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[发明专利]一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法-CN201410468911.7有效
发明人：王艳;孙斌;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2014-09-15 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法，所述传感器包括桥接式纳米测试敏感单元、微流道取样单元、制热取样单元和测试室单元；所述传感器制备方法将纳米材料分散于聚合物体系形成复合物薄膜，将纳米材料通过薄膜微结构引入微加工体系，之后辅助常规的微加工图形化、可控刻蚀、溅射和微电铸等工艺制备桥接式纳米测试敏感单元，同时使用微加工工艺在桥接式纳米测试敏感单元外围设计微流道取样单元、制热取样单元以及测试室单元，形成桥接式纳电极集成检测微系统——自加热微流道桥接式纳电极传感器。该系统同时具备气态液态样品取样和检测功能，实现了桥接式纳电极传感器与微型化系统的集成制造。
一种加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法

[发明专利]一种玻璃微纳流控芯片、制作组装方法及其辅助装配装置-CN200910302903.4无效
发明人：徐征;刘冲;温金开;刘军山;王德佳;杜立群 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2009-06-04 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃微纳流控芯片、制作组装方法及辅助装配装置。该芯片包含一个或者多个微纳富集单元，每个微纳富集单元由两条互不相交的微通道、纳通道阵列和储液池组成，微通道和储液池分布在盖片上，纳通道阵列分布在基片上，利用组装基片和盖片的方法通过纳通道阵列将两条微通道桥接组装包括对准、预连接和键合三步，利用辅助对准装置将微纳通道的对准桥接，利用水膜与玻璃表面相互作用实现具有一定强度的基片-盖片预连接，通过热键合封装微纳流控芯片。本发明提供一种包含多组可变参数的富集结构高通量微纳流控芯片和制造组装方法，提高了芯片部件互换性。芯片制造简单，无需二次对准-套刻-腐蚀，降低了工艺复杂性，实现低成本和批量化的目标。
一种玻璃微纳流控芯片制作组装方法及其辅助装配装置

[发明专利]一种基于微纳气泡辅助的电化学反应器-CN202210564960.5在审
发明人：冯浩;甘乔炜;刘东;张莹;李强 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C25B15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微纳气泡辅助的电化学反应器，包括阴极组件，具有流道以及置于流道内的阴极催化剂；阳极组件，所述阳极组件与所述阴极组件之间由离子交换膜隔离；微纳气泡生成组件，所述微纳气泡生成组件与所述流道连通，所述微纳气泡生成组件产生的微纳气泡于所述流道内穿流并经过所述阴极催化剂。本发明的反应器集成了二氧化碳微纳气泡生成组件，微纳气泡通入电化学反应器后会在反应器内形成稳定气‑液两相流动，并在电极表面形成扰动，有助于强化反应产物的脱附和传递。
一种基于气泡辅助电化学反应器

[发明专利]一种高精度微流道网络制作方法-CN201811148758.4在审
发明人：解婧;邢建鹏;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度微流道网络制作方法，采用了光刻、刻蚀、电铸、电镀、注塑、键合、粘接等程序，进行了微纳加工、电化学等方法的多套微流道网络高精度模具制备，突破了高质量图形结构和使用寿命的金属模具制备技术难点该发明将微纳加工与高精度机械加工技术融合，集成微流控传感芯片跨尺度制备技术，制备出具有较大深宽比、侧壁陡峭、表面平整的精细的结构微流道网络。可以构建适用于多种微小样本的高通量、微型化、高性能微流道网络芯片，能够适用于多种终端应用，可以广泛应用于生物、化学、医学分析等科研及工程领域。
一种高精度微流道网络制作方法

[发明专利]微纳流道器件、制备方法及其用于太赫兹近场检测装置-CN202211644076.9在审
发明人：陈利刚;王化斌;杨忠波 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N21/3586 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳流道器件，所述微纳流道器件用于太赫兹近场检测，所述微纳流道器件从上之下依次包括：太赫兹近场增强薄膜层，薄膜支撑层，以及基底层。本发明太赫兹近场检测装置，用于太赫兹近场检测，该装置将太赫兹高分辨技术与微纳流道腔体器件结合，实现溶液中目标物在个体水平的探测，为溶液样品(如溶液中单个生物分子、单个细胞等)的太赫兹精准探测提供技术支持
微纳流道器件制备方法及其用于赫兹近场检测装置

[发明专利]一种增强溶液中生物分子太赫兹特征信号的纳流道棱镜波导及其制备方法-CN201610349861.X有效
发明人：张明焜;魏东山;杨忠波;夏良平;颜识涵;汤明杰;施长城;崔洪亮;杜春雷 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种增强溶液中生物分子太赫兹特征信号的纳流道棱镜波导。所述纳流道棱镜波导包括太赫兹多次衰减全反射(M‑ATR)棱镜1，规则排列的阵列式纳流道2，盖片3，太赫兹波耦合面4，所述阵列式纳流道2设置于太赫兹M‑ATR棱镜1上下两面，所述盖片3用于密封纳流道2，所述盖片3与阵列式纳流道结构2接触的一面设有与纳流道2垂直的微流道31，所述微流道31上设有进出样孔32，所述太赫兹波耦合面4设置在太赫兹M‑ATR棱镜1两端。利用本发明的纳流道棱镜波导，可在溶液环境下的生物分子的太赫兹光谱检测中，增强生物分子的太赫兹特征吸收信号，提高特征光谱的信噪比。
一种增强溶液生物分子赫兹特征信号纳流道棱镜波导及其制备方法

[发明专利]一种支架微桥-微流控芯片及生物活性材料的细胞迁移能力评价方法-CN202310425269.3在审
发明人：袁暾;叶胜;倪潘显志;熊书婷;钟萌 -专利权人：四川大学
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种支架微桥‑微流控芯片及生物活性材料的细胞迁移能力评价方法，芯片包括：基底，基底上的中间夹层，以及覆盖中间夹层的盖片；其中，基底靠近中间夹层的一侧设置培养流道和位于培养流道两侧的迁移流道；在培养流道与每个迁移流道之间预留有多个贯通的微桥区域；多个微桥区域嵌入生物活性材料制成的支架微桥，用于重建微流控芯片结构。多个微桥区域可嵌入不同或相同种类的支架微桥，用于对支架微桥所引起的细胞迁移能力进行研究或评价。将生物活性材料作为微流控芯片结构的一部分进行微流控芯片的结构重构。
一种支架微流控芯片生物活性材料细胞迁移能力评价方法

[发明专利]一种利用仿生毛细管微流道进行液相加工的方法-CN202110030832.8在审
发明人：高寒飞;吴雨辰;江雷 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-01-11 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用仿生毛细管微流道进行液相加工的方法，包括步骤：A1.制备其至少一面具有多个微流道的微流道模板；A2.制备基底；A3.把含有发光材料的分散液或溶液滴在所述基底上铺展；A4.把所述微流道模板具有微流道的一面压在所述基底上，从而使所述微流道与基底之间围成毛细管微腔；A5.静置以待溶剂挥发完全后把所述微流道模板与基底分开，得到具有发光材料微纳图案的基底；利用该方法易于大面积制备具有发光材料微纳图案的基底，且实施难度小，实施成本较低
一种利用仿生毛细管微流道进行相加方法

[实用新型]一种宽流道卷式膜组件-CN201120249063.2有效
发明人：包进锋;洪海云;陈甘 -专利权人：浙江开创环保科技有限公司
申请日： 2011-07-13 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： B01D63/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及卷式膜组件，尤其涉及并公开了一种宽流道卷式膜组件，包括径向卷绕在产水管上的进水导流网、膜片、产水导流网，所述的进水导流网具有至少一个绕径向相通的进水流道。本实用新型的一种宽流道卷式膜组件由于采用新型的进水隔网流道，可满足进水水质较差的要求。在中水回用领域，可完成除杂和脱盐双重功能；在特种物料分离领域，如果采用纳滤膜，可一步完成除杂(悬浮物和胶体)和一价盐的脱除，替代超滤(微滤)+纳滤的工艺，因代替目前的超滤(微滤)+纳滤的工艺，因此具有广阔的应用前景
一种宽流道卷式膜组件

[发明专利]一种用于生化分子检测的微纳生化传感芯片-CN200510012233.4有效
发明人：陈献忠;罗先刚;王皓;姚汉民;陈旭南;李海颖 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2005-07-21 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： G01N33/50 文献下载
摘要：一种用于生化分子检测的微纳生化传感芯片，其特征在于：将微机械无阀泵和微纳生化传感器集成到一起构成微纳生化传感芯片，主要包括进液口、储液池、微流道、金属微纳米结构传感器、左右异阻流道、微机械无阀泵、废液池、出液口，生物分子液体由进液口流入储液池，经微流道进入由金属纳米结构传感器，部分生物分子会附着在金属微纳结构传感器的表面，再经左异阻流道进入微机械无阀泵中，当微机械无阀泵的泵腔容积发生周期变化时多余的生物分子液体经右异阻流道泵入废液池
一种用于生化分子检测传感芯片

[发明专利]桥接式微纳结构传感单元的阵列传感器的制备方法及产品-CN201911034800.4有效
发明人：史铁林;林建斌;廖广兰;方涵;韩航迪 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本发明属于微纳传感器制备领域，并具体公开了一种桥接式微纳结构传感单元的阵列传感器的制备方法及产品。所述方法包括：在基底表面制备多对需要桥接的指定形状的电极阵列，然后制备一层指定形状和厚度的种子层，接着在种子层表面外周除了桥接面制备一层钝化保护层，并对种子层进行热处理，以改善种子层的结晶性，最后采用溶液法定向生长微纳结构，使得多对所述电极阵列实现桥接。所述产品包括基底、电极阵列、种子层、钝化保护层以及微纳结构，微纳结构生长于种子层未覆盖钝化保护层的一面上，从而实现该对电极阵列的桥接。本发明制备的传感器具有灵敏度高、故障容差性强的特点，大幅度降低了传统桥接式微纳结构传感器敏感层之间的结电阻。
式微结构传感单元阵列传感器制备方法产品

[发明专利]一种用于生物微纳粒子微操控的微流道平台-CN201810820387.3有效
发明人：单子豪;吴兴坤 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于生物微纳粒子微操控的微流道平台，该平台能够实现对生物微纳粒子的位置和流速约束；该平台包括：单通道注射泵、锥形管道、管道架、盖玻片、微流道和底座；其中，所述单通道注射泵和锥形管道连通；所述锥形管道固定在管道架上，锥形管道的锥角为6‑12°，锥形管道的锥口对准微流道的流道口；所述管道架和盖玻片固定在底座上，底座为插片式结构；所述微流道固定在盖玻片上，微流道为两边宽中间窄的对称双圆弧结构
微流道锥形管道盖玻片操控底座粒子双圆弧结构单通道注射泵对称插片式结构流道口最近点量产锥角锥口连通对准两边便利

[发明专利]用于谐振式微纳生化器件的集成系统-CN201610796608.9在审
发明人：杨晋玲;王栎皓;廖驹;张金英;朱银芳;杨富华 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：一种用于谐振式微纳生化器件的集成系统，包括一固定支架；一底板，其制作在固定支架的上面的中间；一盖片，其中间的一侧开有凹槽，便于固定压制微纳生化器件，该盖片位于底板的一侧；一顶板，其制作在盖片的上面；该盖片和顶板的上面开有连通的微流道，该微流道包括进出液体口，该微流道与微纳生化器件上的沟槽连通；该固定支架、底板、盖片和顶板通过螺栓固定；一电路接口，其制作在底板上面的另一侧；一模拟电路，其上固定有固定支架，该模拟电路与电路接口连接，该模拟电路用于追踪微纳生化器件的谐振频率，将微纳器件输出的交流信号提取、去噪和放大，并反馈至微纳器件对其驱动；一数字电路，其与模拟电路连接，该数字电路用于测量微纳生化器件的谐振频率及数据处理。
用于谐振式微生化器件集成系统

[发明专利]跨微纳尺度集成流道的制备方法-CN201010620619.4有效
发明人：尚金堂;罗新虎;于慧;蒋明霞;刘靖东 -专利权人：东南大学
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开一种跨微纳尺度集成流道的制备方法，属于微纳制造领域，具体步骤为：第一步，在硼硅玻璃微流道之间制备硼硅玻璃隔膜，第二步，对硼硅玻璃隔膜进行热处理使玻璃分相，第三步，采用腐蚀液对硼硅玻璃隔膜进行腐蚀形成纳米孔洞，使得硼硅玻璃微流道之间连通，从而得到跨微纳尺度集成流道。本发明通过硼硅玻璃流道在热成型过程中腔壁互相挤压过程中形成厚度为微米至亚微米甚至更薄的硼硅玻璃隔膜，对其进行热处理使硼硅玻璃分相，再利用腐蚀液去处富硼相，可以使得玻璃隔膜在最薄处导通，形成纳米尺度的连通孔该方法过程简单，不需要特别的设备，成本较低，流道可重复使用。
跨微纳尺度集成制备方法

[实用新型]基于微纳光纤的微流体镊子-CN201621437168.X有效
发明人：邢晓波;郑嘉鹏;周瑞雪;张俊优;何赛灵;杨剑鑫;史可樟 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于微纳光纤的微流体镊子，该镊子包括光热微纳光纤、微流室、光信号输入端口、微流泵、微流体，光热微纳光纤由光热转换材料与微纳光纤组装而成，光热微纳光纤浸没在微流室底部，光源发出的光信号在光热微纳光纤上传输；微流泵通过管道与微流室连接。光热微纳光纤通过光信号激发出热量进而在整个微流体中产生温度梯度，诱导产生以竖直式涡旋流为特征的浮力对流以及以水平式涡旋流为特征的热毛细对流。通过微流泵可改变流体层厚度进而控制微流体的流动模式。通过光信号的功率可改变光热微纳光纤的热量进而控制微流体的流动强度。该方法快捷方便、成本低廉且高效，可以产生多种形式的流体流动。
基于光纤流体镊子

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