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- [实用新型]一种存放晶舟料盒的储物盒-CN202320188318.1有效
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洪成都
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捷螺智能设备（苏州）有限公司
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2023-02-10
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2023-07-14
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B65D25/04
- 本实用新型涉及一种存放晶舟料盒的储物盒，属于储物设备技术领域。为解决现有技术中采用自由移动机器人进行晶舟料盒移送时，晶圆料盒存在掉落和因落尘造成晶圆污染，且完成移送后，采用人工进行料盒拿取，导致生产效率低，人工成本高的问题。本申请包括储物盒本体和载物台；储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；载物台安装于储物空腔内；载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒本申请的储物盒在移送晶圆料盒时，料盒稳定性高，能有效防尘，同时在放料时，能配合机器人手臂自动进行晶圆料盒的放料，降低人工成本，生产效率快，自动化程度高。
- 一种存放晶舟料盒储物盒
- [实用新型]晶舟及扩散设备-CN202222550938.3有效
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曲凯;史仁先;鲁艳春
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北海惠科半导体科技有限公司
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2022-09-26
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2023-01-31
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H01L21/673
- 本申请公开了一种晶舟及扩散设备，涉及半导体技术领域，晶舟包括多个支撑柱、第一支撑板和第二支撑板，多个支撑柱设置在第一支撑板和第二支撑板之间，且与第一支撑板和第二支撑板连接；每一支撑柱上设置有多个承载部，各支撑柱上处于同一水平面的承载部承载晶圆，晶圆包括产品晶圆和控片晶圆；承载部包括多个产品承载部和多个控片承载部，控片承载部垂直于支撑柱方向上的宽度小于产品承载部垂直于支撑柱方向上的宽度，和/或相邻两个控片承载部之间的间距小于相邻两个产品承载部之间的间距本申请通过以上方式，改善由于晶舟上承载部的宽度与间距均相同，导致控片膜厚和实际产品的不一致，影响膜层检测精准度的问题。
- 扩散设备
- [实用新型]晶舟以及扩散设备-CN202121198823.1有效
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蒋新和;任宏志
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北海惠科半导体科技有限公司
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2021-05-31
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2021-12-17
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H01L21/673
- 本申请实施例公开了一种晶舟及扩散设备，用于承载晶圆，包括：固定柱、固定板和承载结构，所述固定柱设置有多个；所述固定板与多个所述固定柱固定连接；所述承载结构设置有多个，多个所述承载结构设置在每一所述固定柱上；多个所述固定柱通过各所述固定柱上对应的所述承载结构共同承载所述晶圆；其中，所述承载结构上设置有凸起，所述凸起通过所述承载结构与所述晶圆接触。本申请实施例提供的晶舟通过上述技术方案，减小卡托与晶圆的接触面积，增强晶圆的氧化沉积，防止卡托与晶圆氧化沉积过程中发生粘黏。
- 以及扩散设备
- [发明专利]钼烧结舟-CN201310183877.4无效
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屠良高
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平湖市海特合金有限公司
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2013-05-17
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2013-09-18
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B22F3/10
- 一种钼烧结舟，包括第一烧结件、第二烧结件和铆接板；第一烧结件包括第一本体，第一本体两端分别沿与第一本体垂直的方向延伸，形成2件第一铆接臂；第二烧结件包括第二本体，第二本体两端分别沿与第二本体垂直的方向延伸，形成2件第二铆接臂；铆接板分别与第一铆接臂和第二铆接臂铆接。本发明钼烧结舟，在原来用焊接的地方用折弯后再铆接的方法，这样在舟的两端就有双重的支撑，大大延长了烧结舟的使用周期。
- 烧结
- [实用新型]钼烧结舟-CN201320270914.0有效
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屠良高
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平湖市海特合金有限公司
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2013-05-17
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2013-10-16
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B22F3/10
- 一种钼烧结舟，包括第一烧结件、第二烧结件和铆接板；第一烧结件包括第一本体，第一本体两端分别沿与第一本体垂直的方向延伸，形成2件第一铆接臂；第二烧结件包括第二本体，第二本体两端分别沿与第二本体垂直的方向延伸，形成2件第二铆接臂；铆接板分别与第一铆接臂和第二铆接臂铆接。本实用新型钼烧结舟，在原来用焊接的地方用折弯后再铆接的方法，这样在舟的两端就有双重的支撑，大大延长了烧结舟的使用周期。
- 烧结
- [发明专利]一种用于炉管的工艺方法-CN202310016549.9在审
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高勇强
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粤芯半导体技术股份有限公司
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2023-01-06
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2023-06-23
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C23C16/455
- 本发明提供了一种用于炉管的工艺方法，包括提供至少一个挡片晶圆及至少一个产品晶圆，产品晶圆的正面和背面均形成有第一沉积层；将产品晶圆和挡片晶圆放置在晶舟内，将晶舟置于炉管的高温反应区，向高温反应区通入第一反应气体进行低压气相沉积工艺，以形成目标材料层；将晶舟转移至炉管的常温装载区，并向常温装载区内通入第二反应气体，以形成第二沉积层，第二沉积层覆盖所述目标材料层，且第二沉积层与第一沉积层的材料相同；将产品晶圆及挡片晶圆移出所述晶舟。避免挡片晶圆和产品晶圆上不同膜层材料引起的对第一反应气体的吸附力差异，改善目标材料层的形貌及均匀性。
- 一种用于炉管工艺方法
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