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[发明专利]晶圆显微镜检查机-CN202211286997.2在审
发明人：赵凯;梁猛;林海涛;卢升;李兵 -专利权人：上海世禹精密机械有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆显微镜检查机，包含：晶圆盒、搬运模块、晶圆观察模块与晶圆显微镜；晶圆盒用于存储晶圆；晶圆观察模块设置在晶圆盒的一侧，用于观察晶圆；晶圆显微镜设置在晶圆盒的另一侧，用于对晶圆进行检测模拟；搬运模块设置在晶圆盒的一侧，用于搬运晶圆。本发明解决了现有技术中存在的人工成本高、工作效率低的缺陷，用于对不同型号的晶圆进行观测，具有工作效率高、加工成本低、加工精度高、生产良率高的特点。
显微镜检查

[实用新型]防止薄片晶圆在化学电镀工艺中粘连的装置-CN201621241835.7有效
发明人：刘勇;李德藻;程彦敏 -专利权人：上海纪元微科电子有限公司
申请日： 2016-11-21 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止薄片晶圆在化学电镀工艺中粘连的装置，至少包括电镀槽和用于放置薄片晶圆的小晶圆盒，还包括一大晶圆盒，所述大晶圆盒垂直放置于所述电镀槽内；所述小晶圆盒以倾斜方式设置于所述大晶圆盒内，所述小晶圆盒与所述大晶圆盒之间的倾角为20‑32°；所述小晶圆盒通过定位装置固定设置于所述大晶圆盒内。本实用新型成本低、工艺流程简单、生产效率高、产品质量可靠且可以防止薄片晶圆粘连。
防止薄片化学电镀工艺粘连装置

[实用新型]一种开放式晶圆盒用夹具-CN201922338793.9有效
发明人：叶欣;汪辉;张江水;吴涛 -专利权人：杭州中为光电技术有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种开放式晶圆盒用夹具，包括晶圆盒、盒用夹具，盒用夹具连接外部定位装置，且盒用夹具用于夹紧晶圆盒，晶圆盒用于放置晶圆。盒用夹具包括夹具框架、智能夹爪、到位检测压紧机构、视觉系统，夹具框架用于连接各个部件，智能夹爪可以通过位置和力双重控制，实现对晶圆盒安全夹取。视觉系统可以控制外部定位装置实现对晶圆盒精确的夹取定位。到位检测压紧机构工作工程中可以起到外部定位装置到位停止控制，又可以压紧晶圆盒上边沿，起到安全精确的夹取辅助作用。本实用新型的开放式晶圆盒用夹具无需人手操作，减少的产品损坏，降低了成本，定位精度高，夹取晶圆盒稳定。
一种开放式晶圆盒用夹具

[实用新型]晶圆盒滑片检测装置-CN202223181505.1有效
发明人：王金;臧宇;吴金马 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆盒滑片检测装置，其中，晶圆盒滑片检测装置包括滑移阈值设定机构，用于设定晶圆盒中晶圆滑片的阈值标准；可移动的传感器机构，可根据所述阈值标准调节所述传感器机构沿所述晶圆盒中晶圆进出方向的晶圆检测位置通过设置滑移阈值设定机构可使得晶圆滑片标准可控，可移动的传感器机构根据阈值标准调准其所处的晶圆检测位置，使得检测时的灵活度更高，有效适应针对不同规格的晶圆的检测。本实用新型的晶圆盒滑片检测装置具备灵活度高、使用方便、适应性好、检测精度高的特点。
晶圆盒滑片检测装置

[发明专利]晶圆盒载具、晶圆盒清洗设备及晶圆盒清洗的方法-CN202310656544.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆盒载具，包含该载具的晶圆盒清洗设备及使用该晶圆盒载具进行晶圆盒清洗的方法，旨在解决现有技术中晶圆盒载具存在的结构复杂、操作成本高、晶圆盒部件与清洗液接触不充分、清洗液排出困难等技术问题本申请公开的晶圆盒载具不仅结构简单，且具有高效的清洗能力，能够通过载具的转动使得清洗时晶圆盒部件内壁与清洗液充分接触，从而提高清洗效果，清洗结束后清洗液可以彻底排出，防止对后续的处理工序带来不便。
晶圆盒载具晶圆盒清洗设备方法

[实用新型]一种具有烘干设备的晶圆盒清洗机-CN202222379751.1有效
发明人：黄诗妤 -专利权人：厦门东骏佳得环保科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B08B9/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有烘干设备的晶圆盒清洗机，其技术方案是：包括外壳，外壳的内壁固定设有烘干机，一种具有烘干设备的晶圆盒清洗机有益效果是：通过烘干机可以将需要烘干的晶圆盒进行烘干，并且通过电机的转动，可以使晶圆盒在烘干的过程中可以进行移动和转动，达到全方位的烘干，并且通过设有铁丝网的结构还可以将底部进行烘干，可以提高清洗后的晶圆盒烘干的效率，烘干速度快，减少烘干后进入晶圆盒内部的灰尘，并且通过机器烘干，提高晶圆盒的外观是干净程度在包装晶圆时，晶圆盒干净程度高自然不会影响晶圆的干净程度。
一种具有烘干设备晶圆盒清洗

[实用新型]一种多功能晶圆片传片装置-CN201721291284.X有效
发明人：尚荣耀;洪常峰;涂培明;张建仁 -专利权人：厦门市三安集成电路有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能晶圆片传片装置，包括底座、两个固定组件以及至少一推片组件；所述两个固定组件于底座上前后相对设置并分别用于固定晶圆片盒，其中各固定组件分别包括用于控制晶圆片盒前后位置的第一固定机构和用于控制应晶圆片盒左右位置的第二固定机构，所述两个固定组件中的至少一个还包括用于控制晶圆片盒上下位置的第三固定机构；所述推片组件设于底座上以用于将一晶圆片盒内的晶圆片推入另一晶圆片盒之内。本实用新型通过固定组件调整晶圆片盒上下、左右、前后方向的位置以使两晶圆片盒的插槽对齐，可实现相同晶圆尺寸不同材质片盒之间的晶圆片的顺利传片，可进行多种晶圆尺寸的晶圆片的顺利传片，使用方便，效率高。
一种多功能晶圆片传片装置

[实用新型]晶圆料盒固定装置及检测设备-CN202221209152.9有效
发明人：陶靖飞;孙月明 -专利权人：精芯智能装备（苏州）有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆料盒固定装置及检测设备，晶圆料盒固定装置包括置物平台、定位部与固定部，置物平台的顶部设有避让孔，定位部用于检测晶圆料盒是否放置于置物平台，固定部与定位部通讯连接，固定部包括限位钩，限位钩根据定位部的检测信息，从避让孔处伸出，以钩持晶圆料盒，或从避让孔处退回，以避让晶圆料盒；检测设备包括晶圆料盒固定装置。本实用新型中，通过限位钩对晶圆料盒钩持，实现晶圆料盒的固定，限位钩位于置物平台的底部，不占用置物平台的上部空间，限位钩接收固定部的检测信息，从避让孔伸出对晶圆料盒进行固定，或从避让孔处退出，对晶圆料盒进行避让，限位钩的动作便利度高，能够对晶圆料盒进行快速固定。
晶圆料盒固定装置检测设备

[实用新型]一种存放晶舟料盒的储物盒-CN202320188318.1有效
发明人：洪成都 -专利权人：捷螺智能设备（苏州）有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B65D25/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种存放晶舟料盒的储物盒，属于储物设备技术领域。为解决现有技术中采用自由移动机器人进行晶舟料盒移送时，晶圆料盒存在掉落和因落尘造成晶圆污染，且完成移送后，采用人工进行料盒拿取，导致生产效率低，人工成本高的问题。本申请包括储物盒本体和载物台；储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；载物台安装于储物空腔内；载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒本申请的储物盒在移送晶圆料盒时，料盒稳定性高，能有效防尘，同时在放料时，能配合机器人手臂自动进行晶圆料盒的放料，降低人工成本，生产效率快，自动化程度高。
一种存放晶舟料盒储物盒

[实用新型]晶圆检测装置-CN202320599008.9有效
发明人：杨建设;张雅凯;贾勇 -专利权人：昆山思特威集成电路有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆测试技术领域，公开了一种晶圆检测装置，包括：晶圆盒，晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在收容空间内平行且间隔设置，晶圆盒上设有与收容空间连通的开口；取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，第一移动组件用于驱动取料手臂移动以将晶圆盒内的任一晶圆通过开口转移至晶圆盒外；检测机构，包括相机，相机位于晶圆盒的一侧并用于采集取料手臂上晶圆的表面图像。上述晶圆检测装置可避免人工手动分片时可能导致的破片风险和污染，保障产品质量，且分片效率高。此外，能够通过检测机构对晶圆的外观进行检测，判断是否存在外观缺陷，提高设备的利用率。
检测装置

[实用新型]一种尺寸可调的晶圆防滑固定的保护装置-CN202123081527.6有效
发明人：段小洪;刘晓辉 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种尺寸可调的晶圆防滑固定的保护装置，包括晶圆展示盒和位于晶圆展示盒内部的多个软支柱，所述软支柱通过晶圆展示盒沿一预定路线固定位置。本实用新型采用软支柱的形式，通过多个软支柱将晶圆固定，防止晶圆转移过程中，晶圆触碰到防静电晶圆展示盒边缘造成晶圆缺口或裂纹的问题，晶圆完整性提高后更加方便人员对晶圆进行后续操作，提高出货效率；同时由于软支柱可以通过晶圆展示盒沿一预定路线固定位置，因此可以调整软支柱之间的距离，从而满足不同尺寸晶圆放置的要求，实用性广，即可以解决现有技术只能单独匹配一种尺寸的晶圆，无法对不同尺寸的晶圆进行适配的问题。并且体积小，占用空间不大，生产效率高。
一种尺寸可调防滑固定保护装置

[发明专利]用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置-CN202211137267.6在审
发明人：何永平;杨金;周水清;李俊朋;陈若愚 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于集成电路立式炉设备的晶圆传输方法及装置，该方法包括以下步骤：将放置有不同类型晶圆的片盒传送至片盒缓存架的对应工位上，并根据相应的顺序将片盒放置到中转缓存架上并将片盒中的晶圆放入到舟架中，直至所需晶圆全部放入到舟架中，完成对晶圆的输入传输。装置包括片盒缓存架、中转缓存架、上下料台、片盒传输组件和晶圆传输组件。本发明中，通过合理的利用片盒缓存架、中转缓存架的存储和转运功能，能够更好的协调不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的放片和取片，进而能够更加可靠、高效的完成不同类型晶圆在缓存架和舟架之间的传输，具有操作简单、过程可控、传输效率高、出错率低等优点，使用价值高，应用前景好。
用于集成电路立式设备传输方法装置

[发明专利]晶圆盒的传送系统和方法-CN201110300338.5有效
发明人：王硕 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种晶圆盒的传送系统，包括：传送装置，所述传送装置包括用于托起晶圆盒的夹持部件；至少两个接触式传感器，位于所述夹持部件与所述晶圆盒接触的表面，用于在所述夹持部件与晶圆盒接触时，发送接触信号相应的，本发明实施例还提供了一种晶圆盒的传送方法，当所有的接触式传感器发送接触信号给触发装置后，所述触发装置才发送触发信号给传送装置，所述传送装置在接收到所述触发信号后开始移动所述晶圆盒，晶圆盒的传送的可靠性高，晶圆盒不易滑落，晶圆不易摔碎。
晶圆盒传送系统方法

[发明专利]一种晶圆转移系统以及方法-CN202111090673.7在审
发明人：吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本发明通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率
一种转移系统以及方法

[实用新型]一种晶圆盒装载台-CN202121013370.0有效
发明人：尹诚诚;刘广齐;刘冬梅;王强;董纯洁 -专利权人：北京锐洁机器人科技有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆装载台，涉及半导体技术领域，解决了突出晶圆需人工介入处理、费时费力的技术问题。该晶圆装载台包括机架，装载平台、晶圆突出归位机构和平台升降传动机构，装载平台通过平台升降传动机构活动设置在机架上，以在接盒位和接晶圆位之间移动；晶圆突出归位机构设置在机架上且位于接盒位旁侧；还包括激光型扫描机构本实用新型通过晶圆突出归位机构能够实现装载过程中晶圆凸出后的晶圆自动归位，无需人工介入，方便快捷，自动化水平高，效率高。
一种盒装

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