专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]嵌入镜像位SONOS存储器的工艺方法-CN202010893760.5有效
  • 王宁 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2020-08-31 - 2023-10-24 - H10B43/35
  • 本发明公开了一种嵌入镜像位SONOS存储器的工艺方法:在半导体衬底上淀衬垫氧化和氮化硅;使氮化硅图案化;对暴露出的衬垫氧化进行刻蚀;生长一ONO;淀第一多晶硅并进行CMP工艺及刻蚀;第一氧化生长及刻蚀;第一多晶硅进行二次刻蚀;对ONO进行刻蚀;第二氧化生长;淀第二多晶硅并对第二多晶硅进行CMP工艺;移除氮化硅及衬垫氧化;第三氧化及第三多晶硅的生长及刻蚀。本发明通过调整光刻定义的范围,将光刻定义的范围扩展至一次打开一个选择管加两个存储管的整体宽度,单个存储管的宽度由氧化的淀厚度来自对准定义,可以在光刻能力有限的情况下,实现更小尺寸的嵌入镜像位SONOS
  • 嵌入式镜像位sonos存储器工艺方法
  • [发明专利]半导体存储装置及其制造方法-CN201610580957.7有效
  • 寺田隆司;加藤久词;小山庆晃 - 东芝存储器株式会社
  • 2016-07-21 - 2019-07-05 - H01L27/11551
  • 根据实施方式,半导体存储装置包括:衬底;第1体,配置在所述衬底上;第2体,配置在所述衬底上,具有比所述第1体的层数多的层数,且具有各自分开的电极;及第3体,配置在所述第1体与所述第2体之间,且具有比所述第1体的层数少的层数。所述第1体具有各自分开的多个第1、及配置在所述多个第1之间的多个第2。所述第3体具有:第3,包含与所述多个第1相同的材料;及第4,包含与所述多个第2相同的材料,且隔着所述第3与所述衬底分开。
  • 半导体存储装置及其制造方法
  • [发明专利]小量程MEMS电容压力传感器及其制备方法-CN202210156339.5在审
  • 傅邱云;王静;罗为;聂波 - 华中科技大学;孝感华工高理电子有限公司
  • 2022-02-21 - 2022-06-28 - G01L9/12
  • 本发明涉及压力传感器技术领域,提供了一种小量程MEMS电容压力传感器的制备方法,包括如下步骤:S1,于衬底上淀下电极,并将所述下电极刻蚀形成单个阵列的下电极;S2,在所述下电极上淀介质,所述介质作为所述下电极的保护;S3,于所述介质上淀牺牲;S4,接着经光刻、刻蚀形成下电极引出孔;S5,继续沉积上电极,并在其表面形成牺牲释放孔;S6,对所述牺牲进行释放;S7,将所述牺牲释放孔进行密封,从而形成密封腔体还提供一种小量程MEMS电容压力传感器,由上述的制备方法制得。本发明由于工艺成熟,其所形成的硅微结构机械性能良好,尤其使用淀Al/Ti侧面释放孔所形成的腔体结构密封性能优异。
  • 量程mems电容压力传感器及其制备方法
  • [发明专利]一种高炉崩料预测方法-CN201910811704.X有效
  • 储岳中 - 苏州艾铭森科技有限公司
  • 2019-08-30 - 2023-03-24 - G06V20/52
  • 训练样本包括样本待识别图像、样本基准图像、样本图像轮廓清晰度、样本亮度信息和样本匹配度,将样本待识别图像和样本基准图像作为训练输入,样本图像轮廓、样本亮度信息和样本匹配度作为输出参考值,训练样本训练样本通过生成对抗网络进行训练,对初始第一卷、初始第二卷以及初始生成对抗网络进行训练,得到训练后的第一卷、第二卷以及生成对抗网络。
  • 一种高炉预测方法
  • [发明专利]小线宽沟槽功率MOS晶体管及制造方法-CN200910201911.X无效
  • 邵向荣;魏炜;殷建斐 - 上海华虹NEC电子有限公司
  • 2009-12-08 - 2011-06-08 - H01L29/78
  • 本发明公开了一种小线宽沟槽功率MOS晶体管,该功率MOS晶体管的单元区内无接触孔。此外,本发明还公开了该小线宽沟槽功率MOS晶体管的制造方法,包括如下步骤:(1)在已做完栅极二氧化硅硬阻挡刻蚀的硅基片上进行源注入、去光阻,热扩散推进;(2)依次进行栅极沟道刻蚀、栅极氧化膜生长,栅极多晶硅淀、栅极多晶硅回刻,body区注入、推进;(3)栅极二氧化硅淀、回刻,间电介质淀;(4)间电介质曝光、刻蚀,离子注入形成欧姆接触;(5)金属淀、刻蚀;(6)后续工艺包括常规的钝化、合金工艺。本发明解决了接触孔的套准精度问题,使得沟槽功率MOS晶体管进一步缩小线宽成为可能。
  • 小线宽沟槽功率mos晶体管制造方法
  • [发明专利]高集成度基材制造方法-CN02140388.0有效
  • 何昆耀;宫振越 - 威盛电子股份有限公司
  • 2002-07-02 - 2003-02-05 - H05K3/46
  • 本发明公开了一种基材,由多个介电以及多个线路交互堆栈构成。其中,介电中具有多个导通孔,而线路通过介电中的导通孔而彼此电性连接,本实施例的基材结构的特征在于介电之间的线路图案为与传统的孔环垫设计不同,而采取黏着力较佳的高信赖度的嵌入结构设计无导通孔环垫本发明还公开了一种基材的制造方法,系先进行具有图案化线路的介电以及具有导通孔的介电的制作,当具有图案化线路的介电以及具有导通孔的介电制作完成之后,再将其同步进行对位并压合以完成基材的制作
  • 集成度基材制造方法
  • [发明专利]多层封装基板以及封装件-CN201210325656.1有效
  • 金利峰;胡晋;李川;王玲秋;贾福桢 - 无锡江南计算技术研究所
  • 2012-09-05 - 2012-11-28 - H01L23/522
  • 根据本发明的多层封装基板包括:依次层叠的上、芯板层以及下;其中,所述上的芯片区域中布置了多个上过孔;所述下的芯片区域中布置了多个下过孔;其中,所述下的芯片区域中的所述多个下过孔包括附加过孔,以使得下的芯片区域中的下过孔的密度趋近于上的芯片区域中的上过孔的密度。由此,可平衡封装基板内上与下之间的芯片区域的过孔密度,防止封装基板翘曲并提高高密度多层封装基板的可制造性。
  • 多层封装以及
  • [实用新型]芯片型电感器-CN201020223324.9无效
  • 刘世宽 - 佳邦科技股份有限公司
  • 2010-06-07 - 2011-02-16 - H01F17/04
  • 一种芯片型电感器包含一磁性本体、一电感线圈、一非磁性的绝缘及两外部电极。该电感线圈设于该磁性本体内部,并电性连接至该两外部电极。该电感线圈的图型的一部分外露于该磁性本体的至少一表面,且该非磁性的绝缘覆盖于该表面。该两外部电极分别设于该磁性本体上。本实用新型可以解决传统电感器所遭遇的问题。
  • 积层式芯片电感器
  • [发明专利]半导体装置及其制造方法-CN202110761135.X在审
  • 佐野雄一;三浦正幸;长谷川一磨 - 铠侠股份有限公司
  • 2021-07-06 - 2022-09-06 - H01L23/482
  • 本实施方式的半导体装置具备第1体、第1柱状电极、第2体、及第2柱状电极。第1体由多个第1半导体芯片向垂直于方向的方向偏移且。第1柱状电极与第1半导体芯片的电极垫连接,沿第1半导体芯片的方向延伸。第2体由多个第2半导体芯片向垂直于方向的方向偏移并,且为较第1体更高,且,配置为从方向观察,与第1体的至少一部分重叠。第2柱状电极与第2半导体芯片的电极垫连接,沿第2半导体芯片的方向延伸。
  • 半导体装置及其制造方法

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