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[发明专利]掩膜版组件及其制备方法-CN201910425517.8有效
发明人：徐鹏;嵇凤丽 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种掩膜版组件及其制备方法，掩膜版组件包括框形架、主掩膜版和辅助掩膜版。主掩膜版和辅助掩膜版层叠设置，主掩膜版的外周区域和辅助掩膜版的外周区域，分别与框形架的内周区域连接。主掩膜版设置有多个工艺孔，辅助掩膜版设置有至少一个避让孔，工艺孔与对应的避让孔中一部分区域正对。辅助掩膜版与框形架之间的拉伸力，大于主掩膜版与框形架之间的拉伸力。框形架与辅助掩膜版预先形成的是一个不易再次变形且具有较高强度的组件，主掩膜版再连接至第一状态的框形架后，第一状态的框形架不会再次发生较明显的变形，使得主掩膜版的平坦度误差较小，主掩膜版的工艺孔形状精度以及相对于框形架的位置精度较高
掩膜版组件及其制备方法

[发明专利]一种具有分离式网框的张网机及其张网加工方法-CN202211482797.4在审
发明人：蔡宗宏 -专利权人：黄石全洋光电科技有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及金属掩膜版技术领域，尤其是一种具有分离式网框的张网机及其张网加工方法，包括金属掩膜版网框，其特征是：所述金属掩膜版网框的上表面两端等距设有若干凹槽，若干所述凹槽内设有分离式网框，所述金属掩膜版网框的上表面若干设有金属掩膜版，多个所述分离式网框的上表面均对应设有金属掩膜版，所述金属掩膜版网框的外部四周均设有夹持组件，所述金属掩膜版网框的上方设有点焊组件及CCD相机。本发明具有分离式网框的张网机机通过将多个金属掩膜版的拼接与内置隐藏式分离式网框张网对位后进行镭射点焊，可以有效进行不同大规格金属掩膜版产品的制作，结构布局更加合理。
一种具有分离式网框张网机及其加工方法

[发明专利]一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法-CN202210355669.7在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法，涉及金属掩膜版领域。金属掩膜版框包括固定框、四组活动框边和若干弹簧；固定框四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔，弹簧孔沿相应的外侧面的法向向框体内部延伸；活动框边分别设置在固定框的四边上，且均与固定框的上侧面滑动连接，活动框边具有弹簧阻挡部，弹簧阻挡部覆盖于相应的固定框的外侧面；弹簧与弹簧孔相适配，分别安装于相应的弹簧孔内，弹簧外端抵接于弹簧阻挡部的内侧面上。掩膜版组件包括上述金属掩膜版框和金属掩膜版。张网时，通过朝向固定框中心的方向挤压移动活动框边到预设位置，然后将金属掩膜版张网并焊接在活动框边上。本发明能够抑制掩膜网面的下垂。
一种金属掩膜版框掩膜版组件及其加工方法

[发明专利]拼接式掩膜版及其制造方法-CN201910231370.9在审
发明人：范元骏 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种拼接式掩膜版，包括多个所述标记设置在掩膜版外框和掩膜版内框之间，所述重复器件单元掩膜版和非重复器件单元掩膜版并列排布在掩膜版内框内，该掩膜版的每种重复器件单元掩膜版仅保留一个，所述重复器件单元掩膜版和非重复器件单元掩膜版之间设有遮光带本发明还公开了一种所述拼接式掩膜版的制造方法。本发明每一种半导体器件重复单元的掩膜板只保留一个，将其他半导体器件重复单元掩膜板去除，重新组合排列，去除了大部分导体器件重复单元能实现将拼接式掩模版外框的长、宽均小于光刻机所能支持像场范围。采用本发明仅制作一张掩膜版便可以实现大面积拼接式芯片完全曝光，极大的减少了生产成本。
掩膜版拼接式重复器件半导体器件器件单元非重复掩膜板内框外框标记设置并列排布导体器件重新组合光刻机掩模版遮光带保留去除像场生产成本制造芯片曝光制作

[发明专利]一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法-CN202210356434.X在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法，涉及金属掩膜版领域。液压式金属掩膜版框包括液压框，液压框框体内部具有液体腔，液体腔内填充液压介质，液压框框体的外侧面上分布有若干活塞孔，活塞孔内均装有与之相适配的活塞推杆，液压框上还具有至少一个调节孔，调节孔与液体腔连通，调节孔内连接有压力调节单元；还包括四组活动框边，分别设置在液压框的四边上，且均与液压框的上侧面滑动连接，活动框边具有推杆阻挡部，推杆阻挡部覆盖于液压框的相应的框体外侧面，活塞推杆的外端抵接于推杆阻挡部的内侧面掩膜版组件包括上述液压式金属掩膜版框和金属掩膜版。本发明能够抑制掩膜网面的下垂，提高产品质量。
一种液压式金属掩膜版框掩膜版组件及其调节方法

[发明专利]掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法-CN201911310583.7有效
发明人：姚固;王玉;郭书鹏;童亚超 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开一种掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法，属于显示技术领域。掩膜组件包括掩膜框架和掩膜版，该掩膜版位于该掩膜框架上，该掩膜框架包括相对的两个框边，该掩膜版的中心能够沿水平方向在该两个框边之间移动；该掩膜版具有多个掩膜孔，该掩膜版的中心处于不同位置时该多个掩膜孔在待掩膜平面上的正投影不重叠，该不同位置沿水平方向位于该两个框边之间。本申请的掩膜组件能够在一次蒸镀工艺中蒸镀多个膜层，有助于简化确定不同膜层的厚度分布的过程。
组件装置方法

[发明专利]一种掩膜版金属框传送模块-CN202011599253.7有效
发明人：钱超;余洋;植启东;黄斌 -专利权人：南京深光科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，嵌槽设置于缺口之间，嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，第二滑块与稳定机构固定连接。优点在于：本发明可使得掩膜版金属框在进行传输的过程中不直接与输送轨道相接触，并且还可更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。
一种掩膜版金属传送模块

[实用新型]一种掩膜版夹具-CN202223304507.5有效
发明人：陈德浇;司继伟;杜武兵 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版夹具，包括外框，还包括内框，连接于所述外框并位于所述外框内部；卡槽，固定于所述内框的框边上，用于卡持掩膜版；固定块，固定连接于真空镀膜设备；连接组件，与所述固定块对应设置，所述连接组件连接于所述外框与固定块之间本实用新型通过在内框上设置卡槽，可将掩膜版置于内框中用卡槽卡持即可，不需要将掩膜版挂在夹具上，也不需要将掩膜版贴附在夹具上，既可满足新产品中掩膜版的固定需要，也可以满足产品本身的高清洁度要求。
一种掩膜版夹具

[发明专利]一种掩膜版、掩膜版的使用方法及封框胶固化方法-CN202211270641.X在审
发明人：王洋清;杨雪鑫;张千;岳彬;童俊海;庄珍珍;李福顺;周晖;黄骏;陈芸;林忱 -专利权人：福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜版、掩膜版的使用方法及封框胶固化方法，解决了现有UV Mask不能满足多尺寸的要求，增加了开发成本的问题。掩膜版包括：遮光区和开设于所述遮光区的多个透光区；多个透光区由掩膜版的中心向边缘间隔排布；多个透光区为以所述掩膜版的中心为中心的具有不同尺寸的环状区域。掩膜版的使用方法包括：曝光时，分别遮住掩膜版的遮光区和部分透光区，留有目标透光区的第一区域不被遮挡；遮住掩膜版的遮光区和部分透光区，留有目标透光区的第二区域不被遮挡；遮住掩膜版的遮光区和部分透光区，留有目标透光区的第三区域不被遮挡封框胶固化方法包括透过掩膜版对封框胶进行曝光。
一种掩膜版使用方法封框胶固化方法

[发明专利]一种掩膜版、制作方法及制作夹具-CN202210105205.0在审
发明人：刘鑫;郑庆靓;李博;吴义超;赵阳;周俊吉 -专利权人：成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版、制作方法及制作夹具，涉及显示设备技术领域；技术方案：掩膜版本体工作面上拱，能够提高掩膜版本体的结构强度，减小掩膜版本体因材料本身刚度、重力和受热膨胀的下垂量，或避免掩膜版本体下垂，以通过掩膜版本体支撑金属精细掩膜版，减小金属精细掩膜版的下垂量或避免金属精细掩膜版，从而降低显示屏混色比例和混色风险，提高显示屏的成品率。掩膜版制作方法，在掩膜版本体的工作面涂覆张应力涂层或在掩膜版本体结构面涂覆压应力涂层，均可获得前述的掩膜版本体。掩膜版制作夹具，包括掩膜版边框装载框和支撑板，支撑板位于装载框上端且各侧与装载框对应的侧壁连接，可通过支撑板可对掩膜版提供支撑。
一种掩膜版制作方法制作夹具

[发明专利]掩膜版张网框架及掩膜版张网工艺-CN201810639566.7在审
发明人：孙朴;吕守华;王震 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-06-20 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明公开一种掩膜版张网框架及掩膜版张网工艺，掩膜版张网框架包括框体和多根支撑筋。框体为具有开口的闭合框式结构，框体具有顶面。其中，支撑筋固定于框体的顶面，且支撑筋跨设于框体的开口。其中，掩膜版张网于掩膜版张网框架时，掩膜版边缘焊接于框体的顶面，掩膜版的位于开口的部分由支撑筋支撑。本发明通过在采用“支撑筋固定在框体顶面并筋跨设于框体开口”的设计，使得“掩膜版张网于掩膜版张网框架时，掩膜版边缘焊接在框体的顶面，且掩膜版的位于开口的部分由支撑筋支撑”。据此，本发明提出的掩膜版张网框架能够使掩膜版张网后，由支撑筋提供充分的支撑效果，并使掩膜版获得较佳的平坦度。
掩膜版张网支撑筋框体顶面开口掩膜版边缘跨设焊接支撑闭合框式框体顶面框体开口平坦度

[实用新型]一种金属掩膜版及其金属网框-CN201920391281.6有效
发明人：王宝 -专利权人：南京高光半导体材料有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属掩膜版及其金属网框，属于金属掩膜版技术领域。一种金属掩膜版，包括金属网框与固定在金属网框上表面的金属掩膜，金属网框包括依次固定连接在一起形成框架结构的边条，边条的上表面为金属网框与金属掩膜接触的上表面，所述边条的上表面为凸凹表面，所述金属掩膜通过电镀直接生长在边条的上表面上，所述金属掩膜的下表面将凸凹表面填充满使金属掩膜与金属网框无缝结合在一起。本实用新型的金属网框的上表面为凸凹结构，金属掩膜由电镀镀层直接生长而成，金属掩膜与金属网框无缝结合在一起，金属掩膜与金属网框的连接牢固，蒸镀时不会发生破片的现象。
一种金属掩膜版及其金属网

[发明专利]掩膜版组件-CN201810076395.1有效
发明人：张涛 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜版，包括掩膜承载框和固定连接于掩膜承载框的掩膜，所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板包括朝向第二支撑板的第一连接面，所述第二支撑板包括朝向第一连接面的第二连接面，所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和第二连接面，所述第一连接面和第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。本发明还提供一种掩膜版组件，用于对位贴合玻璃基板和掩膜，包括上述掩膜版和基台，所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针，所述掩膜版位于多个所述第二顶针上，多个所述第一顶针以支撑所述玻璃基板且使玻璃基板位于掩膜版正下方，所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使玻璃基板与掩膜对位。
掩膜版组件

[发明专利]掩膜版组件及掩膜版保护组件去除方法-CN201811454862.6在审
发明人：高丁山;唐光亚 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜版组件及掩膜版保护组件的去除方法，掩膜版组件包括，光掩模版；掩膜版保护组件，掩膜版保护组件通过粘结物粘接在光掩模版上；以及冷却装置，冷却装置至少将粘结物冷却，从而使得粘结物脱离所述光掩模版通过上述技术方案，本发明的掩膜版组件及掩膜版保护组件去除方法，通过冷却的方式使得光掩模版和保护框之间的粘结物脱离光掩模版，可以是使二者之间的粘结物硬化，从而使得粘结物脱离光掩模版，可以使得粘结物与保护框一同被移除
掩膜版组件保护去除方法

[发明专利]掩膜版及掩膜版的制作方法-CN202210758162.6在审
发明人：邱岳;李伟丽;王水俊;韩冰;李文星 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种掩膜版及掩膜版的制作方法，其中，掩膜版包括框式主体、多个第一支撑条、多个遮挡条以及多个掩膜条，第一支撑条和遮挡条相交设置且设置于框式主体，多个第一支撑条和多个遮挡条围合构成多个第一开口；掩膜条包括一个第二开口以及在第一方向上分别设置于第二开口两侧的边框区，其中，掩膜条通过边框区连接于框式主体，第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿第一方向设置的多个第一开口在框式主体上的正投影。本申请实施例能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险，提高蒸镀精度，进而改善显示面板的性能。
掩膜版制作方法

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