超稳定三电极电子束蒸发源-CN201920897235.3有效
发明人：谢斌平;阿力甫·库提鲁克;李浩 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超稳定三电极电子束蒸发源，用于解决现有技术中电子束蒸发装置结构复杂、电子束源存在加热不均匀、蒸发材料容易污染灯丝、电子束轨迹控制方法复杂的问题，包括：靶材、灯丝和支撑基座；其中，靶材固定至支撑基座；灯丝为耐高温金属材料，固定至支撑基座，设置于靶材上方，灯丝接通负电；实施本实用新型的技术方案，在靶材和灯丝间设置反射板，可便捷地实现对电子束轨迹的控制，并且减缓灯丝被污染的速度、延长装置寿命、简化装置结构、降低装置的放气率；反射板接通负电并且负电电压设置为可连续调节的，利于实现靶材端部的匀速蒸发，增加蒸发源适用的靶材种类、提高装置兼容性。
一种稳定电极电子束蒸发