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[外观设计]工艺品（正负空间）-CN202230427639.3有效
发明人：吴福珍 -专利权人：广州商学院
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： 11-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：工艺品(正负空间)。2.本外观设计产品的用途：用于摆设、珍藏。3.本外观设计产品的设计要点：在于整体外形。4.最能表明本外观设计设计要点的图片：立体图。
工艺品正负空间

[发明专利]一种晶圆处理设备-CN202210328870.6在审
发明人：李翔;黎微明;糜珂;赵昂璧;左敏;胡磊;林英浩;杨勇;袁红霞 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆处理设备，该设备包括依次连接的装载系统、工艺腔和卸载系统，工艺腔内设至少一个第一工艺空间与至少一个第二工艺空间，其中，第一工艺空间和第二工艺空间分别对应的工艺不同，以工艺处理的先后方向为参考，第一工艺空间与第二工艺空间的顺序为第一工艺空间在前，第二工艺空间在后；或第二工艺空间在前，第一工艺空间在后；第一工艺空间和第二工艺空间分别用于对基底进行处理。通过上述方式，本申请能够在同一个工艺腔中对基底执行两种不同的工艺，进而提高材料的制备效率，降低成本。
一种处理设备

[发明专利]砂层空间超前支护加固工艺-CN201310044541.X无效
发明人：陈玄;王明智;姚开元;张超晖;白凤忠;赵国超 -专利权人：陕西煤业化工建设（集团）有限公司
申请日： 2013-02-04 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： E21D11/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种砂层空间超前支护加固工艺，该工艺包括以下步骤：1）确定全断面砂层巷道需要加固的加固区域；2）根据加固区域的砂体力学特性将已确定的加固区域进行分区；3）在步骤2）所得到的分区上进行支护加固。本发明提供了一种完善和发展了巷（隧）道或地下硐室在复杂地质条件下超前预支护体系，符合穿越砂层时的地层条件下巷道工程中的应用的砂层空间超前支护加固工艺。
砂层空间超前支护加固工艺

[发明专利]苏云金杆菌空间固体发酵工艺-CN89107836.3无效
发明人：梁吉春;宋鹏 -专利权人：梁吉春
申请日： 1989-10-20 - 公布日： 1991-05-01 - 主分类号： A01N63/02 文献下载
摘要：一种苏云金杆菌空间固体发酵工艺，其培养基为固体，原材料来源广、设备投资少，工艺流程简单，便于工业化生产。本发明的工艺生产出的杀虫剂，产品质量好、性能稳定，在生产过程中无“三废”，而且节能、节水。
苏云金杆菌空间固体发酵工艺

[发明专利]基于数字孪生的制造业车间工艺规划系统-CN202110957994.6在审
发明人：周尔民;梅自元;刘宁;马畅;程度钧 -专利权人：华东交通大学
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开基于数字孪生的制造业车间工艺规划系统，涉及车间工艺规划领域。该基于数字孪生的制造业车间工艺规划系统包括理论准备、工艺规划、虚拟空间和物理空间，通过理论准备进行工艺规划，根据工艺规划建立虚拟空间和物理空间，物理空间实时反馈给虚拟空间，虚拟空间对物理空间进行工艺更改，虚拟空间支持协同工程，物理空间支持并行工程，协同工程与并行工程实现信息物理融合并建立出数字化工艺规划系统。该基于数字孪生的制造业车间工艺规划系统能够使虚拟空间的仿真模型与物理空间的实体相互映射，实现设计数据到工艺的无缝对接，通过三维工艺系统的实施改进制造与设计数据的一致性，提高效率与质量。
基于数字孪生制造业车间工艺规划系统

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN201580038502.6有效
发明人：藤长徹志;井堀敦仁;松本昌弘;谷典明;岩井治宪 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：基板处理装置(10)具备：等离子生成部，其在配置基板(1)的等离子生成空间生成工艺气体的等离子；冷却部(20)，其隔着冷却空间(55)与基板相对，并具有向冷却空间供给工艺气体的供给口(26)；工艺气体供给部(30)，其向冷却部(20)供给工艺气体；以及连通部(56)，其连通冷却空间(55)和等离子生成空间，用于将被供给到冷却空间的工艺气体供给到等离子生成空间。
处理装置以及方法

[发明专利]用于处理基板的装置-CN202010608751.7在审
发明人：崔永燮;李暎熏;徐溶晙;李福圭;朴美昭 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在一实施方案中，所述装置包括：工艺腔室，其具有工艺空间，在所述工艺空间中用超临界状态的流体对所述基板进行处理；支承单元，其在所述工艺空间中支承所述基板；流体供应单元，其将所述流体供应到所述工艺空间中；填充构件，其设置为面对放置在所述工艺空间中的所述支承单元上的所述基板；以及测量单元，其测量所述工艺空间中的状态，所述测量单元设置在所述填充构件中。
用于处理装置

[发明专利]用于处理基板的装置和方法-CN202010860335.6在审
发明人：金俊镐;申景湜;安迎曙;辛辰基;姜湾圭;史允基 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于处理基板的装置包括：工艺腔室，在所述工艺腔室中具有工艺空间；支承单元，其在所述工艺空间中支承所述基板；加热构件，其加热支承于所述支承单元上的所述基板；和排放单元，其抽排所述工艺空间。所述排放单元包括排放管和热量保持单元，所述热量保持单元具有保持从所述工艺空间释放的热量的保持空间。所述保持空间围绕所述排放管中邻近所述工艺腔室的邻近区域。
用于处理装置方法

[发明专利]密闭空间封堵焊的工艺方法-CN201810204471.2在审
发明人：戈建鸣;张飞;夏珉 -专利权人：今创集团股份有限公司
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： B23K9/167 文献下载
摘要：本发明涉及密闭空间封堵焊工艺技术领域，尤其是一种密闭空间封堵焊的工艺方法。这种密闭空间封堵焊的工艺方法，包括：(1)、通过输气管导嘴对准铝扶手管工艺孔向铝扶手管内充入保护气体，气流量设置为8～12L/min，充气时要使得工艺孔留有间隙以保证铝扶手管内的气体跑出，输气管导嘴待1.5～2min时拔出；(2)、立刻采用钨极惰性气体保护焊补工艺孔。本发明操作简便，通过对密闭铝扶手管充入保护气体后封堵焊的方法，解决密闭空间工艺孔补孔困难问题，避免产品表面缺陷，避免反复补孔、提高效率，产品质量稳定，降低生产成本；同时保护气体可根据生产需求进行更换，适用于各类需要封堵的密闭空间结构
封堵密闭空间扶手管工艺孔保护气体输气管导嘴钨极惰性气体保护焊产品表面缺陷工艺技术领域密闭空间结构困难问题生产需求质量稳定气流量拔出密闭充气对准保证

[发明专利]超大空间建筑金属屋顶吸声工艺-CN201310185153.3无效
发明人：虞功平;曹卫星 -专利权人：中天建设集团有限公司
申请日： 2013-05-17 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： E04D13/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种超大空间建筑金属屋顶吸声工艺，屋顶构造最下层为钢制的内衬板，在内衬板上打孔，穿孔率为21%，孔径24mm，在内衬板上方依次铺设无纺布及超细玻璃丝棉。
超大空间建筑金属屋顶吸声工艺

[发明专利]局限工艺空间的PECVD腔室-CN201180023388.1无效
发明人： R·萨卡拉克利施纳;G·巴拉苏布拉马尼恩;J·C·罗查－阿尔瓦雷斯;D·R·杜鲍斯;M·A·福多尔;周建华;A·班塞尔;M·阿优伯;S·沙克;P·赖利;D·帕德希;T·诺瓦克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-05-06 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供用于等离子体处理衬底的设备。所述设备包括处理腔室、设于处理腔室内的衬底支撑件、设于处理腔室内且在衬底支撑件下方的屏蔽构件、以及耦合至处理腔室的盖组件。所述盖组件包括耦合至功率源的导电气体分配器、以及电极，所述电极通过电气绝缘体与导电气体分配器和腔室主体隔开。电极还耦合至电功率源。衬底支撑件制作成具有容许偏离平行甚微的刚性。屏蔽构件热屏蔽腔室主体下部中的衬底传送开口。泵送气室位于衬底支撑件处理位置下方，且从所述衬底支撑件处理位置隔开。
局限工艺空间 pecvd

[发明专利]用于具流动性的介电质的制造设备及工艺-CN200980117582.9无效
发明人： D·卢博米尔斯基;Q·梁;J·G·杨 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2009-04-22 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：在此揭露多种基材工艺系统，此系统可包含一工艺腔室，其具有一内部空间，该内部空间可将内腔压与外腔压保持不同。上述系统亦可包含远程等离子体系统，其可操作以在工艺腔室的内部空间之外产生等离子体。此外，上述系统可包含一第一工艺气体通道，其可操作以将第一工艺气体由远程等离子体系统输送至工艺腔室内部空间中；以及一第二工艺气体通道，其可操作以输送未经远程等离子体系统处里的第二工艺气体。上述第二工艺气体通道具有一末端，其开口朝向上述工艺腔室的内部空间中，且该末端至少部分由该第一工艺气体通道所围绕。
用于流动性介电质制造设备工艺

[发明专利]一种防滑空间布及其制备工艺-CN202210784902.3有效
发明人：梁志敢;张国明;冼俭崧;钟震国;何文锋 -专利权人：广东天进新材料有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B32B5/02 文献下载
摘要：本发明涉及空间布技术领域，尤其涉及一种防滑空间布及其制备工艺。一种防滑空间布的制备工艺，包括以下步骤：步骤A、将空间布放卷后烫平，分别在空间布的上表面和下表面涂布粘合胶，完成涂布后烘干；步骤B、分别在空间布的上表面和下表面放置PVC薄膜，进行高温贴合；步骤C、在位于空间布上表面的PVC薄膜的表面压花，冷却后得到防滑空间布。所述防滑空间布的制备工艺，能减少材料的使用，降低成本，使工艺简单化并节约时间、提高产量，同时质量效果得到保证，解决了现有防滑空间布生产工艺复杂、费时、耗材大、成本高的问题，制得的防滑空间布能够节省用料的同时
一种防滑空间及其制备工艺

[发明专利]高深宽比沉积-CN201880061340.1在审
发明人： S·慕克吉;A·B·玛里克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本文所描述的保形层是使用PECVD方法形成的，其中将包括多个高深宽比特征的半导体器件设置在工艺腔室的工艺空间中的基板支撑件上，将气体供应至工艺空间，以及通过脉冲RF功率在工艺空间中产生等离子体，所述RF功率耦合至设置在工艺腔室的工艺空间中的工艺气体。
高深沉积

[发明专利]基板处理装置、工艺流体处理装置及臭氧分解方法-CN201711015273.3有效
发明人：尹遵喜;赵乘桓 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开的是一种基板处理装置和工艺流体处理装置。基板处理装置包括：工艺腔室，该工艺腔室利用包含臭氧的工艺流体处理基板；排放管道，连接至工艺腔室以排放用来处理基板的工艺流体；和工艺流体处理装置，该工艺流体处理装置与排放管道连接。工艺流体处理装置包括：具有内部空间的壳体，该内部空间具有容纳工艺流体的设定容积；和喷嘴，该喷嘴与排放管道和壳体的内部空间连接。
处理装置工艺流体臭氧分解方法

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