专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种半导体传输系统-CN202122763636.X有效
  • 朱新亮 - 上海玖蓥智能科技有限公司
  • 2021-11-12 - 2022-06-17 - H01L21/677
  • 本实用新型属于半导体传输设备技术领域,具体是一种半导体传输系统,包括机械手、陶瓷手臂、校准器、治具,陶瓷手臂设置在校准器上端,校准器、设置在机械手四周,设置治具上。本实用新型同现有技术相比,通过在治具内重叠设置不同大小的U型凸台,并在U型凸台上设置对应大小的X向微调定位块和Y向微调定位块,通过不同大小的X向微调定位块和Y向微调定位块与对应的U型凸台相配合,使治具可以兼容不同大小的
  • 一种半导体传输系统
  • [实用新型]一种片的取片装置-CN202221349191.9有效
  • 洪加添;潘锴 - 福建兆元光电有限公司
  • 2022-05-31 - 2022-11-08 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种片的取片装置,包括盒和载台底座;载台底座的上表面为倾斜面;盒可拆卸放置在载台底座上,且盒内的每个槽沿着倾斜面的倾斜方向依次排列分布;本实用新型通过将载台底座上方设置为倾斜面,从而使得座以倾斜放置的方式放置在载台底座上,位于槽内的片便会朝向同一方向倾斜,确保了位于槽内的每片晶片的固定间距,使得吸笔深入时不易刮伤片,且片在放置入槽处时也能够根据盒的倾斜方向来确保每片晶片正背面朝向的一致,也有效防止吸笔吸片时吸到片正面,减少操作造成的质量缺陷,以提升片的生产效率。
  • 一种晶圆片装置
  • [实用新型]寻边装置-CN202320777102.9有效
  • 郭钰;彭佳 - 湖南三安半导体有限责任公司
  • 2023-04-10 - 2023-09-26 - H01L21/68
  • 本实用新型公开了一种寻边装置,涉及半导体制备辅助装置技术领域,通过推片机构来将放置在承载台负载区域的第一内的推入放置在过渡区域的第二内,从而避免由于手动推片更换卡导致脏污甚至碎片的风险;此外,还通过转移机构将第二转移至寻边区域,以使得寻边器接触第二内的,从而利用平边特性对进行寻边,寻边更为精准。
  • 晶圆寻边装置
  • [实用新型]一种片清洗用载盒-CN202222908091.1有效
  • 洪加添;黄秀兰;林展成 - 福建兆元光电有限公司
  • 2022-10-31 - 2023-05-02 - B08B11/02
  • 本实用新型涉及LED芯片技术领域,具体涉及一种片清洗用载盒,所述固定板立设,所述固定板的下部侧壁贴附外盒的一外侧壁设置;所述固定板上部设有定位孔;所述内盒设有多个且均设置在外盒内,所述内盒靠近固定板的一端向下倾斜本实用新型的有益效果在于:只需设置中的片反面全部都朝向固定板,片在所述片清洗用载盒中时,片因为重力自动的反面贴附内壁,而正面与间隔设置。故本实用新型提供的片清洗用载盒,实现片在清洗机中时,片的正面不贴住内壁。
  • 一种晶圆片清洗用载盒
  • [实用新型]一种转移工具-CN202123304432.6有效
  • 周科群;罗立辉;陈建江 - 宁波芯健半导体有限公司
  • 2021-12-24 - 2022-05-24 - H01L21/673
  • 本发明涉及半导体制备的技术领域,尤其是涉及一种转移工具。其包括以及转移夹抓,所述包括框以及对称设置于框的两侧的限位条,所述框的上端面开设有放置槽,所述放置槽的槽壁开设有若干供放置的圆弧状槽;所述转移夹抓包括控制杆以及对称设置于控制杆的下端部的限位部本申请具有改善转移的操作难度的效果。
  • 一种转移工具
  • [实用新型]一种抓取总成-CN202221862183.4有效
  • 崔思远;黄知文;吴琼琼;金从龙 - 江西兆驰半导体有限公司
  • 2022-07-19 - 2023-02-28 - H01L21/687
  • 本实用新型公开了一种抓取总成,包括滑轨组件、与滑轨组件滑动连接的滑动组件以及用于驱动滑动组件沿滑轨组件滑移的第一驱动装置,第一驱动装置固定连接在滑轨组件上,滑动组件上连接有第二驱动装置,第二驱动装置的输出端连接有抓取组件,以驱动抓取组件沿滑动组件远离或靠近方向运动,抓取组件用于对塞进行抓取,采用机械对塞进行抓取,解放操作人员双手,极大程度提高了对抓取及后续转运效率,解决了目前对的抓取和搬运,均通过人工手动操作,极大程度耗费人力,且降低了搬运效率问题。
  • 一种晶圆卡塞抓取总成
  • [实用新型]片推片器-CN202123241287.1有效
  • 郭可满;薛凡;胡成定;王睿 - 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
  • 2021-12-22 - 2022-04-26 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及的是片推片的技术领域,具体是一种片推片器,所述片推片器包括:放置部,所述放置部开设有放置槽,所述放置槽用于放置;推动部,连接于所述放置部,位于所述放置槽的一端,用于将所述片从所述中推出;两个挡板,连接于所述放置部,分别位于所述放置槽的另一端的两侧,如此设置,当片从中推出后,通过片两侧的挡板限制片的移动,避免片发生侧倾,导致片滑落,引发碎片的情况发生。提高了片推片器的可靠性。
  • 晶圆片推片器
  • [实用新型]一款自动整理设备-CN202320911172.9有效
  • 孙昌才;孙涛涛;吴拓;吴为珍 - 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
  • 2023-04-19 - 2023-08-18 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及自动整理技术领域,尤其为一款自动整理设备,包括设备主体,设备主体内设有隔板,隔板由上至下依序设有上窗口以及下窗口,隔板靠近设备主体内部一侧设有传送带,传送带顶端靠近隔板处设有连接杆,连接杆呈门形设置,连接杆顶端内部设有第二伸缩缸,第二伸缩缸的执行端设有微型伸缩缸,微型伸缩缸的执行端连接设有抵板,微型伸缩缸与连接杆连接处设有移动槽,本实用新型在空之间增设传送带,通过连接杆内部的伸缩缸使抵板抵住,并在伸缩缸的作用下将向空位置移动,利用惯性使在抵板的推动下插入空中,在对进行整理时,能够快速高效将分类好的装入中,提高装置的实用性。
  • 一款自动整理设备
  • [发明专利]一种MOCVD集成上下片装置-CN202310104994.0在审
  • 陈朝星;刘纯君 - 上海福赛特机器人股份有限公司
  • 2023-02-13 - 2023-07-07 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种集成上下片装置,用于执行LED MOCVD工艺,包括设置在防护腔体的内部的上片机构和下片机构,均包括存储单元、装载单元、运输单元、定位单元、石磨盘定位单元,防护腔体与MOCVD设备连通;存储单元用于存储多个和料架,用于存放,料架用于存放石磨盘;定位单元用于承载并对的角度进行调整;运输单元用于实现定位单元、石磨盘定位单元之间的传输;石磨盘定位单元用于承载石磨盘并且石磨盘的角度进行调整;装载单元用于实现定位单元之间以及石磨盘在石磨盘定位单元和MOCVD设备、石磨盘定位单元和料架之间的逐一传输。
  • 一种mocvd集成下片装置
  • [发明专利]一种MOCVD集成上下片装置-CN202310104957.X在审
  • 陈朝星;刘纯君 - 上海福赛特机器人股份有限公司
  • 2023-02-13 - 2023-05-23 - C23C16/458
  • 本发明涉及集成电路工艺的技术领域,公开了一种MOCVD集成上下片装置,包括设置在封闭空腔内部的存储单元、装载单元、定位单元、石磨盘定位单元,所述封闭空腔与MOCVD设备连通;所述存储单元用于存储多个,每个内部均自上而下均匀间隔叠放有多个;所述定位单元用于承载并对的角度进行调整;所述石磨盘定位单元用于承载石磨盘并且石磨盘的角度进行调整;所述装载单元用于实现定位单元之间、定位单元和石磨盘定位单元之间的逐一传输,以及石磨盘在石磨盘定位单元和MOCVD设备之间的逐一传输。
  • 一种mocvd集成下片装置
  • [实用新型]装载机及光刻机-CN202120605061.6有效
  • 潘钙;王国峰;杨忠武 - 青岛惠芯微电子有限公司;青岛惠科微电子有限公司;北海惠科半导体科技有限公司
  • 2021-03-25 - 2021-10-22 - H01L21/677
  • 本实用新型提供了一种装载机及光刻机,所述装载机包括并排设置的上片单元和卸片单元;所述上片单元包括:上片、上片传送装置以及进片口输出端;所述卸片单元包括:出片口接收端、装片传送装置以及接片;所述卸片单元还包括转弯导引机构,所述转弯导引机构与所述装片传送装置可拆卸连接,所述曝光后的由所述装片传送装置驱动,从出片口经所述转弯导引机构转弯导引至所述接片中容纳存放。通过在其外端部上设置一转弯导引机构,该转弯导引机构的尺寸可调节,从而使得一个装载机可以适用于加工装载不同尺寸的,节约了成本。
  • 装载光刻

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