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- [实用新型]用于圆盘状铝钪靶材的整平装置-CN202120440457.X有效
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陈江伟;何凌男;何建进
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苏州精美科光电材料有限公司
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2021-03-01
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2021-11-23
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B21D3/00
- 本实用新型涉及铝钪靶材领域，具体是一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，包括支撑台、多个可活动的垫块、可伸缩的整平机构；整平机构设置在支撑台上，整平机构的伸缩方向垂直于支撑台的台面；支撑台上设置有圆环槽，多个垫块分别可活动的设置在圆环槽内，相邻的两个垫块之间留有间距；垫块上设置有定位部件，其中，定位部件用于将圆盘状铝钪靶材定位在垫块上，圆盘状铝钪靶材的轮廓位于垫块的轮廓内；任一个垫块分别能够沿着圆环槽移动至整平机构和支撑台之间。相对于现有技术中的靶材与整平构件的定位方式，本实用新型的用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，操作的步骤减少，进而操作的时间减少，从而提高了多个铝钪靶材相对整平构件的定位效率。
- 用于圆盘状铝钪靶材平装
- [实用新型]一种靶材平整度测试工装-CN202022542730.8有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2020-11-06
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2021-06-15
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G01B21/30
- 本实用新型公开了一种靶材平整度测试工装，包括工作台，工作台上设置有固定机构和检测机构，固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，双向丝杆两端均设置有固定板，工作台上设置有与固定板相对应的轨道；工作台上设置有支架，检测机构设置在支架上，检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，第二移动装置设置在单向丝杆上并且可以沿着单向丝杆移动，第二移动装置底端设置有检测仪。本实用新型结构简单，可以通过移动第一移动装置与第二移动装置的配合实现靶材任意位置的平整度检测，无需人工目测即可实现测量，准确性高，方便快捷。
- 一种平整测试工装
- [实用新型]一种多功能靶材检测工装-CN202022542704.5有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2020-11-06
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2021-06-11
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G01B21/30
- 本实用新型公开了一种多功能靶材检测工装，包括工作台和载物支架，工作台上设置有结构检测机构和平整度检测机构，结构检测机构包括设置在载物支架两端的第一气缸，第一气缸上均设置有仿形器，仿形器包括第一紧固装置、仿形装置和第二紧固装置，仿形装置设置在第一紧固装置和第二紧固装置之间，仿形装置包括多个仿形片，第一紧固装置与第二紧固装置之间设置有移动轴，仿形片可以在移动轴上来回运动；平整度检测机构包括设置在工作台上的框架，框架上设置有驱动机构，驱动机构上设置有移动块，移动块上对应载物支架的一面上设置有检测仪。本实用新型结构简单，可以同时检测出靶材的形状信息以及平整度信息，检测准确性高，使用效果好。
- 一种多功能检测工装
- [实用新型]一种可调节靶材组件-CN202021278479.2有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2020-07-02
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2021-03-16
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种可调节靶材组件，包括靶材组和背板组，靶材组设置在背板组上，靶材组包括第一子靶材和围绕在第一子靶材外侧的第二子靶材，背板组包括第一背板和第二背板，第一子靶材对应第一背板，第二子靶材对应第二背板，工作台上设置有电机，电机上设置有螺杆，螺杆一端活动连接在第一背板上，升降台上与螺杆对应的位置设置有内螺纹，升降台上与第二背板对应的位置设置有支撑件。本实用新型结构简单，在使用过程中可以随时调节第二子靶材的高度，保证使用时第二子靶材与第一子靶材的上端面一直保持平齐，即保持靶材组与工件位置保持一致，有效解决由于靶材消耗导致靶材表面磁场的变化，可以达到靶材表面磁场始终在控制范围内。
- 一种调节组件
- [实用新型]一种靶材组件-CN202021279910.5有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2020-07-02
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2021-03-16
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种靶材组件，包括背板和靶材组，背板设有位于中部的凸起部和两侧的平整部，靶材组包括设于凸起部的第一子靶材和设于平整部上的第二子靶材；第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐；背板的焊合表面设有低熔点的第一焊料层，靶材组的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的第二焊料层，背板远离靶材的一面设置有承载板，导磁片设置在第二子靶材与承载板对应的位置。本实用新型通过设置导磁片以及具有凸起部和平整部的背板，从而使得第一子靶材与第二子靶材消耗速度的差距处于一定的范围内，从而延长矩形平面靶材使用寿命，降低生产成本，提高靶材的使用效率，并且具有较佳的接合附着能力。
- 一种组件
- [实用新型]一种靶材解绑装置-CN202021279924.7有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2020-07-02
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2021-03-16
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种靶材解绑装置，包括解绑容器，所述解绑容器内设置有支撑底板，所述支撑底板中心设置有双向丝杆，所述双向丝杆一侧在所述解绑容器外侧设置有把手，所述双向丝杆上对称设置有夹板，所述解绑容器相对的两侧边缘顶端均设置有滑道，所述滑到内活动安装有刮铟板，所述解绑容器底部设置有回收斗，所述回收斗底端设置有滤网，所述滤网下部出口连接有第一管道，所述第一管道连接至储剂罐；所述储剂罐与所述解绑容器之间设置有第二管道。本实用新型结构简单，可以简单快速的将废靶材与背板分离，从而提高背板的回收利用率，而且可以回收铟，减小使用成本。
- 一种靶材解绑装置
- [实用新型]一种管靶内外层粘接夹持工装-CN201921762126.7有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2019-10-21
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2020-08-11
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B25B11/00
- 本实用新型公开了一种管靶内外层粘接夹持工装，包括移动装置，移动装置包括底座，底座的顶部设有滑轨，滑轨内转动连接有双头丝杆，双头丝杆的一端与安装在底座外壁的伺服电机转动端固定连接，且双头丝杆位于滑轨内的两端外壁螺纹套接有导向块，导向块的顶部固定设有竖板，竖板的侧壁固定设有缓冲装置，缓冲装置上固定安装有夹持装置，夹持装置包括与缓冲装置固定连接的连接板，连接板的底部和顶部分别转动连接有下夹板和上夹板，下夹板和上夹板面向竖板的一面固定设有连接件，连接件与气缸的输出端铰接，气缸的另一端与竖板侧壁固定连接，此装置通过移动装置与夹持装置的配合使用，可以针对不同孔径大小的管靶进行夹持固定，适用性广。
- 一种管靶内外层夹持工装
- [实用新型]一种管靶内壁的胶层涂布结构-CN201921762127.1有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2019-10-21
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2020-07-28
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B05C7/08
- 本实用新型公开了一种管靶内壁的胶层涂布结构，包括涂布液箱体，移动装置包括固定在涂布液箱体两端顶部的第一立板和第二立板，第一立板的侧壁安装有伺服电机，伺服电机的转动端贯穿第一立板的侧壁设有丝杆，丝杆的外壁螺纹套接有导向块，导向块的两端侧壁设有侧板，L形支架上固定安装有驱动电机，驱动电机的转动端固定设有主动轴，主动轴的外壁固定套接有小齿轮，小齿轮啮合有大齿轮，大齿轮的内圈固定插接有从动轴，侧板两端底部设有第二竖板，第二竖板位于涂布液箱体内的一端侧壁转动连接有转轴，转轴的外壁套接有转动辊，转动辊的外壁设有尖刺，且转轴的一端贯穿第二竖板与从动轴的一端连接。
- 一种内壁胶层涂布结构
- [实用新型]一种靶材贴合装置-CN201921762148.3有效
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何建进;陈江伟;何凌男
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苏州精美科光电材料有限公司
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2019-10-21
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2020-06-09
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括底座，底座上安装加热板，加热板上放置靶拖，靶拖上放置靶材，靶材和靶拖相接处的一面均涂有易熔金属涂层，靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，加热板的一侧的底座上安装固定架，固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，压紧螺柱的底部贯穿固定架并卡接压紧板，压紧板紧密压在靶材上。通过定位框包裹靶拖和靶材外壁，从而将靶拖和靶材外壁对齐定位，将定位后的靶拖和靶材放置到压紧板底部的加热板上，通过压紧螺柱带动压紧板压紧靶材，从而使得靶材和靶拖固定，通过加热板加热靶拖，使得易熔金属涂层融化，定位框对靶材和靶拖相接处的缝隙极性封堵，避免融化的金属外溢，则金属液凝固后将靶材和靶拖牢固贴合。
- 一种贴合装置
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