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[发明专利]芯片制造设备的监控方法、系统和装置-CN201811458747.6在审
发明人：谢凯;段丽霞 -专利权人：深圳市永盛隆科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片制造设备的监控方法、系统和装置。其中，该方法包括：上位机确定芯片制造设备当前所执行的任务和任务所处的阶段；上位机确定与任务和阶段对应的工艺参数采集视图，工艺参数采集视图用于指示数据采集参数，数据采集参数包括：采集项目和/或采集频率；上位机向至少一个控制器发送监控指令，其中，监控指令包括数据采集参数；上位机接收至少一个控制器根据数据采集参数采集的反应腔室内的工艺数据，反应腔室为至少一个控制器所控制的芯片制造设备的反应腔室。本发明解决了芯片制造设备的监控系统将工艺数据在工艺结束后上传系统，导致无法满足监控需求的技术问题。
芯片制造设备监控方法系统装置

[发明专利]焊接控制方法及装置、焊接系统-CN202010246494.7在审
发明人：冯消冰;田伟 -专利权人：北京博清科技有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： B23K9/095 文献下载
摘要：本发明公开了一种焊接控制方法及装置、焊接系统。其中，该方法包括：获取焊接设备执行焊接操作过程中的过程参数，其中，过程参数包括以下至少之一：待焊接对象的焊缝信息，携带焊接设备的运载设备的状态信息；根据过程参数调取对待焊接对象进行焊接的焊接工艺参数包；将焊接工艺参数包传输至焊接设备，以控制焊接设备基于焊接工艺参数包对待焊接对象执行焊接操作。本发明解决了相关技术中焊接控制中心需要与焊接系统中的多个设备连接才能获取焊接工艺参数包，导致焊接质量无法得到有效保证的技术问题。
焊接控制方法装置系统

[发明专利]一种多腔体CVD设备分布式控制系统及其方法-CN202110795610.5在审
发明人：朱力;燕春;杨进 -专利权人：江苏天芯微半导体设备有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G05B9/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种多腔体CVD设备分布式控制系统及其方法，包含：多个工控设备，各个工控设备分别保存各个功能腔体的数据信息并分别控制各个功能腔体的状态；第一交换机，各个工控设备与第一交换机连接；控制主机，与第一交换机连接，控制主机存储全局公共数据，控制主机通过第一交换机对各个工控设备进行命令调度和数据存储，当工艺需要的一个或多个工控设备发生故障，所述控制主机将所需的故障的工控设备的数据信息复制安装到正常运转的工控设备上，并执行其对应的工艺过程。其优点是：该系统将工控设备、第一交换机和控制主机等相结合，控制主机将故障的工控设备对应的数据信息复制安装到另一台工控设备上，以保证CVD设备整体工艺的顺利。
一种多腔体 cvd 设备分布式控制系统及其方法

[发明专利]一种制动蹄自动铆压工艺-CN201610917597.5在审
发明人：刘军;张景亮;韩鹏;朱淳逸;郑大维 -专利权人：安徽会合智能设备有限公司
申请日： 2016-10-20 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： B21J15/14 文献下载
摘要：本发明公开一种制动蹄自动铆压工艺，该工艺包括下述实现铆压过程与控制的硬件系统：控制系统、检测系统、压头铆压机构、伺服机构、液压单元、铆钉存储机构、供料设备；该工艺通过伺服机构判断铆压孔位，控制系统和检测系统以及执行机构共同组成一闭环系统，当对制动蹄进行铆压时，控制系统首先传输信号控制伺服机构带动制动蹄运动到初始位置，随后控制供料设备供料，供料结束后通过压头铆压机构进行铆压，而后剩余工作位置依据预设程序进行动作。本发明提供的铆压工艺全过程可实现自动化，解放劳动力，操作人员只需要将蹄铁装夹在设备上，运行设备，即可自动加工直至完毕。
一种制动自动工艺

[发明专利]一种400吨级船舶动力模块装配及调整工艺设备-CN202011434296.X在审
发明人：蒲超;刘巍;富强;唐庆宇;周晓旭 -专利权人：渤海造船厂集团有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B63B73/20 文献下载
摘要：本发明提出的是一种400吨级船舶动力模块装配及调整工艺设备。采用模块组合式结构，主要由模块组装平台设备、工艺参数测量系统、液压驱动及控制系统组成，通过液压驱动及控制系统及工艺参数测量系统同步控制，测量数据的多通道采集和集中显示，可实现模块组装平台设备上模块装配过程姿态的自动化控制本发明通过液压传动系统及多液压缸高精度同步控制，测量数据的多通道采集和集中显示，可实现模块装配过程姿态的自动化控制。工作平稳、装配精度高、数据采集准确、操作简单。适宜作为一种400吨级船舶动力模块装配及调整工艺设备应用。
一种 400 船舶动力模块装配调整工艺设备

[发明专利]附属设备的控制装置及控制方法-CN201910604411.4在审
发明人：李洛汉 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明实施例涉及设备控制技术领域，公开了一种附属设备的控制装置，包括：事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器用于获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将当前处理事件及当前工作状态发送至控制服务器；控制服务器用于根据当前处理事件、以及预先存储的历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系，确定在当前处理事件发生后工艺设备的预测工作状态数据；并依据预测工作状态数据控制附属设备的工作状态跟随工艺设备的当前工作状态的变化而变化本发明实施方式提供的附属设备的控制装置及控制方法，既能够节约电能又能够提升附属设备的使用寿命。
附属设备控制装置方法

[发明专利]综采工作面自动化作业方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310796769.8在审
发明人：王峰;冯银辉;曹宁宁;刘姗姗;郑闯;高思伟;陈凯;王帅;宋国利 -专利权人：北京天玛智控科技股份有限公司;北京煤科天玛自动化科技有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本公开提出了一种综采工作面自动化作业方法、装置、电子设备及存储介质，涉及自动化开采控制技术领域，该方法包括：获取综采工作面自动化生产流程各作业节点的单机设备的运行策略；针对任一作业节点的一个或多个单机设备，通过采煤工艺编辑方法对单机设备的运行策略进行图形化编辑，以生成采煤工艺文件；基于采煤工艺文件获取单机设备的调度控制指令，并发送给单机设备，调度控制指令用于对单机设备进行调度控制；接收单机设备反馈的执行数据，本申请可以实现多单机设备之间的协同和整体流程的自动控制，相较于当前技术，可以提升控制流程生成的时间和准确率，降低控制成本。
工作面自动化作业方法装置电子设备存储介质

[发明专利]多工位酯化反应的自动化远程监控系统及监控方法-CN202210020882.2在审
发明人：田煜;李小松;白鹏鹏;陈文庆;孟永钢 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H04Q9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种多工位酯化反应的自动化远程监控系统及监控方法，其中，系统包括：至少一个多工位酯化反应设备；设备控制器根据目标工艺参数和目标工艺步骤控制至少一个多工位酯化反应设备执行自动容器加热动作、反应搅拌动作和/或产物分离动作；设备服务器向设备控制器发送控制命令以及获取至少一个多工位酯化反应设备工作数据；远程客户端生成目标工艺参数和/或目标工作步骤对应的控制命令的同时，基于多工位酯化反应设备的工作数据判断是否满足设备报警条件，并在满足设备报警条件时进行报警。本申请的系统无需用户手动调整设备的工作参数以及长期看守设备，能够通过网络远程客户端实现现场控制，能够提高工厂的自动化和智能化水平。
多工位酯化反应自动化远程监控系统方法

[发明专利]一种用于车间循环水系统的集中式冷热源系统-CN201510143773.X有效
发明人：郑铁君 -专利权人：宁波杭州湾新区祥源动力供应有限公司
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： F25B29/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于车间循环水系统的集中式冷热源系统，其特征在于，包括空调冷源设备，与车间空调系统冷却水回路连接，用于为车间空调系统冷却水回路提供冷源；油漆工艺冷源设备，与油漆工艺系统冷却水回路连接，用于为油漆工艺系统冷却水回路提供冷源；热源设备，与车间热水回路连接，用于为车间热水回路提供热源；集中控制中心，分别与空调冷源设备、油漆工艺冷源设备和热源设备连接，用于控制空调冷源设备、油漆工艺冷源设备和热源设备工作。与现有技术相比，本发明同时具有冷源设备和热源设备，满足车间对于冷源和热源的需求。
一种用于车间循环水系集中热源系统

[发明专利]一种先进过程控制系统及其测试方法-CN201210048437.3有效
发明人：方晶晶;陈岚;阮文彪 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-02-28 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种先进过程控制系统与该系统的测试方法。该系统与虚拟制造系统相连接，包括：实时错误检测模块，用于从虚拟制造系统的数据采集模块获取虚拟工艺制造过程中的产品性能参数，并比照预设的产品性能参数，对虚拟工艺制造过程中产品性能参数进行错误检测；错误分类与响应模块，用于针对检测出的错误进行分类，并查找产生该错误的原因；反馈/回馈控制模块，用于根据产生该错误的原因，调用相应的校正模型对该错误相关的工艺/设备参数进行校正，得到校正后的工艺设备参数，并将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块本发明避免了先进过程控制系统嵌入实际工艺线时需要花费大量时间以及工艺设备无法正常进行生产的问题，降低了其测试和验证成本。
一种先进过程控制系统及其测试方法

[发明专利]半导体工艺设备及其温度控制方法-CN202010504098.X在审
发明人：李晓强 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种半导体工艺设备及其温度控制方法，所述方法包括：检测所述半导体工艺设备工艺腔室内加热器的的实际温度；确定所述实际温度所属的温度区间，所述多个温度区间至少包括快速升温区、温度精调区和温度失控区，根据所述实际温度所属的温度区间对应的加热策略，控制所述加热器进行加热。通过本方法，可以根据工艺腔室内的实际温度所属的温度区间，确定对应的加热策略，可以提高对工艺腔室的温度控制效率和温度控制准确率。
半导体工艺设备及其温度控制方法

[发明专利]一种高通量薄膜沉积设备、刻蚀设备及其方法-CN202210834295.7在审
发明人：李卫民;陈玲丽 -专利权人：上海集成电路材料研究院有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种高通量薄膜沉积设备、刻蚀设备及其方法，包括反应腔室、载台控制装置及工艺隔离装置；载台控制装置包括衬底载台及主载台，且衬底载台位于主载台上，衬底载台用以承载待沉积或待刻蚀的衬底并带动衬底运行，主载台用于承载衬底载台并带动衬底载台运行；工艺隔离装置用以提供位于衬底载台上方的工艺隔离区，通过工艺隔离区实现在工艺过程中的工艺隔离，使得工艺过程仅在工艺隔离区内进行，以实现对衬底的局部区域进行隔离式工艺过程，且结合载台控制装置的运行最终实现单一衬底上多个局部区域的独立和均匀的工艺过程。本发明设备结构简单、适用性广、易于操作、可制备高均一性薄膜及刻蚀形貌，具有良好的实用性。
一种通量薄膜沉积设备刻蚀及其方法

[发明专利]一种变工序控制的PLC程序生成方法-CN202310366672.3在审
发明人：刘振峰;彭云龙;熊尚文;曾江 -专利权人：宜春万申制药机械有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种变工序控制的PLC程序生成方法，本发明属于PLC控制程序技术领域，具体是涉及一种变工序控制的PLC程序生成方法。具体步骤包括：设备分析、工艺拆解、工艺参数、工序和工艺设置、工艺功能集、变工序调度程序、工序执行程序以及状态机。本发明方法解决了设备或产线切换到不同产品时，PLC控制程序不能灵活变更生产工序的问题，同时可以实现产线的小批量定制化生产，提高设备或产线的灵活性，实现柔性制造，降低生产成本。
一种工序控制 plc 程序生成方法

[发明专利]上位机失效处理方法和装置-CN201410072416.4有效
发明人：付运涛;张海轮 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2014-02-28 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种上位机失效处理方法，用于在半导体工艺期间上位机失效时对各半导体设备进行控制，该上位机失效处理方法由下位机执行，其包括：从所述上位机获取所述半导体工艺所处的工艺阶段；以及当接收上位机失效信号时，根据当前所述半导体工艺所处的工艺阶段对所述各半导体设备的工艺参数进行相应控制。本发明还提供了一种上位机失效处理装置，能够在保证安全的前提下使设备正常完成工艺流程，避免因上位机失效导致产品损坏。
上位失效处理方法装置

[发明专利]一种磁控卷绕镀膜机控制系统及方法-CN202211577170.7在审
发明人：吕敏;黄丽;俞腾龙;雷梁;张蜀晓 -专利权人：成都中科唯实仪器有限责任公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控卷绕镀膜机控制系统及方法，该系统包括控制执行层、数据监控层和管理层，所述控制执行层用以实现设备运行数据采集、设备驱动和控制以及连锁保护；所述数据监控层用以实时获取设备运行数据，并上传至管理层，同时将管理层下发的工艺流程指令下发至控制执行层，实现工艺过程的控制；所述管理层用以实现设备运行数据的存储与管理、工艺流程指令的编制及管理。本发明采用多层次架构构成，与现场的磁控卷绕镀膜机设备组成一个完整的自动化体系，可实现对磁控卷绕镀膜机设备的控制管理，提高磁控卷绕镀膜机工作效率。
一种卷绕镀膜控制系统方法